技术总结
本实用新型揭示了高真空插板阀，包括阀体，所述阀体具有两个共轴的阀口，所述阀体内腔中设置有导向机构，所述导向机构上滑动设置可封堵一个阀口的顶升式阀芯组件，所述顶升式阀芯组件连接驱动其沿所述导向机构往复滑动并控制阀口开度的驱动机构。本实用新型设计精巧，结构简单，采用伺服电机及丝杠驱动，能够有效的控制顶升式阀芯组件的移动位置，从而可以精确调整阀口的开度，进而控制真空室内的真空度，应用灵活。
技术研发人员：钱政羽;钱涛;吴其涛
受保护的技术使用者：星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
文档号码：201720460706
技术研发日：2017.04.28
技术公布日：2018.01.23