本发明涉及一种精密行星齿轮机构，例如应用于自动机器(roboticmachine，机器人机器)，以用于机械臂的操作。
特别地，本发明涉及一种行星齿轮机构，该行星齿轮机构被构造成靠近机械臂的关节安装，并且能够传递必要的扭矩且同时确保：角位置的精确传递、尺寸小、重量轻以及对外部载荷的刚度。
背景技术：
行星齿轮机构是已知的，其具有锥齿轮以补偿施加在行星齿轮机构本身的齿轮上的轴向推力。
此外，为了限制锥齿轮之间的反冲，已知提供一种带有弹簧的轴向推力系统，该弹簧保持锥齿轮的齿彼此接触。
上述行星齿轮机构受到精度不足且具有有限齿轮比(gearratio，传动比)的缺点的影响。
技术实现要素：
本发明的目的是提供一种克服上述缺点的行星齿轮机构。
特别是，本发明的目的是提供一种精密行星齿轮机构，其紧凑且便宜，并且具有：高齿轮比；性能良好；并且齿轮之间没有反冲。
根据本发明，提供了根据所附权利要求的行星齿轮机构。
附图说明
下面将参照示出本发明的非限制性实施例的附图描述本发明，在附图中：
-图1是根据本发明的行星齿轮机构的结构的示意图；
-图2是根据本发明的行星齿轮机构的分解图；
-图3是图2的行星齿轮机构的纵向截面；
-图4示出了根据本发明的行星齿轮机构的变型；
-图5是根据本发明的行星齿轮机构的细节的示意图；
-图6示出了根据本发明的齿轮的理论模型，该齿轮具有带直齿的斜面体齿状部；以及
-图7示出了根据本发明的行星齿轮机构的另一变型。
具体实施方式
在图1至3中，附图标记1表示具有输入侧e和输出侧o的行星齿轮机构的整体。“输入侧e”是指行星齿轮机构1的被构造成接纳小齿轮2并与该小齿轮联接的一侧，小齿轮以已知方式连接至外部马达(未示出)，所述外部马达特别是电动马达。“输出侧o”指的是被构造成与例如机械臂等部件联接的一侧，其向所述部件传输运动。
根据图2和图3，行星齿轮机构1包括具有内部贯通腔体4和纵向轴线l1的外部圆柱形外壳3。腔体4通过分别位于输入侧e和输出侧o的区域中的端部开口5和6而面向外壳3的外部。有利地，腔体4能够容纳润滑剂密封系统(其为已知的且因此未示出)，以密封行星齿轮机构1并且保护行星齿轮机构免受污染。
外壳3被构造成在行星齿轮机构1的使用期间保持静止。特别地，外壳3包括凸缘7，该凸缘从行星齿轮机构1径向地向外突出并且具有围绕轴线l1均匀分布的、用于供螺钉(未示出)通过的孔8，所述螺钉能够将外壳3固定至自动机器的相应臂(未示出)。
行星齿轮机构1还包括固定环形齿轮9，该固定环形齿轮以成角度且轴向的固定方式联接至外壳3。固定环形齿轮9径向突伸到腔体4中。固定环形齿轮9基本垂直于轴线l1。固定环形齿轮9将腔体分成输入部分10和输出部分11。
根据附图，固定环形齿轮9与外壳3一起制成一个单一件，从而形成单一体；通过这样做，行星齿轮机构1的刚度增加并且组装行星齿轮机构1所需的时间和成本降低。根据一个变型(这里未示出)，固定环形齿轮9与外壳3分离并且联接至外壳3。
行星齿轮机构1还包括行星架12，该行星架通过输入部分10中的开口7插入到外壳3中。行星架12与轴线l1同轴并且被安装成围绕轴线l1旋转。
特别地，行星架12包括具有圆形形状的中心开口14的盘形板13，小齿轮2可以通过该中心开口插入到行星齿轮机构1中。有利地，开口14被构造成容纳润滑剂密封系统(其为已知的并且因此未示出)，以密封行星齿轮机构1并保护行星齿轮机构免于污染。根据一变型(这里未示出)，开口14被构造成容纳(已知的)轴承，所述轴承能够轴向地和/或径向地约束小齿轮2的位置，以便改进行星齿轮机构1的功能和精度。
以已知的方式，行星齿轮机构1包括介于行星架12与外壳3之间的装置，以确保所述行星架12和所述外壳3之间的相对旋转。例如，行星齿轮机构1包括轴承c1和相应的垫圈gl，轴承和垫圈安装在行星架12的板13上，从而能够进行行星架12和外壳3的输入部分10之间的相对旋转。
根据一变型(这里未示出)，行星架12与外壳3之间的轴承cl不具有外圈，并且轴承的滚柱(roller)直接在外壳3的输入部分19上滚动，该输入部分被适当地制备和处理。通过这样做，所占据的空间减小并且行星齿轮机构1的刚性和紧凑性增加。
行星架12的板13沿着轴线l1布置在固定环形齿轮9的旁边，但是该板与该固定环形齿轮间隔开，以避免所述固定环形齿轮9与板之间的相对摩擦。
行星架12还包括多个销15，每个销均具有基本平行于轴线l1的轴线l2。
销15围绕轴线l1均匀分布。在所示的示例中，具有三个销并且它们都从板13的相同侧朝向开口6突伸到腔体4中。根据一变型(这里未示出)，销15的数量是不同的并且这取决于行星齿轮机构1的应用类型。销15与行星架12的板13一起制造为一个单一件的事实增加了行星齿轮机构1的刚度和阻力，同时提高了行星齿轮机构1的成本效益和紧凑性。根据一变型(这里未示出)，每个销15都是连接到行星架12的板13的单独元件。
在所示的示例中，每个销15具有圆柱形本体，该销沿纵向具有：端部16和介于端部16与板13之间的中间部17。端部16具有比中间部17的直径小的直径。每个销15具有螺纹孔18，该螺纹孔与相应的轴线l2同轴并且形成在端部16内。孔18通过靠近于销15的自由端形成的开口与外部相通。
行星齿轮机构1还包括多个行星齿轮19。每个行星齿轮19包括具有斜面体齿状部的齿轮，以下称为斜面体齿轮(beveloidgear，锥齿轮)。
“具有斜面体齿状部的齿轮”或“斜面体齿轮”是指有齿的渐开线齿轮，通常被称作锥形渐开线齿轮或斜面体齿轮(在图6中示出了其理论模型)，其具有厚度s的齿z，齿的根部以及该齿轮的外径都沿着节圆柱(pitchcylinder)的轴线渐缩。斜面体齿轮不是正锥形齿轮，因为轴线处的所有正截面均表现为具有直齿的相同圆柱齿轮，该圆柱齿轮具有其自己的校正值x。当沿着齿z的纵向从顶点v移动时，随着校正值x沿着齿z的纵向线性地变化，齿z的厚度s和高度h增加。
图6示出了具有直齿的斜面体齿轮的齿z的理论模型。在图6中，bc表示基圆柱面，bh表示基螺旋线，其在一个翼面ih为正，在另一个翼面为负。如果一个翼面ih上的基螺旋线bh的值与另一个翼面ih的值相等并相反，则可以获得带有直齿的斜面体齿轮，否则齿轮被定义为斜齿轮。所有渐开线的起点都是从基螺旋线bh开始出现的。所有渐开线在顶部k的区域中彼此连接。齿z的翼面ih是渐开螺旋面。齿z具有沿着齿z的纵向渐缩的顶面(topland)tc和底面(bottomland)tf。在具有直齿的斜面体齿轮中，轴线处的所有正截面均表现为具有直齿的圆柱齿轮，该圆柱齿轮具有其自己的校正值x。图6示出了齿z的前平坦表面ff。
斜面体齿轮已经在以下出版物中进行了分析和讨论：
h.e.merritt，“gears(齿轮)”，pitman，伦敦，1955年，第165-170页；
a.s.beam，“beveloidgearing(斜面体齿轮)”，机械设计，卷26，1954年12月，第220-238页；
s.c.purkiss，“conicalinvolutegears：part1(圆锥渐开线齿轮：部分1)”，machinery89，1956年，第1403-1420页；和
c.c.liu、c.b.tsay，“contactcharacteristicsofbeveloidgears(斜面体齿轮的接触特性)”，mech.mach.theory，第37期，2002年，第333-350页。
特别地，每个行星齿轮19包括具有直齿的斜面体齿轮。每个行星齿轮19具有锥度γ。
固定环形齿轮9是内部有齿的，具有与行星齿轮19类似的斜面体齿状部。行星齿轮19具有面向输入侧e的顶点v。通过这样做，可以在行星齿轮机构1的安装之后插入小齿轮2，并且可以在无需拆卸行星齿轮机构1的情况下移除电气部件(电动马达和小齿轮)，并且如果需要的话，更换所述电气部件。
每个行星齿轮19具有内部贯通腔体29，其是同轴的并且具有基本上圆柱形的形状。根据图中所示的示例，行星齿轮机构1包括三个行星齿轮19。每个行星齿轮19围绕相应的销15的中间部17装配并且与固定环形齿轮9啮合。每个行星齿轮19以如下方式安装，即，其锥度γ与固定环形齿轮9的锥度相反(opposite，相对)。以已知的方式，行星齿轮机构1包括多个轴承c2(在所示的示例中示出了其中的三个)，每个轴承均围绕相应的销15装配并且介于销15与对应的行星齿轮19之间。在所示的实例中，轴承c2是滚针轴承。
在每个销15均为与行星架12的板13连接的独立元件的情况下，可以针对每个销15提供硬化处理，使得装配在相应的销15与相应的行星齿轮19之间每个轴承c2可以免除设置内圈，从而具有与销15接触的直接滚动的滚柱。通过这样做，行星齿轮机构1的尺寸和重量减小。
行星齿轮机构1还包括输出区块21，该输出区块被构造成将运动传递到自动机器的相应臂(未示出)。输出区块21具有大致圆柱形本体和通过端部开口23和24面向外部的内部腔体22。开口23面向输入侧e，而开口24面向输出侧o。输出区块21与轴线l1同轴并且被安装成围绕轴线l1旋转。
输出区块21进而包括可动环形齿轮24，该可动环形齿轮以成角度且轴向固定方式联接至输出区块21。可动环形齿轮25径向地突伸到腔体22中。可动环形齿轮25基本上垂直于轴线l1。
根据附图，可动环形齿轮25与输出区块21一起制造为一个单一件，从而形成单一体；通过这样做，增加了行星齿轮机构1的刚度，并且减少了组装行星齿轮机构1所需的时间和成本。根据一变型(这里未示出)，可动环形齿轮25可以联接至输出区块21。可动环形齿轮25可以与输出区块21一起围绕轴线l1旋转。
可动环形齿轮25是内部有齿的，具有与行星齿轮19的斜面体齿轮的齿状部互补的斜面体齿状部。换句话说，可动环形齿轮25的锥度γ与每个行星齿轮19的锥度γ相反。
输出区块21被插入到外壳3的输出部分11中，且可动环形齿轮25布置成邻近于固定环形齿轮9。固定环形齿轮9与每个行星齿轮19互补。换句话说，可动环形齿轮25具有与固定环形齿轮9的锥度γ相等的锥度γ。特别地，可动环形齿轮25的锥度γ与每个行星齿轮19的锥度γ相反。
根据附图，固定环形齿轮9面向输入侧e。固定环形齿轮9的内径与可动环形齿轮25的内径相比具有较小的延伸(extension)。
可动环形齿轮25和固定环形齿轮9彼此相邻。可动环形齿轮25和固定环形齿轮9彼此充分间隔开，以允许一环形齿轮(可动环形齿轮25)相对于另一环形齿轮(固定环形齿轮9)没有摩擦地旋转。在可动环形齿轮25和固定环形齿轮9之间存在隔室v；优选地，隔室v具有几毫米的延伸。有利地，隔室v的延伸允许润滑剂朝向轴承c流动，从而确保足够的润滑。隔室v的延伸取决于行星齿轮机构1的应用类型。
以已知的方式，行星齿轮机构1包括安装在输出区块21上的轴承c3、c4(以及相应的垫圈g2)、垫片d和刮环r，以使得输出区块21和外壳3之间能够相对旋转。根据所示的示例，行星齿轮机构1包括背对背布置的一对滚动轴承c3、c4。有利地，隔室v的延伸允许润滑剂朝向轴承c3、c4流动，以确保充分的润滑。
输出区块21还包括凸缘26，该凸缘靠近输出区块21的自由端径向突伸到行星齿轮机构1中。可选地，行星齿轮机构1包括插塞27(在图3中示出)，该插塞27被构造成插入到输出区块21的腔体22中并闭合该腔体且该插塞被构造成推靠在内部抵靠部上。
每个行星齿轮19同时与固定环形齿轮9以及与可动环形齿轮25两者啮合。特别地，每个行星齿轮19包括一个单一的斜面体齿轮，其同时与固定环形齿轮9以及与可动环形齿轮25两者啮合。
行星齿轮机构1还包括用于每个行星齿轮19的反冲调节系统28，该反冲调节系统被构造成轴向地推动相应的行星齿轮19抵靠固定环形齿轮9和可动环形齿轮25，以避免可能的反冲。
每个系统28又包括：
-圆盘29，其装配在销15的端部16上并被轴向推动以碰撞相应的行星齿轮19；
-弹簧30，其装配在端部16上，并具有与盘29接触的一端以及从端部16轴向突出的另一端；
-盘形板31；
-螺钉32，其延伸穿过板31并被旋拧到销15的螺纹孔18中。
螺钉32被构造成将板31推向盘30和行星齿轮19，以对弹簧30预加载。通过调节将螺钉32旋拧于孔18中的程度，可以调节用于将相应的行星齿轮19推向可动环形齿轮25和固定环形齿轮9的轴向力f，从而消除轴向反冲。根据一变型(这里未示出)，调节系统28可以包括与螺钉等效的预加载元件来取代螺钉，也就是说这样一个部件，即，所述部件被构造成调节盘29与板31之间的相对位置，以改变弹簧30的预加载。
根据图1至图3，小齿轮2包括具有斜面体齿状部的齿轮33(也称为圆锥渐开线齿轮)和轴34。
小齿轮2通过行星架12的开口14且以相对于轴线l1同轴的方式插入到外壳3、输出区块21和行星架12中。小齿轮2的齿轮33与每个行星齿轮19啮合。齿轮33的锥度γ与每个行星齿轮19的锥度γ相反。
图4示出了根据本发明的行星齿轮机构的变型101；特别是，该行星齿轮机构101是具有中空贯通轴的行星齿轮机构。
在图4中，与行星齿轮机构1相同的元件保留相同的附图标记。行星齿轮机构101包括小齿轮102，所述小齿轮又包括中空轴40，所述中空轴延伸穿过行星齿轮机构101并且被构造成通过其内部腔体将输入侧e连接至输出侧o。
小齿轮102包括具有斜面体齿状部的齿轮133，该斜面体齿状部从轴40径向地向外突伸。固定环形齿轮102具有与行星齿轮19的斜面体齿状部类似的斜面体齿状部。固定环形齿轮102的锥度γ与行星齿轮19的锥度γ相反。小齿轮102插入穿过外壳3、输出区块21和行星架12。固定环形齿轮102与每个行星齿轮19啮合。
图7示出了根据本发明的行星齿轮机构的变型201。
在图7中，与行星齿轮机构1相同的元件保留相同的附图标记。行星齿轮机构201包括用附图标记219表示的行星齿轮19的变型。特别地，行星齿轮219具有凹槽250。凹槽250是环形的且与轴线l2同轴。凹槽250形成在行星齿轮219的斜面体齿状部上。凹槽250轴向分开成两个部分251和252。部分251与可动环形齿轮25啮合。部分252与固定环形齿轮9以及与小齿轮2啮合。
有利地，凹槽250减小每个部分251和252的中间段中的剪切应力(shearstress，切变应力)。换句话说，凹槽250减小部分251的中间段中的剪切应力，并且类似地，减小部分252的中间段中的剪切应力。通过这样做，减小使用期间施加在行星齿轮219上的疲劳应力，因此增加行星齿轮219的寿命以及行星齿轮机构201的持续时间和可靠性。
有利地，凹槽250允许行星齿轮219的每个齿以均匀的方式变形。通过这样做，包括部分251和部分252的整个齿同时以啮合方式接合，从而允许行星齿轮机构201在理想条件下工作，这增加了其持续时间和可靠性。
此外，在图7中，附图标记228表示反冲调节系统28的变型。
根据图7，系统228包括轴承c5、杯形本体229、螺钉232、弹簧230和板231。
轴承c5与轴线l2同轴并且被安装成轴向碰撞相应的行星齿轮219。轴承c5是轴向滚针轴承。
杯形体229安装成轴向碰撞轴承c5；轴承c5介于杯形本体229与行星齿轮219之间。
杯形体229具有中心孔253，所述中心孔与轴线l2同轴。
螺钉232包括头部254和具有螺纹256的杆部255。
板231装配在螺钉232的杆部255上，并布置成与头部254接触。
弹簧230装配在螺钉232的杆部255上并与板231接触。
螺钉232被旋拧到销15的螺纹孔18中，以将板231朝向杯形本体232推动，从而对弹簧230预加载。
通过调节螺钉232旋拧于孔18中的程度，可以调节用于推动相应的行星齿轮219抵靠可动环形齿轮25和固定环形齿轮9的轴向力f，从而消除轴向反冲。
有利的是，介于杯形本体229和行星齿轮219之间的轴承c5的存在允许使用者减少由于摩擦和反冲导致的损失，减少行星齿轮机构201内部的污染物，限制螺钉232旋松的可能性，并引导弹簧。
最后，作为轴承c3和c4的替代，行星齿轮机构201具有交叉滚子轴承(crossedrollerbearing)c6，这增加了行星齿轮机构201的刚度。
根据一变型(在此未示出)，上述行星齿轮机构1或101具有如图7所示的调节系统228来取代调节系统28。
根据一变型(在此未示出)，行星齿轮机构1或101包括输入侧e上的接口系统(interfacesystem)，其允许使用者基于不同的运动源定制行星齿轮机构1，在不影响行星齿轮机构1的精度的前提下引入可互换的减速前级，并且在行星齿轮机构1的情况下获得具有中空贯通轴的版本。在图7中，示出了所述接口系统并以附图标记257表示。
图1示出了上述行星齿轮机构1、101或201的操作图。特别地，小齿轮2或102用罗马数字i表示，每个行星齿轮19或219用ii表示，固定环形齿轮9用iii表示，可动环形齿轮25用iv表示。
固定环形齿轮iii和可动环形齿轮iv之间的齿z的差是行星齿轮ii的数量的倍数。优选地，固定环形齿轮iii和可动环形齿轮iv之间的齿z的差等于行星齿轮ii的数量，从而限制环形齿轮iii和iv的直径和锥度的大小，否则对于设想的应用类型而言它们将会太大。
固定环形齿轮iii和可动环形齿轮iv的齿的数量由以下等式调节：
z1＝z2+n
其中，
z1＝具有最大直径的环形齿轮(在该示例中为可动环形齿轮iv)的齿的数量；
z2＝具有最小直径的环形齿轮(在该示例中为固定环形齿轮iii)的齿的数量；并且
n＝行星齿轮的数量。
固定环形齿轮iii、可动环形齿轮iv以及行星齿轮ii具有相同的模数(module)m。
根据图1，行星齿轮机构1、101或201是具有两级s1和s2的行星齿轮机构，其中，级s1通过小齿轮i、行星齿轮ii和固定环形齿轮iii的啮合给出；而级s2通过小齿轮i、行星齿轮ii和可动环形齿轮iv的啮合给出。
参考图5中所示的图，固定环形齿轮ii和可动环形齿轮iv通过以下关系相互关联：
其中：
-xb是行星齿轮ii在与具有最大内径的环形齿轮(在该示例中为可动环形齿轮iv)啮合的中线b(图5中示意性示出)的校正值；
-xa是行星齿轮ii在与具有最小内径的环形齿轮(在该示例中为固定环形齿轮iii)啮合的中线a(图5中示意性示出)的校正值；
-la是具有最小内径的环形齿轮(在该示例中为固定环形齿轮iii)沿着轴线l2的延伸；
-lb是具有最大内径的环形齿轮(在该示例中为可动环形齿轮iv)沿着轴线l2的延伸；
-v是固定环形齿轮iii与可动环形齿轮iv之间沿着轴线l2的距离；
-γ是行星齿轮ii、固定环形齿轮iii以及可动环形齿轮iv的锥度；
以及
-m是固定环形齿轮iii、可动环形齿轮iv以及小齿轮i的模数。
优选地，锥度γ具有从1°到3°范围内的值。
以已知的方式，我们将有齿的环形齿轮本身的节径(pitchdiameter，节圆直径)和齿的数量之间的比率定义为有齿的环形齿轮的模数m。即，根据已知的技术：
其中：
-2r是有齿的环形齿轮的圆周齿顶圆(circumferenceaddendumcircle)的直径；
-z是有齿的环形齿轮的齿的数量。
在使用中，小齿轮i在驱动中并引起行星齿轮ii的旋转，因此行星齿轮ii在固定环形齿轮iii上旋转，并且继而引起被驱动的可动环形齿轮iv的旋转。
对于行星齿轮ii和小齿轮i两者都使用斜面体齿轮具有以下优点：
-斜面体齿轮(i和ii)可以彼此联接而具有相交的轴线，而不需要如在锥形齿轮的联接中那样，具有共用的锥体的顶点v；
-锥角的值既不与齿轮的轴线之间的角度值相关，也不与传动比相关；因此，斜面体齿轮(i和ii)可以彼此联接，获得任何类型的齿轮比和轴线之间的角度；
-消除了可能的组装错误的影响，因为轴向移动和轴线之间角度的小变化不影响行星齿轮机构1或101的操作；
-可能产生锥角变化、齿z厚度变化或螺旋变化的加工误差不会影响斜面体齿轮(i和ii)之间的啮合；
-如果斜面体齿轮(i和ii)安装成以具有平行轴线的方式相互啮合，则通过轴向推动斜面体齿轮抵靠彼此而消除可能的反冲；以及
-彼此啮合的斜面体齿轮(i和ii)构造成使得在靠近齿z的表面中心的位置发生接触，通过这样做，与锥形齿轮或圆柱齿轮相比较，斜面体齿轮(i和ii)更精细且更安静地运行。
有利的是，每个行星齿轮19或219均包括与固定环形齿轮9和可动环形齿轮25两者都接触的一个单一斜面体齿轮允许每个行星齿轮19或219通过砂轮的一次运行进行打磨。换句话说，每个行星齿轮19或219包括一个单一斜面体齿轮的事实允许使用者减少加工和组装时间，提高行星齿轮19或219的质量和精度，并且获得小公差，从而提高作为整体的行星齿轮机构1、101或201的精度。
反冲调节系统28或228具有使得行星齿轮ii、固定环形齿轮iii和可动环形齿轮iv之间的反冲最小化的优点；因此减小行星齿轮ii、固定环形齿轮iii和可动环形齿轮iv之间的角传递误差，因为这种反冲是角传递误差的主要原因。
上述调整系统28或228具有特别紧凑的优点，因此使得行星齿轮机构1、101或201沿纵向占据的空间和重量两者最小化。
调节系统28或228包括弹簧30或230(即，具有在宽范围内可变的弹性系数的调节机构)，该弹簧由螺钉32或232(即，其行程可在宽范围内调节的紧固装置)预加载，允许使用者通过仅选择弹簧的类型和/或螺钉32或232的拧紧程度而能够获得大范围的预加载力f。通过这样做，同一行星齿轮机构1、101或201可以容易且快速地调整到不同的用途，特别是，作用在行星齿轮19或219上的轴向力f可以基于使用期间其轴向移动来调整。
有利的是，为每个行星齿轮19或219提供独立的调节系统28或228的事实使得能够对每个行星齿轮19或219进行专门(adhoc，特别)调节。通过这样做，每个行星齿轮19或219总是处于零反冲的啮合状态下，不管固定环形齿轮9和/或可动环形齿轮25和/或行星齿轮19或219是否存在可能的偏心或错位。
有利的是，得益于由小齿轮2或102传递给每个行星齿轮19或219的载荷的均匀分布，并且由于销15的轴线l2平行于小齿轮2或102的轴线l1这个事实，行星齿轮机构1、101或201具有更大的刚性和精度，同时具有降低的噪音产生。有利地，通过在小齿轮2的轴34与行星架12的开口14之间应用轴承(未示出)而提高了这些结果。
与传统行星齿轮机构相比，上述行星齿轮机构1、101或201确保了大幅缩减，同时与传统行星齿轮机构相比其性能具有竞争力。
上述行星齿轮机构1、101或201是高度紧凑且精确的行星齿轮机构。特别地，在行星齿轮机构1、101或201中，有限数量的部件允许制造商提高精度，增加刚度(并且因此增加定位精度)并降低制造成本。
得益于其结构，行星齿轮机构1、101或201具有最小化的反冲、振动和惯性；这导致确保快速加速、精细运动以及高定位精度的优点。