一种用于高洁净流体泵的检测方法及系统与流程

本发明涉及新材料质量检测的，尤其是涉及一种用于高洁净流体泵的检测方法及系统。

背景技术：

1、光刻是半导体芯片在制作过程中的一个重要工序，在该工序中，需要将光刻胶均匀的涂布在制品的表面，而现有的选取有高洁净流体作为光刻胶，高洁净流体具有极高的纯度，通常可以达到ppb(亿分之一)或ppm(百万分之一)级别的杂质浓度，经过严格的净化处理，高洁净流体中的微生物、颗粒和污染物浓度非常低，减少了对设备和工艺的污染风险。

2、目前根据光刻胶的粘度特性，分为低粘胶(0-100cp的粘度范围)，中粘胶(100-300cp的粘度范围)和高粘胶(300-20000cp的粘度范围)，在半导体生产中需要通过高洁净流体泵对高洁净流体(粘度范围属于高粘胶)进行打胶，以满足半导体生产要求，而现有的高洁净胶泵生产中需要人工逐一对胶泵进行检测，以确保高洁净流体泵的生产质量。

3、针对上述现有技术，存在以下问题：人工逐一检查胶泵导致高洁净流体泵的出厂检测效率低下，且人工检测容易发生误判，降低高洁净流体泵的生产质量，因此需要改进。

技术实现思路

1、为了提高高洁净流体泵的生产效率，本技术提供一种用于高洁净流体泵的检测方法及系统。

2、第一方面，本技术的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种用于高洁净流体泵的检测方法，所述方法包括步骤如下：

4、获取待检测的高洁净流体泵的安装状态信息，所述安装状态信息包括待检测高洁净流体泵的安装数量、检测进度及检测结果；

5、根据所述安装状态信息生成高洁净流体的供液需求信息，所述供液需求信息包括主管道流量需求、分管道的流量需求、分管道的阀门启闭信息，其中，所述主管道的一端连接有用于提供高洁净流体的高洁净胶瓶，所述主管道的另一端通过阀门与若干分管道分别连接，所述分管道的另一端用于与待检测的高洁净流体泵连接；

6、获取管道实际状态信息，所述管道实际状态信息包括主管道的状态信息、若干分管道的实际状态信息和阀门状态信息；

7、获取管道的历史状态数据并构建历史管道数据集，对所述历史管道数据集进行分析以得到预测管道状态数据，对比所述管道实际状态信息和预测管道状态数据并判断管道是否存在故障情况；

8、根据所述供液需求信息和所述管道实际状态信息生成检测条件指令，基于预设置的质检标准对待检测的高洁净流体泵进行检测，并生成检测结果；

9、根据所述检测结果同步所述安装状态信息，并根据所述检测结果生成检测报告。

10、通过采用上述技术方案，获取管道的实际状态信息，包括主管道的流量、压力等状态信息，各个分管道的实际状态信息以及阀门的开闭状态信息，有助于及时发现管道异常，提高管道运行的可靠性和安全性，将实际状态信息中的管道压强和流量与预测管道状态数据中的管道压强和流量进行对比，判断管道是否存在故障情况，能够实现对管道运行状态的长期跟踪和分析，从而提高对管道状态变化的预测能力，有助于及时发现潜在故障，减少生产中断和故障损失，并避免因管道自身原因而导致的检测结果误判，提高高洁净流体的检测准确性；本方案实现高洁净流体的自动化供给，将待检测的高洁净流体安装好后即开始质检，相比现有的通过人工检测，本方案实现高洁净流体的自动化质检，从而提高高洁净流体泵的生产效率，相比现有的通过人工检测高洁净流体泵的出厂质量，本方案提高了高洁净流体泵的监测精度、生产效率和产品质量，同时也增强了对潜在故障的预测和诊断能力，从而提高了系统整体的可靠性和使用寿命。

11、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：在根据所述安装状态信息生成高洁净流体的供液需求信息，所述供液需求信息包括主管道流量需求、分管道的流量需求、分管道的阀门启闭信息这一步骤中，包括步骤如下：

12、基于所述安装状态信息中的所述待检测高洁净流体泵的安装数量确定所述分管道的阀门启闭信息，当待检测高洁净流体泵的入料端与阀门连接时视为安装完毕；

13、基于安装完毕的待检测高洁净流体泵确定需要工作的分管道数量和分管道的流量需求；

14、基于需要工作的分管道数量和分管道的流量需求确定主管道的流量需求，对所述高洁净胶瓶进行加压控制，使得高洁净胶瓶中的高洁净流体流向主管道，并检测全部所需工作的分管道是否充满高洁净流体，以判断该分管道对应的待检测高洁净流体泵是否满足检测需求；

15、具体的，若所需工作的分管道充满高洁净流体，则该分管道对应的待检测高洁净流体泵满足检测需求；

16、若所需工作的分管道未充满高洁净流体时，则发出提示，以表示对应的待检测高洁净流体泵未满足检测需求。

17、通过采用上述技术方案，通过确定分管道的阀门启闭信息，能够准确了解每个待检测高洁净流体泵对应的分管道状态，有助于后续流量需求的确定和和检测工作的进行，提供了针对高洁净流体泵的供液需求信息生成方法，能够根据胶泵的安装状态和数量，准确确定分管道的阀门启闭信息和流量需求，提高供液系统的精准控制，通过确定主管道的流量需求和检测分管道是否充满高洁净流体，实时监测流体供给的情况，确保分管道和待检测高洁净流体泵满足检测需求，提高检测的准确性和可靠性。

18、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：在获取管道的历史状态数据并构建历史管道数据集，对所述历史管道数据集进行分析以得到预测管道状态数据，对比所述管道实际状态信息和预测管道状态数据并判断管道是否存在故障情况这一步骤之中，包括步骤如下：

19、获取主管道和全部分管道的历史管道数据，所述管道数据包括管道的截面流速和管道压强，基于所述历史管道数据构建历史管道数据集；

20、预设置的管道分析模型对所述历史管道数据集进行分析，所述管道分析模型用于生成预测管道状态数据；

21、将所述管道实际状态信息和所述预测管道状态数据进行对比，判断所述管道实际状态信息是否与所述预测管道状态数据存在差异；

22、若所述管道实际状态信息与所述预测管道状态数据存在差异，则基于预设置的偏差阈值判断管道是否存在故障情况；

23、具体的，若所述管道实际状态信息与所述预测管道状态数据的对比差异值超出预设置的偏差阈值，则管道存在故障情况，生成管道故障预警报告。

24、通过采用上述技术方案，通过获取历史管道数据并构建数据集，可以对管道的运行状态进行全面的分析和预测，为故障判断提供基础数据，其中，历史管道数据包括管道的截面流量、管道某点位的压强，判断管道内部是否存在堵塞，通过对比实际和预测的管道状态数据，可以评估预测的准确性，并判断管道是否存在异常情况，及时发现管道的异常状态和潜在故障，提供故障预警报告，帮助采取及时的维修和处理措施，减少生产中断和提高生产效率。

25、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：在获取待检测的高洁净流体泵的安装状态信息，所述安装状态信息包括待检测高洁净流体泵的安装数量、检测进度及检测结果这一步骤中，包括步骤如下：

26、获取全部待测位点的胶泵安装状态，并基于全部所述待测位点的胶泵安装状态生成待检测高洁净流体泵的安装数量数据；

27、若所述待测位点的安装有待检测高洁净流体泵，则获取所述待检测高洁净流体泵的检测进度，并根据所述待检测高洁净流体泵的检测进度结果生成与所述待测点位对应的检测进度数据。

28、通过采用上述技术方案，通过记录待检测高洁净流体泵的安装状态信息并构建历史安装状态数据集，可以实现对胶泵安装情况的实时监测和记录，并提供历史数据用于后续的分析和建模，有助于优化管道检测过程和提高胶泵的可靠性。

29、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：在获取待检测的高洁净流体泵的安装状态信息，所述安装状态信息包括待检测高洁净流体泵的安装数量、检测进度及检测结果这一步骤之后包括步骤如下：

30、记录待检测高洁净流体泵的所述安装状态信息，并根据历史所述安装状态信息构建历史安装状态数据集；

31、基于预设置的胶泵安装分析模型对所述历史安装状态数据集进行分析，生成检测的使用习惯画像，所述使用习惯画像包括单个胶泵的检测时长、更换待检测高洁净流体泵的时间间隔。

32、通过采用上述技术方案，构建历史安装状态数据集和生成检测使用习惯画像，可以更好地了解胶泵的安装状态和使用模式，有助于优化检测计划和维护策略，提高检测效率和胶泵的使用寿命。

33、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：在基于预设置的胶泵安装分析模型对所述历史安装状态数据集进行分析，生成检测使用习惯画像，所述检测使用习惯画像包括单个胶泵的检测时长、更换待检测高洁净流体泵的时间间隔这一步骤之后，包括步骤如下：

34、基于所述检测使用习惯画像构建供液需求预测模型，以生成预测供液需求数据；

35、根据所述预测供液需求数据和预测管道状态数据生成预测检测条件指令；

36、获取实际检测条件指令，并将所述实际检测条件指令与所述预测检测条件指令对比，以获取差异指令数据，并构建差异指令数据集；

37、基于所述差异指令数据集对所述预测检测条件指令进行优化，以降低所述预测检测条件指令与所述实际检测条件指令的偏差。

38、通过采用上述技术方案，基于预测供液需求数据和管道状态数据生成预测检测条件指令，可以实现对供液系统和管道状态的精确控制，确保生产设备的稳定运行和供液需求的高效满足，通过对比实际和预测的检测条件指令并基于差异指令数据集进行优化，可以不断改进和优化管道检测方案，提高其准确性和可靠性，从而提升整体生产效率和设备可靠性。

39、第二方面，本技术的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

40、一种用于高洁净流体泵的检测装置，所述装置包括：

41、安装状态信息获取模块，用于获取待检测的高洁净流体泵的安装状态信息，所述安装状态信息包括待检测高洁净流体泵的安装数量、检测进度及检测结果；

42、供液需求生成模块，用于根据所述安装状态信息生成高洁净流体的供液需求信息，所述供液需求信息包括主管道流量需求、分管道的流量需求、分管道的阀门启闭信息；

43、管道实际状态获取模块，用于获取管道实际状态信息，所述管道实际状态信息包括主管道的状态信息、若干分管道的实际状态信息和阀门状态信息；

44、管道状态预测模块，用于获取管道的历史状态数据并构建历史管道数据集，对所述历史管道数据集进行分析以得到预测管道状态数据，对比所述管道实际状态信息和预测管道状态数据并判断管道是否存在故障情况；

45、检测条件指令生成模块，用于根据所述供液需求信息和所述管道实际状态信息生成检测条件指令，基于预设置的质检标准对待检测的高洁净流体泵进行检测，并生成检测结果；

46、检测报告生成模块，用于根据所述检测结果同步所述安装状态信息，并根据所述检测结果生成检测报告。

47、通过采用上述技术方案，获取管道的实际状态信息，包括主管道的流量、压力等状态信息，各个分管道的实际状态信息以及阀门的开闭状态信息，有助于及时发现管道异常，提高管道运行的可靠性和安全性，将实际状态信息中的管道压强和流量与预测管道状态数据中的管道压强和流量进行对比，判断管道是否存在故障情况，能够实现对管道运行状态的长期跟踪和分析，从而提高对管道状态变化的预测能力，有助于及时发现潜在故障，减少生产中断和故障损失，并避免因管道自身原因而导致的检测结果误判，提高高洁净流体的检测准确性；本方案实现高洁净流体的自动化供给，将待检测的高洁净流体安装好后即开始质检，相比现有的通过人工检测，本方案实现高洁净流体的自动化质检，从而提高高洁净流体泵的生产效率，相比现有的通过人工检测高洁净流体泵的出厂质量，本方案提高了高洁净流体泵的监测精度、生产效率和产品质量，同时也增强了对潜在故障的预测和诊断能力，从而提高了系统整体的可靠性和使用寿命。

48、优选的，还包括安装状态数据集构建模块，用于记录待检测高洁净流体泵的所述安装状态信息，并根据历史所述安装状态信息构建历史安装状态数据集；

49、使用习惯画像生成模块，用于基于预设置的胶泵安装分析模型对所述历史安装状态数据集进行分析，生成检测的使用习惯画像，所述使用习惯画像包括单个胶泵的检测时长、更换待检测高洁净流体泵的时间间隔。

50、通过采用上述技术方案，构建历史安装状态数据集和生成检测使用习惯画像，可以更好地了解胶泵的安装状态和使用模式，有助于优化检测计划和维护策略，提高检测效率和胶泵的使用寿命。

51、第三方面，本技术的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

52、一种电子设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述一种用于高洁净流体泵的检测方法的步骤。

53、第四方面，本技术的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

54、一种存储介质，所述存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述一种用于高洁净流体泵的检测方法的步骤。

55、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

56、1、获取管道的实际状态信息，包括主管道的流量、压力等状态信息，各个分管道的实际状态信息以及阀门的开闭状态信息，有助于及时发现管道异常，提高管道运行的可靠性和安全性，将实际状态信息中的管道压强和流量与预测管道状态数据中的管道压强和流量进行对比，判断管道是否存在故障情况，能够实现对管道运行状态的长期跟踪和分析，从而提高对管道状态变化的预测能力，有助于及时发现潜在故障，减少生产中断和故障损失，并避免因管道自身原因而导致的检测结果误判，提高高洁净流体的检测准确性；本方案实现高洁净流体的自动化供给，将待检测的高洁净流体安装好后即开始质检，相比现有的通过人工检测，本方案实现高洁净流体的自动化质检，从而提高高洁净流体泵的生产效率，相比现有的通过人工检测高洁净流体泵的出厂质量，本方案提高了高洁净流体泵的监测精度、生产效率和产品质量，同时也增强了对潜在故障的预测和诊断能力，从而提高了系统整体的可靠性和使用寿命；

57、2、通过确定分管道的阀门启闭信息，能够准确了解每个待检测高洁净流体泵对应的分管道状态，有助于后续流量需求的确定和和检测工作的进行，提供了针对高洁净流体泵的供液需求信息生成方法，能够根据胶泵的安装状态和数量，准确确定分管道的阀门启闭信息和流量需求，提高供液系统的精准控制，通过确定主管道的流量需求和检测分管道是否充满高洁净流体，实时监测流体供给的情况，确保分管道和待检测高洁净流体泵满足检测需求，提高检测的准确性和可靠性；

58、3、通过获取历史管道数据并构建数据集，可以对管道的运行状态进行全面的分析和预测，为故障判断提供基础数据，其中，历史管道数据包括管道的截面流量、管道某点位的压强，判断管道内部是否存在堵塞，通过对比实际和预测的管道状态数据，可以评估预测的准确性，并判断管道是否存在异常情况，及时发现管道的异常状态和潜在故障，提供故障预警报告，帮助采取及时的维修和处理措施，减少生产中断和提高生产效率；

59、4、基于预测供液需求数据和管道状态数据生成预测检测条件指令，可以实现对供液系统和管道状态的精确控制，确保生产设备的稳定运行和供液需求的高效满足，通过对比实际和预测的检测条件指令并基于差异指令数据集进行优化，可以不断改进和优化管道检测方案，提高其准确性和可靠性，从而提升整体生产效率和设备可靠性。