一种中心圈的制作方法

本实用新型涉及一种限流装置，尤其涉及一种中心圈。

背景技术：

在半导体领域，主要用如图1所示的机台真空系统进行氧化膜刻蚀工艺，该机台真空系统包括一处理腔，该处理腔在工作时需要处于真空状态，而维护时需要处于大气状态。从大气状态到真空状态的步骤包括：先开启粗抽阀门V36，干泵通过真空管路抽走空气，使得处理腔内的压力下降到数百毫Torr，然后关闭粗抽阀。接着开启阀门V37，开启APC阀门，通过分子泵把处理腔内的腔体压力抽到0毫Torr，从而实现真空状态。在这过程中，传统的真空管路里都采用如图2所示的中心圈对真空管路进行密封连接，该中心圈结构简单，仅包括内侧的内圈21和O型环22。但是在上述步骤过程中，开启粗抽阀门V36瞬间，经中心圈流过的大量的空气流经干泵，然后被干泵压缩排向尾部的尾气处理装置。由于干泵尾端的排气管管径较细，以及尾气处理装置能力有限，不能及时排除瞬间流过的大量空气，致使干泵尾端的压力过高。虽然压力是瞬时升高并随着腔体内的压力而下降，干泵尾端压力也能快速下降，但是由于干泵保护机制的作用，在尾端压力过高的情况下，干泵本身会报警并停止工作，导致设备主机台报警，并且联动分子泵停机。为了使机台真空系统恢复正常工作，需要等分子泵停止工作后，重新开启干泵和分子泵，以重复腔体抽真空过程。由此可以看出，上述工作过程极大的浪费时间。

技术实现要素：

针对目前机台真空系统存在的上述问题，本实用新型提供一种中心圈。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案为：

一种中心圈，应用于机台真空系统，所述中心圈包括O型环，设于O型环内的内圈，

底部基座，所述底部基座是从所述内圈的内侧下边缘向中心延伸并且与内圈呈“L”型的结构；

固定片，所述固定片固定于所述底部基座上；

活动片，所述活动片的部分形状与所述固定片的部分形状相匹配以彼此接合，且所述活动片可活动地设置于所述底部基座上；

弹性机构，所述弹性机构连接所述固定片和活动片，以控制所述活动片的打开或盖合。

优选的，所述弹性机构包括：

固定杆，所述固定杆可拆卸地垂直设置于所述固定片上；

固定垫片，所述固定垫片可拆卸地设置于所述活动片上；

弹簧，所述弹簧一端可拆卸地连接固定杆的上端，另一端可拆卸地连接固定垫片。

优选的，所述活动片包括圆弧部分和横截面部分，所述圆弧部分的面积大于以所述活动片的圆心为圆心、以所述活动片的半径为半径的圆的面积的一半。

优选的，所述固定片呈半圆形，并且从所述固定片的直径向圆弧的延伸处设置有一弧形凹槽，该弧形凹槽的形状与跟活动片连接处的形状相匹配，以将活动片的部分放置于所述弧形凹槽中。

优选的，所述弧形凹槽的直径大于所述底部基座的直径。

优选的，所述固定杆通过固定片上的通孔将其可拆卸地穿过并固定于所述固定片上；和/或

所述固定垫片通过活动片上的通孔将其可拆卸地穿过并固定于所述活动片上。

优选的，在所述固定片与所述活动片的连接处的下方设置有一包括圆形凹槽的固定柱；

所述活动片的横截面部分的下方设置有与所述圆形凹槽的形状相匹配的固定柱，以在所述弹性机构的带动下打开或盖合所述活动片。

优选的，所述底部基座的直径为20mm。

优选的，所述固定片的直径为23.8mm。

优选的，所述活动片的直径为21.4mm。

本实用新型的有益效果：本实用新型的中心圈应用于真空管路，当中心圈两侧的气压差比较大时，使得中心圈内的活动片在气压差以及弹性机构的共同作用下闭合，中心圈通过活动片与固定片之间的缝隙限制气体流量。随着中心圈两侧的压力差的缩小，在弹性机构的作用下打开活动片。整个过程不影响干泵尾端的排气压力，避免干泵报警引起的制品报废风险和机台正常运行时间的损失。按照目前腔体每月预防保养一次计算，此设计可提升正常运行时间0.1％。

附图说明

图1为现有技术中的机台真空系统的框图；

图2为现有技术中应用于图1的机台真空系统的中心环；

图3为本实用新型的中心圈的纵向剖面图；

图4为中心圈的底部基座的俯视图；

图5为中心圈的固定片的俯视图；

图6为中心圈的活动片的俯视图；

图7为本实用新型的中心圈的纵向剖面图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

一种中心圈，应用于机台真空系统，中心圈包括O型环31，设于O型环31内的内圈32，

底部基座33，底部基座33是从内圈32的内侧下边缘向中心延伸并且与内圈32呈“L”型的结构，

固定片34，固定片34固定于底部基座33上；

活动片35，活动片35的部分形状与固定片34的部分形状相匹配以彼此接合，且活动片35可活动地设置于底部基座33上；

弹性机构，弹性机构连接固定片34和活动片35，以控制活动片35的打开或盖合。

如图3-7所示的一种中心圈，固定片34和活动片35都位于内圈32的如图4所示的底部基座33上，且固定片34和活动片35连接处的形状能够匹配接合，使得活动片35盖合时，固定片34和活动片35能够一起覆盖中心圈的整个内圈32。内圈32的直径可以为24mm，可采用钢圈，金属等材料制成。O型环31的直径可以为28mm，可采用橡胶材料制成。固定片34和活动片35可以采用金属材料制成。因此，在固定片34和活动片35的连接处不可能完全密封，会存有一定的间隙。

本实用新型的中心圈可以安装在如图1所示的粗抽阀门V36下的法兰位置，连接起两侧管路。当粗抽阀门V36关闭，法兰口处的压力处于低真空状态，内圈32中的活动片35由于弹性机构的拉力，维持在打开位置。当粗抽阀门V36打开，中心圈相对于处理腔内的压力是大气压，而相对于干泵侧的压力是低真空。所以由于巨大的压力差，内圈32中的活动片35处于关闭状态。中心圈仅能通过活动片35与固定片34之间的缝隙极大地限制两侧的气流。并且随着两侧压力差的缩小，在弹性机构的拉力下重新打开活动片35。在低压力差时，中心圈失去限制空气流动的能力，同时不影响正常抽真空。

本实用新型优选的实施方式，如图7所示，弹性机构包括：

固定杆71，固定杆71可拆卸地垂直设置于固定片34上；

固定垫片，固定垫片可拆卸地设置于活动片35上；

弹簧72，弹簧72一端可拆卸地连接固定杆71的上端，另一端可拆卸地连接固定垫片。

该固定杆71和固定垫片可以采用螺栓结构，简单方便。固定杆71和固定垫片都靠内圈设置，当活动片35盖合住内圈32时，固定杆71和固定垫片处于同一水平线上，使得弹簧72用最小的力来打开或盖合活动片35。

本实用新型优选的实施方式，活动片35包括圆弧部分和横截面部分，圆弧部分的面积大于以活动片35的圆心为圆心、以活动片35的半径为半径的圆的面积的一半。

如图6所示的活动片35，其圆弧部分指的是围绕圆弧的部分，而横截面部分指的是水平横截面部分。该水平横截面部分的大小和形状与图5所示的固定片的弧形凹槽的形状相匹配。

本实用新型优选的实施方式，固定片34呈半圆形，并且从固定片34的直径向圆弧的延伸处设置有一弧形凹槽51，该弧形凹槽51的形状与跟活动片35连接处的形状相匹配，以将活动片35的部分放置于弧形凹槽51中。

本实用新型优选的实施方式，弧形凹槽51的直径大于底部基座33的直径。

弧形凹槽51的直径大于底部基座33的直径，使得弧形凹槽51相对于底部基座33具有一定空出来的空间，该空出来的空间用于放置活动片35，使得活动片能够共同盖合住中心圈的内圈。

本实用新型优选的实施方式，固定杆71通过固定片34上的通孔36将其可拆卸地穿过并固定于固定片34上；和/或

固定垫片通过活动片35上的通孔37将其可拆卸地穿过并固定于活动片35上。

本实用新型优选的实施方式，在固定片34与活动片35的连接处的下方设置有一包括圆形凹槽74的固定柱73；

活动片35的横截面部分的下方设置有与圆形凹槽74的形状相匹配的固定柱73，以在弹性机构的带动下打开或盖合活动片35。

本实用新型优选的实施方式，底部基座33的直径为20mm。

本实用新型优选的实施方式，固定片34的直径为23.8mm。

本实用新型优选的实施方式，活动片35的直径为21.4mm。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所做出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。