减压阀门和阀门系统的制作方法

文档序号:14277300阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供一种用于射流卡盘的阀门。所述阀门包括:阀门空腔,其具有对应地连接到第一和第二通道的第一和第二开口;以及在所述阀门空腔内的柔性膜,所述柔性膜具有可致动以密封所述第一开口的第一部分和可致动以密封所述第二开口的第二部分;其中所述阀门空腔经配置使得所述第一柔性膜部分可以独立于所述第二柔性膜部分致动以使得所述第一开口能够独立于所述第二开口被密封。

技术研发人员:J·K·泰勒;B·阿莱特
受保护的技术使用者:阿特莱斯遗传学有限公司
技术研发日:2014.07.28
技术公布日:2018.04.27
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