光伏组件生产用的真空泵系统的制作方法

1.本技术属于太阳能光伏技术领域，具体涉及一种光伏组件生产用的真空泵系统。


背景技术：

2.随着光伏技术的发展，太阳能作为绿色、环保、可再生能源受到了大范围推广。太阳能电池作为光伏组件最重要的组成部分，其需求量也在不断增大。
3.目前，在太阳能电池的制备过程中，尾气排放及抽真空通常采用具有滤芯的隔膜泵。然而，随着太阳能电池降成本的需求，及太阳能电池的种类的增多，传统的真空泵在抽真空时，经常出现尾排管及滤芯堵塞，导致出现排气阻力大、排气效率低、功耗增大的情况；而且，真空泵轴承、膜片等也需要按期保养和更换，导致设备维护的成本进一步增大。因此，如何降低太阳能电池制备过程中抽真空及尾排气的成本，成为一个亟待解决的重要问题。


技术实现要素：

4.本技术实施例的目的是提供一种光伏组件生产用的真空泵系统，能够解决现有太阳能电池制备过程中抽真空及尾排气的成本过高的问题。
5.本技术实施例提供了一种光伏组件生产用的真空泵系统，所述真空泵系统包括：喷射泵模组以及真空度稳定系统；
6.所述喷射泵模组包括：至少一个喷射真空泵，所述至少一个喷射真空泵分别与待排气设备、尾气处理管相连，且所述至少一个喷射真空泵还通过所述真空度稳定系统与供气管相连，所述真空度稳定系统用于通过调节进入所述喷射真空泵的气体流量和/或压力，以控制所述待排气设备真空度的稳定性。
7.可选的，所述真空度稳定系统包括：调节气体模组；
8.所述供气管包括：调节气体供气管；
9.所述调节气体模组设置于所述调节气体供气管与所述至少一个喷射真空泵之间的管路上，所述调节气体模组用于控制调节气体的流量和/或压力。
10.可选的，所述至少一个喷射真空泵包括：第一喷射真空泵和第二喷射真空泵；
11.所述第一喷射真空泵和所述第二喷射真空泵通过管路依次串联连接，所述第一喷射真空泵分别与所述待排气设备、所述调节气体模组相连。
12.可选的，所述第一喷射真空泵包括：相连通的第一喷嘴室和第一扩散管；
13.所述第一喷嘴室上分别设置有第一接口、第二接口和第三接口，其中，所述第一接口与所述待排气设备相连，所述第二接口与所述调节气体模组相连，所述第三接口用于连接至所述第一喷嘴室对应的压缩空气供气管；
14.所述第二喷射真空泵包括：相连通的第二喷嘴室和第二扩散管；所述第二喷嘴室上设置有第四接口和第五接口，所述第四接口与所述第一扩散管相连，所述第五接口用于连接至所述第二喷嘴室对应的压缩空气供气管，所述扩散管与所述尾气处理管相连。
15.可选的，所述调节气体模组包括：质量流量控制器；
16.所述质量流量控制器设置于所述第一喷射真空泵与所述调节气体供气管之间，所述流量控制器用于控制进入所述第一喷射真空泵的调节气体的质量。
17.可选的，所述调节气体模组还包括：调节气体过滤单元；
18.所述调节气体过滤单元设置于所述质量流量控制器与所述调节气体供气管，所述调节气体过滤单元用于对所述调节气体进行过滤和稳压。
19.可选的，所述真空泵系统还包括：清洁模组；
20.所述清洁模组通过换向阀连接于所述第一喷射真空泵，所述清洁模组用于清洁所述第一喷射真空泵、所述第二喷射真空泵以及所述尾气处理管。
21.可选的，所述清洁模组包括：至少一个超声波水雾发生器，所述至少一个超声波水雾发生器的出口通过所述换向阀连接于所述第一喷射真空泵。
22.可选的，所述真空度稳定系统还包括：压缩空气稳压模组；
23.所述供气管还包括：压缩空气供气管；
24.所述压缩空气稳压模组设置于所述至少一个喷射真空泵与所述压缩空气供气管之间，所述压缩空气稳压模组用于降低进入所述喷射真空泵内的压缩空气的压力波动。
25.可选的，所述压缩空气稳压模组包括：储气罐和稳压阀；
26.所述储气罐的一端与所述压缩空气供气管相连，另一端通过所述稳压阀连接至所述至少一个喷射真空泵。
27.可选的，所述压缩空气稳压模组还包括：压缩空气过滤单元；
28.所述压缩空气过滤单元设置于所述压缩空气供气管与所述至少一个喷射真空泵之间的管路上，所述压缩空气过滤单元用于对进入所述喷射真空泵的压缩空气进行过滤和稳压。
29.可选的，所述第二喷射真空泵的数量为至少两个；
30.至少两个所述第二喷射真空泵通过管路依次串联连接，且位于两端的两个所述第二喷射真空泵中，其中一个所述第二喷射真空泵与所述第一喷射真空泵相连。
31.在本技术实施例中，由于喷射泵模组包括：至少一个喷射真空泵，所述至少一个喷射真空泵分别与待排气设备、尾气处理管相连，且所述至少一个喷射真空泵还通过真空度稳定系统与供气管相连，真空度稳定系统用于通过调节进入喷射真空泵的气体流量和/或压力，以控制待排气设备真空度的稳定性，因此，在实际应用中，可以通过设置至少一个喷射真空泵可以满足设备不同的真空度需求；而且，通过真空度稳定系统调节进入喷射真空泵的气体的流量和/或压力，可以达到调节真空泵系统抽气速度的精确度和稳定性的技术效果，从而满足喷射真空泵应用于光伏组件生产过程中所需的排气精度和稳定性。本技术实施例中，由于采用喷射真空泵进行抽真空和排尾气，喷射真空泵结构简单，无机械运动部件，即便是抽取含有水蒸气、粉尘及腐蚀性的气体，也无需对气体进行过滤，因此，不但可以有效节省气体的过滤成本，还可以有效降低了真空泵的轴承、膜片等的更换维护费用，进而降低太阳能电池的制备成本。
附图说明
32.图1是本技术实施例所述光伏组件生产用真空泵系统的原理示意图；
33.图2是本技术实施例一种所述喷射泵模组的结构示意图；
34.图3是图2所示喷射泵模组的剖面结构示意图。
35.附图标记说明：
36.10：喷射泵模组；11：真空度稳定系统；110：调节气体模组；1101：质量流量控制器；1102：调节气体过滤单元；12：清洁模组；13：换向阀；14：压缩空气稳压模组；121：超声波水雾发生器；101：第一喷射真空泵；102：第二喷射真空泵；20：待排气设备；30：尾气处理管；40：冷凝器；50：压缩空气供气管；60：调节气体供气管；1010：第一喷嘴室；1011：第一接口；1012：第二接口；1013：第三接口；1014：第一扩散管；1020：第二喷嘴室；1021：第四接口；1022：第五接口；1023：第二扩散管；141：储气罐；142：压缩空气过滤单元。
具体实施方式
37.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
38.本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
39.在对本技术实施例提供的光伏组件生产用的真空泵系统进行解释说明之前，先对本技术实施例提供的光伏组件生产用的真空泵系统的应用场景做具体说明：
40.随着太阳能电池研究的不断进步与深入，多种不同结构的高效太阳能电池被开发，如perc(passivated emitter and rear cell)电池、hit电池、topcon电池等。现有技术中，由于p型电池的效率制约了太阳电池效率的进一步提高，目前新兴的topcon等均采用了少子寿命高的n型电池。而硼扩散是制备n型太阳能光伏电池的关键工艺之一，主要用于制备太阳能电池的pn结，pn结的制备质量直接影响光伏电池的光电转换效率。相较于传统的perc电池制备过程中的磷扩散工艺，因为硼的固溶度更低，通源量更大，导致硼扩散反应产物b与b2o3在尾排管内快速冷却凝固，更加容易造成尾排管、滤芯堵塞。
41.为降低太阳能电池的制备过程中，尾气中酸性物质和固体颗粒对隔膜真空泵膜片的腐蚀和磨损，传统方法是在隔膜真空泵前加装过滤装置，定期更换滤芯来保护隔膜真空泵的正常运转。然而，滤芯等耗材更换成本，加之隔膜真空泵本身需按照保养周期更换膜片、轴承等备件，进一步增加了设备的综合使用成本，进而导致太阳能电池制备成本增加。
42.基于上述问题，本技术实施例提供了一种光伏组件生产用的真空泵系统，具体包括：喷射泵模组以及真空度稳定系统；所述喷射泵模组包括：至少一个喷射真空泵，所述至少一个喷射真空泵分别与待排气设备、尾气处理管相连，且所述至少一个喷射真空泵还通过所述真空度稳定系统与供气管相连，所述真空度稳定系统用于通过调节进入所述喷射真空泵的气体流量和/或压力，以控制所述待排气设备真空度的稳定性。
43.本技术实施例中，由于采用喷射真空泵进行抽真空和排尾气，喷射真空泵为一种流体动力泵，其结构简单，无机械运动部件，即便是抽取含有水蒸气、粉尘及腐蚀性的气体，
也无需对气体进行过滤，因此，不但可以有效节省气体的过滤成本，还可以有效降低了真空泵的轴承、膜片等的更换维护费用，进而降低太阳能电池的制备成本。
44.下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例提供的光伏组件生产用的真空泵系统进行详细地说明。
45.参照图1，示出了本技术实施例所述光伏组件生产用真空泵系统的原理示意图。参照图2，本技术实施例一种所述喷射泵模组的结构示意图。
46.本技术实施例中，光伏组件生产用的真空泵系统具体可以包括：喷射泵模组10以及真空度稳定系统11；喷射泵模组10包括：至少一个喷射真空泵，至少一个喷射真空泵分别与待排气设备20、尾气处理管30相连，且至少一个喷射真空泵还通过真空度稳定系统11与供气管相连，真空度稳定系统11用于通过调节进入喷射真空泵的气体流量和/或压力，以控制待排气设备20真空度的稳定性。
47.本技术实施例中，待排气设备20包括但不限于扩散炉等，本技术实施例以扩散炉为例进行示例性说明。
48.本技术实施例中，尾气处理管30用于连接于尾排气处理装置，以对扩散炉内的尾气进行后续的环保处理，以使排气满足排放处理。例如，尾气处理管30可以直接连接酸排管，以对扩散炉内抽出的气体排放至酸排设备等。
49.在实际应用中，由于光伏组件生产过程中，对扩散炉真空度的要求较高，因此，为了使喷射真空泵可以适配于光伏产业的上述需求，本技术实施例中，通过设定真空度稳定系统，以调节进入喷射真空泵的气体流量和/或压力，进而控制扩散炉真空度的稳定性。可以理解的是，进入喷射真空泵的气体的流量和压力可以分别进行调节，也可以同时调节。
50.在本技术实施例中，真空度稳定系统11具体可以包括：调节气体模组1100；供气管包括：调节气体供气管60；调节气体模组1100设置于调节气体供气管60与至少一个喷射真空泵之间的管路上，调节气体模组1100用于控制调节气体的流量和/或压力。在本技术实施例中，为了避免喷射真空泵抽真空过程中的波动，通过在喷射真空泵内通入调节气体，以通过调节气体弥补尾气波动，进而提升扩散炉真空度的稳定性。本技术实施例中，调节气体模组1100可以根据尾气的波动实时对通入喷射真空泵内的调节气体的流量和/或压力进行调节，以使扩散炉真空度的稳定性更高。需要说明的是，调节气体的流量和压力可以单独调节其中任一项或两项同时调节，本领域技术人员根据实际需求设置即可。
51.在本技术实施例中，由于喷射泵模组10可以根据待排气设备20的不同，包括一个喷射真空泵、两个喷射真空泵或多个喷射真空泵。可以理解的是，喷射真空泵的数量越多，喷射泵模组10可以满足多级真空度的需求，抽真空度越高，抽真空精度也越高。本技术实施例中，以喷射泵模组10包括至少两个喷射真空泵为例，对喷射泵模组10的具体结构及原理进行示例性说明，其他参照执行即可。
52.具体的，至少一个喷射真空泵可以包括：第一喷射真空泵101和第二喷射真空泵102，第一喷射真空泵101与第二喷射真空泵102通过管路依次串联连接，第一喷射真空泵101分别与待排气设备20、调节气体模组1100相连。需要说明的是，第二喷射真空泵102用于与尾气处理管30相连。在实际应用中，可以依次将第二喷射真空泵102、第一喷射真空泵101开启，以满足扩散炉不同的真空度需求；而且，调节气体模组110的一端与调节气体供气管60相连，另一端与第一喷射真空泵101相连，调节气体模组110用于调节进入第一喷射真空
泵101的调节气体的稳定性，进而达到调节整个真空泵系统抽气速度的精确度和稳定性的技术效果，以及使喷射真空泵满足光伏组件生产过程中所需的排气精度和稳定性。本技术实施例中，由于采用喷射真空泵进行抽真空和排尾气，喷射真空泵结构简单，无机械运动部件，即便是抽取含有水蒸气、粉尘及腐蚀性的气体，也无需对气体进行过滤，因此，不但可以有效节省气体的过滤成本，还可以有效降低了真空泵的轴承、膜片等的更换维护费用，进而降低太阳能电池的制备成本。
53.可以理解的是，本技术实施例中，由于喷射真空泵无膜片、轴承等更换维护需求，可以有效降低真空泵系统整体的维保费用及工作量，进而也就有效延长了真空泵系统的使用时长，最终可以提升太阳能电池的制备产能。
54.在实际应用中，第一喷射真空泵101与待排气设备20之间还可以设置有冷凝器40，以使待排气设备20内的气体首先可以经冷凝器40降温后，再进入第一喷射真空泵101，一方面可以提高真空泵系统的使用寿命，另一方面还可以提高生产安全性。
55.在本技术实施例中，第一喷射真空泵101相较于第二喷射真空泵102可以理解为更靠近待排气设备20，第一喷射真空泵101可以称之为一级真空泵，第二喷射真空泵102可以称之为二级真空泵。在实际应用中，根据扩散炉管径以及扩散工艺需求(扩散分为不同真空度的多个工艺阶段)等，使用至少两个喷射真空泵从而可以更精确的匹配扩散工艺中不同真空度的需求。例如，一个第一喷射真空泵101和一个第二喷射真空泵102可以形成二级真空泵系统，二级真空泵系统应用于扩散炉从常压开始抽真空时，可以首先将距离扩散炉较远的二级真空泵开启，待扩散炉内的真空度达到二级真空度；然后，开启一级真空泵，以使扩散炉内的真空度达到一级真空度；其中，一级真空度相较于二级真空度的真空度更高。在实际应用中，可以根据扩散炉不同的真空度需求，可以仅开启二级真空泵以使扩散炉满足二级真空度需求；或依次开启二级真空泵和一级真空泵，以使扩散炉满足一级真空度需求，本领域技术人员可以依据实际情况设置。
56.在本技术实施例中，喷射泵模组10内喷射真空泵的数量不同，可以满足扩散炉不同级别的真空度需求。在本技术实施例中，第一喷射真空泵101可以理解为与扩散炉相连的真空泵。第二喷射真空泵102的数量可以为至少两个，至少两个第二喷射真空泵102通过管路依次串联连接，且位于两端的两个第二喷射真空泵中，其中一个第二喷射真空泵102与第一喷射真空泵101相连。可以理解的是，另一端距离扩散炉位置最远的第二喷射真空泵102与尾气处理管30相连。本技术实施例中，沿远离扩散炉的方向，第二喷射真空泵102可以依次称之为二级真空泵(二级真空泵与一级真空泵相连)、三级真空泵、四级真空泵、五级真空泵
……
n级真空泵等。在本技术实施例中，第二喷射真空泵102的数量越多，可以满足更多级别的扩散炉真空度的需求，以及满足更高精度的扩散炉真空度的需求。
57.在实际应用中，可以根据喷射泵模组10包括的喷射真空泵的数量，对喷射泵模组10进行命名。例如，在喷射泵模组10包括一个第一喷射真空泵101和一个第二喷射真空泵102时，喷射泵模组10可以称之为二级喷射泵模组；在喷射泵模组10包括一个第一喷射真空泵101和两个第二喷射真空泵102时，喷射泵模组10可以称之为三级喷射泵模组，以此类推，在喷射泵模组10包括有n个喷射真空泵时，喷射泵模组10可以称之为n级喷射泵模组，其中，n可以为大于或等于2的整数。可以理解的是，在n的数量越大的情况下，n级喷射泵模组可以满足至少n级扩散炉的真空度需求。
58.本技术实施例中，以二级喷射泵模组为例，对第一喷射真空泵101和第二喷射真空泵102的具体串联连接的结构进行示例性说明。如图2和图3，示出了二级喷射泵模组的具体结构示意图。如图2和图3所示，第一喷射真空泵101具体可以包括：相连通的第一喷嘴室1010和第一扩散管1014；第一喷嘴室1010上分别设置有第一接口1011、第二接口1012和第三接口1013，其中，第一接口1011与待排气设备20相连，第二接口1012与调节气体模组110相连，第三接口1013用于连接至第一喷嘴室1010对应的压缩空气的供气管50；第二喷射真空泵102包括：相连通的第二喷嘴室1020和第二扩散管1023；第二喷嘴室1020上设置有第四接口1021和第五接口1022，第四接口1021与第一扩散管1014相连，第五接口1022用于连接至第二喷嘴室1020对应的压缩空气的供气管50，第二扩散管1023与尾气处理管30相连。
59.在本技术实施例中，给第一喷嘴室1010提供压缩空气的供气管50与给第二喷嘴室1020提供压缩空气的供气管50可以通过管路连接至同一压缩空气提供设备上或者连接至不同的压缩空气提供设备上，对此，本领域技术人员可以依据实际情况设置。
60.在本技术实施例中，每一个喷射真空泵(第一喷射真空泵101、第二喷射真空泵102)对应的扩散管的管径以及扩散管的长度，可以根据每一级真空泵所需达到的真空度进行调整，对此，本技术实施例不作赘述。
61.需要说明的是，在喷射泵模组10还包括三级真空泵的情况下，三级真空泵的具体结构可以参照第一喷射真空泵101与第二喷射真空泵102的连接结构，三级真空泵与二级真空泵的扩散管相连(三级真空泵与二级真空泵的具体连接结构可以参照第二喷射真空泵102与第一喷射真空泵101)，依次类推，可以在三级真空泵后依次串联连接有四级真空泵、五级真空泵等。
62.本技术实施例中，第三接口1013和第五接口1022均为拉瓦尔喷嘴。需要说明的是，第一喷射真空泵101的第一喷嘴室1010和第一扩散管1014之间还设置有第一混合室；同理，第二喷嘴室1020与第二扩散管1023之间还设置有第二混合室。本技术实施例中，第一喷射真空泵101、第二喷射真空泵102等的结构及原理，与现有技术的喷射真空泵的结构及原理相同或类似，本技术实施例中，以第一喷射真空泵101对喷射真空泵的原理进行简单说明。如图2所示，由拉瓦尔喷嘴(第三接口1013)至第一扩散管1014形成了一条断面变化的特殊气流管道，压缩空气经由拉瓦尔喷嘴(第三接口1013)喷出，从而在第一喷嘴室1010形成真空区，通过真空区的负压作用，将待排气设备20内的尾气吸入至第一喷嘴室1010，压缩空气和尾气两者在在第一喷嘴室1010以及第一混合室混合后，经由第一扩散管1014高速喷出，从而进行排气。本技术实施例中，由于第一喷射真空泵101的结构简单，无机械部件，因此，无需对含酸气或固体颗粒的尾气的过滤预处理，即可以实现对尾气的抽取，这样，就可以有效降低尾气抽取的成本。
63.在本技术实施例中，为了使喷射泵模组10满足光伏组件制备过程中，扩散炉的抽真空工艺，通过在第一喷射真空泵101的第一喷嘴室1010上设置第二接口1012，以便于调节气体可以经由第二接口1012进入第一喷嘴室1010，通过实时动态补偿调节气体的方式，降低抽真空过程中扩散炉内真空度的波动，提高扩散炉内真空度的稳定性。
64.在本技术实施例中，为了使调节气体模组110可以具有调节所述真空泵系统抽气速度的精确度和稳定性的作用，调节气体模组110具体可以包括：质量流量控制器1101；质量流量控制器1101设置于第一喷射真空泵101与调节气体供气管60之间，质量流量控制器
1101用于控制进入第一喷射真空泵101的调节气体的质量。本技术实施例中，通过质量流量控制器1101可以对调节气体的质量流量进行精密测量和控制，以通过调节气体实时动态给第一喷射真空泵101内进行气体补偿，以达到减小压缩空气造成的压力波动，确保尾气抽取速度的精确性和稳定性。
65.可选的，调节气体供气管60与质量流量控制器1101之前，或质量流量控制器1101与第一喷射真空泵101之间还可以设置稳压阀(图中未示出)。本技术实施例中，稳压阀可以起到保证调节气体的压力的作用，质量流量控制器1101可以起到检测和调节调节气体的流量的作用。在实际应用中，通过实时调整阀门的开度，实现调节气体的精确控制。根据扩散炉内真空度的检测值，实时计算调节气体的补偿量，最终实现尾气抽气速度的波动性满足工艺要求。具体的，调节气体为压缩空气。
66.本技术实施例中，调节气体模组110还包括：调节气体过滤单元1102；调节气体过滤单元1102设置于质量流量控制器1101与调节气体供气管60，调节气体过滤单元1102用于对调节气体进行过滤和稳压。本技术实施例中，通过调节气体过滤单元1102可以有效控制进入第一喷射真空泵101内的调节气体的清洁度和稳定性。具体的，调节气体过滤单元1102可以为气体过滤器、气体过滤网等。
67.在本技术实施例中，为了达到对喷射泵模组10的喷射真空泵的内部以及尾气处理管30的管路进行清洗的效果，真空泵系统还可以包括：清洁模组12，清洁模组12通过换向阀13连接于第一喷射真空泵101，清洁模组12用于清洁第一喷射真空泵101、第二喷射真空泵102以及尾气处理管30。当然，在喷射泵模组10包括多个喷射真空泵的情况下，清洁模组12对多个喷射真空泵的内部进行清洗。具体的，清洁模组12可以包括：至少一个超声波水雾发生器121，至少一个超声波水雾发生器121的出口通过换向阀13连接于第一喷射真空泵101。在实际应用中，可以定期通过上述超声波水雾发生器121对真空泵系统的喷射真空泵以及尾气处理管30的管路进行清洗，以降低喷射真空泵被堵塞及腐蚀的概率，提升喷射真空泵及尾气处理管30的使用寿命。
68.在本技术实施例中，通过超声波水雾发生器121产生水雾，在非扩散炉尾气抽真空的时段，可以通过换向阀13关闭第一接口1011与扩散炉之间的阀门，打开超声波水雾发生器121与第一接口1011之间的阀门，此时，正常依次开启第二喷射真空泵102、第一喷射真空泵101，则超声波水雾发生器121产生的水雾因负压作用被吸入混合室，与压缩空气混合后，高速冲刷真空泵内部和后端尾气处理管30的管路内沉积的物质，在高速水汽气流的作用下，真空泵内部及管壁上沉积的杂质被排出，最后，可以关闭超声波水雾发生器121，以压缩空气对泵体内部和尾气处理管30的管路进行干燥，从而实现自清洁功能。
69.在实际应用中，根据喷射真空泵的原理，每一个喷射真空泵都从其拉瓦尔喷嘴处通入压缩空气，以在拉瓦尔喷嘴的出口处(或者说使喷嘴室)形成真空，把待排气设备20(扩散炉)内的气体吸入。
70.在本技术实施例中，为了进一步提高真空泵系统抽气速度的稳定性以及精度，真空度稳定系统11还包括：压缩空气稳压模组14；供气管还包括：压缩空气供气管50；压缩空气稳压模组14设置于至少一个喷射真空泵与压缩空气供气管50之间，压缩空气稳压模组14用于降低进入喷射真空泵内的压缩空气的压力波动，进而提高扩散炉内真空度的稳定性。
71.在本技术实施例中，可以对每一个喷射真空泵对应设置一套压缩空气稳压模组
14，以对每一个喷射真空泵的抽气速度的稳定性和精度进行单独控制，进而提高每一级真空泵的抽气速度的稳定性和精度；或者，两个或多个喷射真空泵对应同一套压缩空气稳压模组14，以同时对两个或多个喷射真空泵通入的压缩空气进行稳压，降低压缩空气稳压模组的成本。
72.具体的，压缩空气稳压模组14可以包括：储气罐141和稳压阀(图中未示出)；储气罐141的一端与压缩空气供气管50相连，另一端通过稳压阀连接至至少一个喷射真空泵。本技术实施例中，以储气罐141+稳压阀的组合方式，提高压缩空气的连续稳定供应，进而提高喷射真空泵的抽气稳定性。在实际应用中，储气罐141可以初步消除压缩空气提供设备提供的压缩空气的流量和压力的波动，对压缩空气起到初步的稳压作用，稳压阀可以进一步提高压缩空气的连续稳定供应，使喷射真空泵可以满足光伏组件制备过程中所需的抽气速度和精度。
73.在本技术实施例中，稳压阀可以选择带有压力检测模块的稳压阀，以通过稳压阀自带的压力检测模块可以远程设置压力阈值，并采集压缩空气供气管的实时压力信号，并将上述实时压力信号上传至后端监控系统，进而判断压缩空气的供气状态正常与否，以便于工作人员及时了解并对喷射真空泵的抽气进行对应的调整。
74.在本技术实施例中，压缩空气稳压模组14还包括：压缩空气过滤单元142；压缩空气过滤单元142设置于供气管与至少一个喷射真空泵之间的管路上，压缩空气过滤单元142用于对进入喷射真空泵的压缩空气进行过滤和稳压。本技术实施例中，通过压缩空气过滤单元142可以有效控制进入第一喷射真空泵101和/或第二喷射真空泵102内的压缩空气的清洁度和稳定性。具体的，压缩空气过滤单元142可以为气体过滤器、气体过滤网等。
75.需要说明的是，在实际应用中，本领域技术人员还可以依据实际需求，在真空泵系统中的管路上设置多个截止阀，以通过截止阀及时将对应的管路导通或关闭。具体的截止阀的位置，本领域技术人员可以依据实际需求设置，对此本技术实施例不作限定。
76.综上，本技术实施例所述的光伏组件生产用的真空泵系统至少包括以下优点：
77.在本技术实施例中，由于喷射泵模组包括：至少一个喷射真空泵，所述至少一个喷射真空泵分别与待排气设备、尾气处理管相连，且所述至少一个喷射真空泵还通过真空度稳定系统与供气管相连，真空度稳定系统用于通过调节进入喷射真空泵的气体流量和/或压力，以控制待排气设备真空度的稳定性，因此，在实际应用中，可以通过设置至少一个喷射真空泵可以满足设备不同的真空度需求；而且，通过真空度稳定系统调节进入喷射真空泵的气体的流量和/或压力，可以达到调节真空泵系统抽气速度的精确度和稳定性的技术效果，从而满足喷射真空泵应用于光伏组件生产过程中所需的排气精度和稳定性。本技术实施例中，由于采用喷射真空泵进行抽真空和排尾气，喷射真空泵结构简单，无机械运动部件，即便是抽取含有水蒸气、粉尘及腐蚀性的气体，也无需对气体进行过滤，因此，不但可以有效节省气体的过滤成本，还可以有效降低了真空泵的轴承、膜片等的更换维护费用，进而降低太阳能电池的制备成本。
78.上面结合附图对本技术的实施例进行了描述，但是本技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本技术的启示下，在不脱离本技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本技术的保护之内。