一种多级抽真空装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空机技术领域，具体涉及一种多级抽真空装置。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜机主要是对应蒸发，但是现有的抽真空装置结构复杂，且一般只采用一个泵机或者一种泵机导致抽真空时间长，真空度低，效率低，产品质量不易保证。


技术实现要素：

3.为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种通过抽真空时进行预抽和精抽，保证真空度的多级抽真空装置。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：
5.提供一种多级抽真空装置，包括机架、预抽组件和精抽组件；
6.所述机架上方设置有操作台，所述操作台包括真空室和操作面板，所述真空室包括第一接口和第二接口；
7.所述预抽组件设置在机架内，所述预抽组件包括第一机械泵，所述第一机械泵与第一接口连通；
8.所述精抽组件包括第一分子泵与第二机械泵，所述第二机械泵通过第一分子泵与第二接口连通。
9.优选地，所述多级抽真空装置还包括充气组件，所述充气组件包括充气管汇和气瓶；
10.所述真空室还包括第三接口，所述第三接口、气瓶分别与充气管汇连通。
11.优选地，所述第三接口上设置有充气截止阀。
12.优选地，所述预抽组件还包括预抽管汇，所述第一机械泵通过预抽管汇与第一接口连通。
13.优选地，所述真空室有多个，多个所述真空室的第一接口通过预抽管汇与第一机械泵连通。
14.优选地，所述真空室有六个，三个所述真空室为一组，两组所述真空室的第一接口通过预抽管汇与第一机械泵连通；
15.所述精抽组件包括第二分子泵和两个精抽管汇，一组所述真空室的第二接口通过一精抽管汇的第二接口与第一分子泵连通，另一组所述真空室通过另一精抽管汇与第二分子泵连通；
16.所述第二分子泵与第二机械泵连通。
17.优选地，所述第一接口与预抽管汇之间设置有预抽截止阀；
18.所述第二接口与精抽管汇之间设置有精抽截止阀；
19.所述预抽截止阀和精抽截止阀还社会自有真空测试接口；
20.所述操作面板上具有真空计，所述真空计与真空测试接口连通。
21.优选地，所述预抽管汇上设置有放气阀。
22.优选地，所述机架具有操作侧，所述真空室包括操作面，所述操作面为真空室朝向操作侧的一面。
23.优选地，所述机架的底部还设置有多个带有刹车的万向轮。
24.本实用新型的有益效果在于：通过设置预抽组件和精抽组件，能够实现对真空室内的物体进行抽真空处理，通过精抽组件采用分子泵与机械泵的组合，能够保证真空室的真空度更高；克服了现有技术中只采用一个泵机或者一种泵机导致抽真空时间长的问题。
附图说明
25.图1所示为本实用新型具体实施方式的一种多级抽真空装置的结构示意图；
26.图2所示为图1部分拆解示意图；
27.图3所示为图2另一角度示意图；
28.标号说明：1、机架；2、操作台；3、真空室；4、操作面板；5、第一机械泵；6、第一分子泵；7、第二机械泵；8、充气管汇；9、充气截止阀；10、预抽管汇；11、第二分子泵；12、精抽管汇；13、预抽截止阀；14、放气阀；15、万向轮。
具体实施方式
29.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
30.参照图1至图3，一种多级抽真空装置，包括机架1、预抽组件和精抽组件；
31.所述机架1上方设置有操作台2，所述操作台2包括真空室3和操作面板4，所述真空室3包括第一接口和第二接口；
32.所述预抽组件设置在机架1内，所述预抽组件包括第一机械泵5，所述第一机械泵5与第一接口连通；
33.所述精抽组件包括第一分子泵6与第二机械泵7，所述第二机械泵7通过第一分子泵6与第二接口连通。
34.从上述描述可知，通过设置预抽组件和精抽组件，能够实现对真空室3内的物体进行抽真空处理，通过精抽组件采用分子泵与机械泵的组合，能够保证真空室3的真空度更高；克服了现有技术中只采用一个泵机或者一种泵机导致抽真空时间长的问题。
35.进一步的，所述多级抽真空装置还包括充气组件，所述充气组件包括充气管汇8和气瓶；
36.所述真空室3还包括第三接口，所述第三接口、气瓶分别与充气管汇8连通。
37.从上述描述可知，通过充气组件，能够为真空室3进行充气，气流均匀进入真空室3，提高镀膜产品的合格率。
38.进一步的，所述第三接口上设置有充气截止阀9。
39.进一步的，所述预抽组件还包括预抽管汇10，所述第一机械泵5通过预抽管汇10与
第一接口连通。
40.进一步的，所述真空室3有多个，多个所述真空室3的第一接口通过预抽管汇10与第一机械泵5连通。
41.进一步的，所述真空室3有六个，三个所述真空室3为一组，两组所述真空室3的第一接口通过预抽管汇10与第一机械泵5连通；
42.所述精抽组件包括第二分子泵11和两个精抽管汇12，一组所述真空室3的第二接口通过一精抽管汇12的第二接口与第一分子泵6连通，另一组所述真空室3通过另一精抽管汇12与第二分子泵11连通；
43.所述第二分子泵11与第二机械泵7连通。
44.进一步的，所述第一接口与预抽管汇10之间设置有预抽截止阀13；
45.所述第二接口与精抽管汇12之间设置有精抽截止阀；
46.所述预抽截止阀13和精抽截止阀还社会自有真空测试接口；
47.所述操作面板4上具有真空计，所述真空计与真空测试接口连通。
48.进一步的，所述预抽管汇10上设置有放气阀14。
49.进一步的，所述机架1具有操作侧，所述真空室3包括操作面，所述操作面为真空室3朝向操作侧的一面。
50.从上述描述可知，通过操作面的设置，能够方便操作，避免第一接口、第二接口、第三接口的占据位置导致操作不方便的问题。
51.进一步的，所述机架1的底部还设置有多个带有刹车的万向轮15。
52.从上述描述可知，通过带有刹车的万向轮15，能够实现方便的运输和固定。
53.实施例一
54.一种多级抽真空装置，包括机架、预抽组件和精抽组件；
55.所述机架上方设置有操作台，所述操作台包括真空室和操作面板，所述真空室包括第一接口和第二接口；
56.所述预抽组件设置在机架内，所述预抽组件包括第一机械泵，所述第一机械泵与第一接口连通；
57.所述精抽组件包括第一分子泵与第二机械泵，所述第二机械泵通过第一分子泵与第二接口连通。
58.所述多级抽真空装置还包括充气组件，所述充气组件包括充气管汇和气瓶；
59.所述真空室还包括第三接口，所述第三接口、气瓶分别与充气管汇连通。
60.所述第三接口上设置有充气截止阀。
61.所述预抽组件还包括预抽管汇，所述第一机械泵通过预抽管汇与第一接口连通。
62.所述真空室有多个，多个所述真空室的第一接口通过预抽管汇与第一机械泵连通。
63.所述真空室有六个，三个所述真空室为一组，两组所述真空室的第一接口通过预抽管汇与第一机械泵连通；
64.所述精抽组件包括第二分子泵和两个精抽管汇，一组所述真空室的第二接口通过一精抽管汇的第二接口与第一分子泵连通，另一组所述真空室通过另一精抽管汇与第二分子泵连通；
65.所述第二分子泵与第二机械泵连通。
66.所述第一接口与预抽管汇之间设置有预抽截止阀；
67.所述第二接口与精抽管汇之间设置有精抽截止阀；
68.所述预抽截止阀和精抽截止阀还社会自有真空测试接口；
69.所述操作面板上具有真空计，所述真空计与真空测试接口连通。
70.所述预抽管汇上设置有放气阀。
71.所述机架具有操作侧，所述真空室包括操作面，所述操作面为真空室朝向操作侧的一面。
72.所述机架的底部还设置有多个带有刹车的万向轮。
73.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。