本实用新型涉及一种半导体设备的系统安装辅助工具，更具体的涉及一种分子束设备的源炉安装支架，属于半导体设备安装器械领域。
背景技术：
目前，在半导体分子束外延设备在安装、装源和维护的过程中，通常需要先将源炉拆下，进行所需的安装或维护等操作后，再将源炉重新安装到主机系统上。安装源炉时，需要将源炉与主机系统上相应的接口对齐，两侧接口中间放入密封圈，再用螺丝固定，成功安装的源炉应在接口处实现严格的密封。目前，安装源炉时主要由安装人员人工支撑源炉，采用人工的方式将源炉与主机系统对齐、固定。
上述现有的安装方式中存在以下问题：采用安装人员的人力支撑源炉进行安装，容易出现源炉如果安装时接口处未对齐，或密封圈移位，就会导致在接口处漏气，需要拆下源炉后更换新密封圈并重新安装；同时，生长型分子束外延设备源炉体积大，重量沉，人工支撑源炉非常安装费力，安装时不但需要多人配合，而且源炉在对接和固定的过程中不稳定，这会导致安装时间长，容易出现密封圈滑动等安装不成功的情况；目前，现有技术中的源炉支架只能部分支撑源炉的重量，并没有完全解决人工支撑源炉所导致的问题；并且不同的分子束外延设备的源炉大小也有差别，现有的安装方式比较单一，不能够兼容所有型号的源炉。
因此，现在急需一种新的分子束设备的系统安装辅助工具，其能够实现准确的将源炉与主机系统相应接口对齐，并且能够减轻安装人员的负担，并且兼容所有型号的源炉安装使用。
技术实现要素：
根据本实用新型的实施例，提供了一种分子束设备的系统安装辅助工具，该安装辅助工具可以为源炉安装支架，其能够完全支撑源炉的重量，并可灵活调节源炉的高度和角度，因此可以使安装人员更容易的将源炉安装到主机系统上，减少安装源炉所需的人员，提高安装的成功率。
本实用新型提供了一种半导体设备的系统安装辅助工具，用于分子束外延设备的源炉安装，其特征在于该辅助安装工具包括:
设备支撑底座，该底座包括基础底座、底座万向移动装置和垂直于地面的升降平台；
角度调整机构，该角度调整机构包括三角形支架和角度调整轴，该三角形支架安装在设备支撑底座上，在三角形支架的顶端固定有角度调整轴，该角度调整轴可以调节源炉的俯仰角并具有第一锁紧装置，该第一锁紧装置可以在任意位置对源炉进行角度锁紧；
源炉固定装置，包括源炉固定托架，该托架可拆卸地与角度调整轴安装在一起，用于承载源炉。
在所述系统安装辅助工具中，所述设备支撑底座的基础底座具有长方体或梯形体的框架结构；升降平台采用液压结构进行升降。
在所述系统安装辅助工具中，所述设备支撑底座的底座万向移动装置为一万向底轮，该万向底轮具有第二锁紧装置，所述第二锁紧装置用于在任意角度对万向底轮锁紧；所述万向底轮的每一个均具有单个高度调节装置，该高度调节装置具有第三锁紧装置，第三锁紧装置用于万向底轮的可调节高度内的任意位置进行锁紧，来针对不同水平情况的地面，保证在不同地面位置上安装源炉时，均实现底轮的稳定支撑。
在所述系统安装辅助工具中，所述角度调整机构还具有一转动盘，该角度调整轴固定于该转动盘上，该转动盘固定于三角形支架的顶端，该转动盘可以进行360度的转动。
在所述系统安装辅助工具中，所述源炉固定托架为U形，且其与角度调整轴为可拆卸结构，不同的源炉可以安装不同型号的托架。
在所述系统安装辅助工具中，所述源炉固定托架与角度调整轴为一体成型结构，所述源炉固定托架为U形可伸缩矩形体结构，以根据源炉的大小和形状进行调整。
在所述系统安装辅助工具中，所述的设备支撑底座、角度调整机构以及源炉固定装置，均采用高强度金属材料制成。
在所述系统安装辅助工具中，所述源炉固定托架内表面安装有减震材料防止源炉滑动或向两侧滚动；设备支撑底座上具有弹簧类减震装置。
在所述系统安装辅助工具中，所述源炉固定托架在源炉电源线及信号线伸出的部分有孔，可以防止电源线和信号线受挤压。
本实用新型设计的源炉安装支架可以完全支撑源炉的重量，并可灵活调节源炉的高度和角度，保证在源炉安装过程中，源炉可准确的与主机系统上相应的接口对齐，且在对准和安装的过程保持稳定，防止密封圈在在安装过程中滑动。因此可以使安装人员更容易的将源炉安装到主机系统上，减少安装源炉所需的人员，提高一次安装的成功率。
附图说明
图1为本新型的半导体设备的系统安装辅助工具的结构示意图。
图中：
1.源炉固定托架 2.角度调整轴 3.升降台 4.底轮 5.源炉
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。
请参考图1，图1为本新型的半导体设备的系统安装辅助工具。该半导体设备的系统安装辅助工具，用于分子束外延设备的源炉安装，其由三部分构成：设备支撑底座、角度调整机构和源炉固定装置。其中设备支撑底座包括基础底座、底座万向移动装置和垂直于地面的升降平台。角度调整机构，该角度调整机构包括三角形支架和角度调整轴，该三角形支架安装在设备支撑底座上，在三角形支架的顶端固定有角度调整轴，该角度调整轴可以调节源炉的俯仰角并具有第一锁紧装置，该第一锁紧装置可以在任意位置对源炉进行角度锁紧；源炉固定装置，包括源炉固定托架，该托架可拆卸地与角度调整轴安装在一起，用于承载源炉。所述设备支撑底座的基础底座具有；可升降平台采用液压结构进行升降。所述设备支撑底座的底座万向移动装置为一万向底轮，该万向底轮具有第二锁紧装置，所述第二锁紧装置用于在任意角度对万向底轮锁紧；所述万向底轮的每一个均具有单个高度调节装置，该高度调节装置具有第三锁紧装置，第三锁紧装置用于万向底轮的可调节高度内的任意位置进行锁紧，来针对不同水平情况的地面，保证在不同地面位置上安装源炉时，均实现底轮的稳定支撑。所述角度调整机构还具有一转动盘，该角度调整轴固定于该转动盘上，该转动盘固定于三角形支架的顶端，该转动盘于可以进行360度的转动。所述源炉固定托架为U形，且其与角度调整轴为可拆卸结构，不同的源炉可以安装不同型号的托架。所述源炉固定托架与角度调整轴为一体成型结构，所述源炉固定托架为U形可伸缩矩形体结构，以根据源炉的大小和形状进行调整。所述源炉固定托架内表面安装有减震材料防止源炉滑动或向两侧滚动；设备支撑底座上具有弹簧类减震装置。源炉固定托架在源炉电源线及信号线伸出的部分有孔，可以防止电源线和信号线受挤压。
图1示出了一种实施方式。该安装设备具有用于设备支撑底座的源炉固定托架1，源炉固定托架为U形，角度调整轴2，三角形支架，升降台3和底轮4。其中，源炉固定托架1根据源炉5的长度、直径设计。本领域技术人员也可以根据需要将设备支撑底座设计为基础底座与升降平台结合的形式，基础底座可以为长方体或梯形体的框架结构，升降台可以进行垂直于地面的升降，具体的升降高度可以由本领域技术人员根据半导体设备的高度进行设计。
如图1所示，可将源炉5稳定的固定在源炉固定托架1上，源炉固定托架1上可选择的安装有减震防滑材料来防止源炉5滑动或向两侧滚动。源炉固定托架1和角度调整轴2之间可拆卸，因此不同尺寸的源炉5可使用不同尺寸的源炉固定托架1，同时也可以将固定托架设计为可伸缩框架，能够根据源炉的大小进行调整。可选择的，角度调整轴2与升降台的链接装置上可以增加转动盘，该转动盘可以进行360的旋转，以适应安装的需要。角度调整轴2可以调节源炉的俯仰角，并可以锁紧，实现俯仰角的固定。升降台3 可以调节整体高度，并可以锁紧，实现高度的固定，其抬升方式可以采用常用的液压机构。底轮4可使整个支架在地面上向任意方向移动，并可以锁紧，实现源炉安装支架整体位置的固定。底轮4还可以单个进行高度调整，因此可以应对不同水平情况的地面。考虑到对于源炉本身的保护，还可以在支撑底座上增加弹簧类的减震装置。
当安装源炉时，选择与源炉5向匹配的源炉固定托架1，将源炉固定托架1与角度调整轴2相连，将源炉5置于源炉固定托架1上，并在源炉侧法兰上放上密封圈。通过调整角度调整轴2的俯仰角度，升降台3的高度，和底轮4的位置及每个底轮4的高度，使得源炉5平稳的接近主机系统相应的接口。调整其中一个部分时可将其余部分锁紧，防止无需调整的部分意外活动，提高源炉5在对接过程中的稳定性，减少密封圈在此过程中滑动的可能性。源炉5与主机系统相应的接口相接并对齐后，锁紧角度调整轴2，升降台3和底轮4。此时源炉稳定的置于源炉固定托架1上，安装人员可容易的拧紧所有螺丝，且密封圈不会在此过程中滑动。
设备支撑底座、角度调整机构以及源炉固定装置，均采用高强度金属材料制成，坚固耐用。
本实用新型设计的源炉安装支架可以完全支撑源炉的重量，并可灵活调节源炉的高度和角度，保证在源炉安装过程中，源炉可准确的与主机系统上相应的接口对齐，且在对准和安装的过程保持稳定，防止密封圈在在安装过程中滑动。因此可以使安装人员更容易的将源炉安装到主机系统上，减少安装源炉所需的人员，提高一次安装的成功率。
以上对本实用新型所提供的一种半导体设备的系统安装辅助工具进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。