基于磁致伸缩与直槽结构石英摆线复合机理的隔微振装置的制作方法

文档序号:11472037阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明基于磁致伸缩与直槽结构石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成;第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成;致动器由复合摆丝和驱动装置构成;复合摆丝包括第二石英丝和涂敷在第二石英丝表面的超磁致伸缩材料涂层,第二石英丝表面刻蚀有截面为矩形和半圆组合图形的直沟槽,驱动装置包括上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成、高灵敏度的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果,以及致动器的灵敏度。

技术研发人员:王雷;李君忠;陈嘉敏;赵勃;王静
受保护的技术使用者:哈尔滨工业大学
技术研发日:2017.06.06
技术公布日:2017.08.22
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