液体输送方法和液体输送系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本公开涉及液体输送方法、液体输送系统和计算机可读记录介质。
【背景技术】
[0002]专利文献I公开了栗。该栗包括:筒体、同轴状地配置在筒体内的管、与筒体和管之间的内部空间连通的缸、配置在缸内的活塞、驱动活塞的电动机和测定填充在该内部空间内的工作液体的压力的压力传感器。
[0003]该栗移送管内的移送液体时，电动机驱动活塞对内部空间内的工作液体施加压力。这样，压力经由工作液体施加在管上。由此，管内的移送液体输出到管外。
[0004]液体为非压缩流体，所以工作液体的压力和从管输出移送液体的流量大致呈正比。因此，根据由压力传感器测定出的工作液体的压力控制活塞的驱动量，来控制从管输出移送液体的输出流量。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2007-154767号公报
【发明内容】
[0008]发明想要解决的技术问题
[0009]在专利文献I中记载的栗中，作为用于使管工作的工作流体使用液体(工作液体)。因此，需要用于防止工作液体的泄漏的结构。为了对工作液体施加压力，还需要活塞、电动机等比较复杂的驱动机构。
[0010]于是，本公开说明利用简单的结构能够实现液体的移送的液体输送方法、液体输送系统和计算机可读记录介质。
[0011]用于解决技术问题的技术方案
[0012]根据本公开的一方面的液体输送方法，包括:响应填充在覆盖具有弹性的管的外侧的管用壳体与所述管的外表面之间的内部空间中的气体的压力使液体在所述管内流通的步骤；取得在管内流通的液体的压力的大小作为第一值的步骤；取得填充在内部空间中的气体的压力的大小作为第二值的步骤；计算第一值与第二值之差作为第三值的步骤；和基于第三值检测管的状态的步骤。
[0013]根据本公开的一方面的液体输送方法，在覆盖管的外侧的管用壳体和管的外表面之间的内部空间填充有气体。即，作为用于使管工作的工作流体使用气体。因此，有向内部空间供给气体并从内部空间排出气体的机构即可，可以不用活塞、电动机等比较复杂的驱动机构。因此，能够利用简单的结构实现利用本公开的一方面的液体输送方法的液体的移送。
[0014]但是，例如在内部空间内的工作气体成为高压由工作气体对管施加压力的情况下，管以挤压的方式发生变形，并且相对于管径向向外地产生要恢复到初始的形状的反作用力。这样，因为气体是压缩性流体，管上一产生径向向外的反作用力，实质上经由管作用于移送液体的压力变小。而且，管的变形量越大，管上产生的径向向外的压力也趋于变大。因此，难以像以工作液体的压力和来自管的移送液体的流量大致呈正比这一点为前提根据工作液体的压力来控制活塞的驱动量的专利文献I那样，基于工作气体的压力来把握管的状态。内部空间内的工作气体变成低压，挤压的状态下的管要恢复到初始的形状而扩张的情况下也一样。
[0015]此处，从外方对管施加的工作气体的压力与从内方对管施加的移送液体的压力之差相当于实质上作用于管上的压力。因此，该差越大，管的变形量越大，并且管上产生的反作用力的大小越大。着眼于该现象，本公开的一方面的液体输送方法中，基于移送液体的压力的大小(第一值)和工作气体的压力的大小(第二值)之差(第三值)，检测管的状态。因此，能够利用第三值适当地检测难以直接由传感器等设备检测的管的状态。
[0016]还可以包括:向内部空间内供给气体或从内部空间排出气体以使得第一值成为规定值的步骤。此时，从管输出液体的输出流量或向管填充液体的填充流量为规定流量。当输出流量为规定流量时，更容易使液体均匀地供给到液体的供给对象物。当填充流量为规定流量时，体难以过剩地填充到管中，所以能够抑制管的破损。
[0017]也可以在伴随气体从内部空间的排出而在管内填充有液体的状态下，在检测管的状态的步骤中，当第三值达到规定的第一阈值时检测出液体向管内的填充已经完成。此时，预先求取在管内填充有液体的期望的状态下的移送液体的压力的大小和工作气体的压力的大小之差，由此能够检测出液体向管内的填充已经完成。但是，管周围的压力越小，管越要从挤压的状态恢复至初始的状态，所以能够促进液体向管内的填充。另外，管要从挤压的状态恢复至初始的状态时，管上产生的径向向外的反作用力变小，该反作用力能够基于移送液体的压力的大小和工作气体的压力的大小之差(第三值)来把握，所以能够基于该差间接地把握液体向管内的填充状态。从而，通过预先设定液体填充在管内并且管大致为初始的形状时的移送液体的压力的大小与工作气体的压力的大小之差作为第一阈值，能够将充足量的液体填充到管中，并且能够抑制液体过剩地填充到管内。
[0018]还可以包括:当第三值达到第一阈值时，停止从内部空间排出气体的步骤。
[0019]可以在伴随气体向内部空间的供给而从管内输出液体的状态下，在检测管的状态的步骤中，当第三值达到规定的第二阈值时检测出液体从管内的输出已经完成。此时，预先求取从管输出液体的期望的状态下的移送液体的压力的大小和工作气体的压力的大小之差，由此能够检测出液体从管的输出已经完成。但是，管周围的压力越大，管越从初始的状态成为挤压的状态，所以能促进液体从管内的输出。另外，管从初始的状态成为挤压的状态时，管上产生的径向向外的反作用力变大，该反作用力能够基于移送液体的压力的大小和工作气体的压力的大小之差(第三值)来把握，所以能够基于该差间接地把握液体从管内的输出状态。从而，通过预先设定液体被完全挤压时的移送液体的压力的大小与工作气体的压力的大小之差作为第二阈值，能够将大致全量管内的液体输出，并且能够抑制工作气体的压力过剩地施加于管上。
[0020]还可以包括:当第三值达到第二阈值时，停止向内部空间供给气体的步骤。
[0021]当第三值不足第二阈值时，可以根据第三值推定液体从管的输出量。第三值间接地表示随着管的变形在管上产生的反作用力，液体从管的输出量根据该反作用力而变化。因此，通过计算第三值，能够得到输出量的推定值。
[0022]根据本公开的另一方面的液体输送系统，包括:栗；第一和第二压力测定部；和控制部，栗包括:具有弹性的供作为移送对象的液体流通的管；管用壳体，覆盖管的外侧，在该管用壳体与管的外表面之间的内部空间保持气体；和向内部空间供给气体和从内部空间排出气体的供给排出部，第一压力测定部测定在管内流通的液体的压力的大小，第二压力测定部测定内部空间的气体的压力的大小，控制部执行如下处理:计算第一值和第二值之差作为第三值的处理，其中，上述第一值是由第一压力测定部测定出的压力的大小，上述第二值是由第二压力测定部测定出的压力的大小；和基于第三值检测所述管的状态的处理。
[0023]根据本公开的另一方面的液体输送系统，与上述方法一样，能够利用简单的结构实现液体的移送。
[0024]根据本公开的另一方面的计算机可读记录介质，记录有用于使液体输送系统执行上述方法的程序。根据本公开的另一方面的计算机可读记录介质，与上述方法一样，能够利用简单的结构实现液体的移送。在本说明书中，计算机可读记录介质包括非暂时性的有形介质(非暂时性计算机记录介质)(例如，各种主存储装置或辅助存储装置)和传播信号(暂时性计算机记录介质)(例如，可经由网络提供的数据信号)。
[0025]发明效果
[0026]根据本公开的液体输送方法、液体输送系统和计算机可读记录介质，能够利用简单的结构实现液体的移送。
【附图说明】
[0027]图1是表示基板处理系统的立体图。
[0028]图2是图1的I1-1I线截面图。
[0029]图3是图2的II1-1II线截面图。
[0030]图4是表示涂敷单元的示意图。
[0031 ]图5是表示液体供给系统的图。
[0032]图6是概略表示栗的截面的图。
[0033]图7的(a)是表示管的侧视图，图7的(b)是图7的(a)的B-B线截面图。
[0034]图8是表示栗装置的立体图。
[0035]图9是用于说明液体输送时的液体供给系统的动作的图。
[0036]图10是表示管被挤压的状态的截面图。
[0037]图11是经时表示输出动作时的液压的大小和管周围的气压的大小的关系的图。
[0038]图12的(a)是用于说明输出动作时的动作的流程图，图12的(b)是用于说明补充动作时的动作的流程图。
[0039]图13是用于说明补充动作时的液体供给系统的动作的图。
[0040]图14是经时表示补充动作时的液压大小和管周围的气压的大小的关系的图。
[0041 ]图15是用于说明排液时的液体供给系统的动作的图。
[0042]图16是表示一组栗装置的立体图。
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