技术特征：
1.一种真空泵的安装结构，其特征在于，包括：固定件，其中，所述固定件的第一端固定连接反应腔体，而其第二端设有环状凸台，并经由所述环状凸台活动连接活动件的第一端；以及所述活动件，其中，所述活动件的第一端设有限位环，并经由所述限位环活动连接所述固定件，所述活动件的第二端固定连接真空泵，其中，所述活动件沿所述真空泵的转子的旋转方向上设有弹性件，在所述弹性件于所述固定件的旋转路径上设有限位件，响应于所述真空泵发生旋转，所述真空泵经由所述活动件带动所述弹性件在所述旋转路径上沿所述旋转方向位移，并使所述弹性件接触所述限位件。2.如权利要求1所述的安装结构，其特征在于，所述环状凸台设有向心凹陷的第一斜面，所述限位环设有与所述环状凸台同心的向心凸起的第二斜面，所述限位环经由所述第二斜面活动连接所述固定件的第一斜面，以实现所述活动件及所述固定件的自动对心。3.如权利要求2所述的安装结构，其特征在于，所述限位环的内径大于所述环状凸台的内径，并小于所述环状凸台的外径，以限定所述活动件与所述固定件的活动连接，并支持所述活动件的径向微调及其在绕所述固定件的周向旋转。4.如权利要求2所述的安装结构，其特征在于，所述限位件设于所述固定件的第一端，并向所述固定件的第二端延伸至所述弹性件于所述固定件的旋转路径，其中，所述限位件与所述固定件的第二端保持预设间距，以限定所述活动件与所述固定件的活动连接，并支持所述活动件的轴向微调。5.如权利要求1所述的安装结构，其特征在于，所述固定件设有多个所述限位件，各所述限位件均匀地分布于所述固定件的圆周，所述活动件设有对应数量的弹性件，各所述弹性件均匀地分布于所述活动件的圆周。6.如权利要求1所述的安装结构，其特征在于，所述固定件为固定法兰，所述活动件为活法兰，其中，所述固定法兰的上端经由第一螺栓固定连接所述反应腔体，而其下端活动连接所述活法兰的上端，所述活法兰的下端经由第二螺栓固定连接所述真空泵，和/或所述弹性件为气体弹簧，所述限位件为限位挡板。7.一种真空泵的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：将安装结构的固定件的第一端固定连接到反应腔体，其中，所述固定件的第二端设有环状凸台，并经由所述环状凸台活动连接所述安装结构的活动件的第一端的限位环；以及将所述真空泵固定连接到所述活动件的第二端，其中，所述活动件沿所述真空泵的转子的旋转方向上设有弹性件，在所述弹性件于所述固定件的旋转路径上设有限位件，响应于所述真空泵发生旋转，所述真空泵经由所述活动件带动所述弹性件在所述旋转路径上沿所述旋转方向位移，并使所述弹性件接触所述限位挡板。8.如权利要求7所述的安装方法，其特征在于，所述限位环的内径大于所述环状凸台的内径，并小于所述环状凸台的外径，以限定所述活动件与所述固定件的活动连接，并支持所述活动件的径向微调及其在绕所述固定件的周向旋转，所述将所述真空泵固定连接到所述活动件的第二端的步骤包括：径向微调和/或周向旋转所述真空泵和/或所述活动件，以使所述真空泵的第一固定接口对准所述活动件的第二端的第二固定接口；以及将所述真空泵的第一固定接口固定连接到所述活动件的第二固定接口。
9.如权利要求7所述的安装方法，其特征在于，所述环状凸台设有向心凹陷的第一斜面，所述限位环设有与所述环状凸台同心的向心凸起的第二斜面，在将所述真空泵固定连接到所述活动件的第二端之后，所述安装方法还包括以下步骤：沿径向顶起固定连接的所述真空泵及所述活动件；以及释放固定连接的所述真空泵及所述活动件，以经由所述第一斜面及所述第二斜面来实现所述活动件及所述固定件的自动对心。10.一种半导体器件的加工装置，其特征在于，包括：反应腔体；真空泵；以及如权利要求1～6中任一项所述的真空泵的安装结构，其中，所述真空泵经由所述安装结构连接所述反应腔体。
技术总结
本发明提供了真空泵的安装结构、安装方法及半导体器件的加工装置。所述安装结构包括固定件及活动件。所述固定件的第一端固定连接反应腔体，而其第二端设有环状凸台，并经由所述环状凸台活动连接活动件的第一端。所述活动件的第一端设有限位环，并经由所述限位环活动连接所述固定件。所述活动件的第二端固定连接真空泵。所述活动件沿所述真空泵的转子的旋转方向上设有弹性件。在所述弹性件于所述固定件的旋转路径上设有限位件。响应于所述真空泵发生旋转，所述真空泵经由所述活动件带动所述弹性件在所述旋转路径上沿所述旋转方向位移，并使所述弹性件接触所述限位件。所述弹性件接触所述限位件。所述弹性件接触所述限位件。
技术研发人员：李钦波
受保护的技术使用者：拓荆科技（北京）有限公司
技术研发日：2022.09.26
技术公布日：2022/12/22