流体加热器的连接装置的制作方法

本实用新型涉及一种流体加热器的连接装置。

背景技术：

半导体是一种精密复杂的电子元件，该类高科技电子元件在半导体工业制造的方法，多在硅半导体上应用氧化层成长、蚀刻、清洗等技术，制成功能完整的晶圆。此类制造技术因常用到具有毒性的气体及化学液体，因此，若作业空间防护不良或设备妥善度不佳，将会直接影响作业人员的人身安全。

上述制程中，腐蚀性强酸的流体(包括液体及气体)会通过热交换器被提高温度或浓度，以加速强酸在制程中的反应效率。习用的热交换动作，通常是在强酸流体的管路上串联一蒸汽加热器，该蒸汽加热器与强酸管路组接的两侧端面、强酸管道或连结构件直接承受高温、强酸的作用。然而习用热交换器耐腐蚀的能力及耐高温能力不佳，导致容易在二相邻构件的结合处因锈蚀而发生泄漏的不良情形，影响工作安全甚巨。另一方面，连结构件因无法维修需整组替换，无疑增加业者的生产成本。

如图1所示，为习知高温流体连结构件的使用状态图，较佳的连结构件91一般选用一机械法兰，将其直接锁固于半导体设备9上，利用法兰本身的高耐受性及密封性，良好的传导高温或强酸的流体。然而连结构件91的输入端911方位无法配合加热器的输出端921，故需额外连接一转向管体93，非常占用空间。另外，即使连结构件91本身可耐热密封，但连结构件91直接设置于半导体设备9上，两者之间的缝隙仍须使用密封垫圈94，故容易因阻挡高温或强酸流体的动作，加剧密封垫圈94的损坏情形，而徒增密封垫圈94的损耗及增加泄漏的风险。

所以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。

故，本实用新型的申请人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，终设计出本实用新型。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种可缩小占用体积、有效避免高温流体泄漏，以快速导引高温流体的流体加热器的连接装置。

基于此，本实用新型主要采用下列技术手段，来实现上述目的。

一种流体加热器的连接装置，包含：一第一密封件；一设于该第一密封件上且供输入高温流体的输入管体；一设于该第一密封件背离该输入管体一侧的第二密封件，连通该第一密封件；一设于该第二密封件上且供输出高温流体的输出管体；至少一设于该输出管体内的第三密封件；一设于该输出管体内且压制于该第三密封件上的紧迫元件；一设于该输出管体上且供稳固该紧迫元件压制动作的固定件；至少一设于该第一密封件与该第二密封件间的第一耐热垫体；及至少一设于该第二密封件背离该第一耐热垫体一侧的第二垫体，且该第二垫体环绕于该输出管体的输出端外侧。

进一步，该输入管体包含一枢设于该第一密封件上的旋转座。

进一步，该第一密封件邻近该第二密封件一侧具有至少一第一紧迫部，使该第一耐热垫体发生形变而密封该第一密封件与该第一耐热垫体间的间隙。

进一步，该第二密封件邻近该第一密封件一侧具有至少一第二紧迫部，使该第一耐热垫体发生形变而密封该第二密封件与该第一耐热垫体间的间隙。

进一步，该第一耐热垫体形变形成至少一斜切面。

进一步，该输出管体内具有一石英管，该石英管两端分别连接该输入管体及一半导体设备。

进一步，该输入管体上设有至少一弯折段。

进一步，该第一密封件上具有多个第一锁固孔，且该第二密封件上具有多个位置对应各第一锁固孔的第二锁固孔。

进一步，该第二密封件上具有多个定位孔，固定于一半导体设备。

进一步，该第一耐热垫体为无氧铜垫片，且该第一密封件及该第二密封件为法兰。

本实用新型通过第一耐热垫体确实防堵流体外泄，并提供长效密封效果，而快速导出流体，利用紧迫件压制第三密封件，使其由输出管体内侧进行密封，防止高温流体侧漏，当使用者将本实用新型做为流体加热器的连接装置时，利用第一、第二密封件压合一第一耐热垫体，借紧迫该第一耐热垫体的动作，防止高温流体泄漏，并利用紧迫元件压制第三密封件，以及固定件的稳固效果，使第三密封件由输出管体内侧进行密封，而让高温流体快速流出第二密封件，而减少第二垫体的受热程度，以降低第一耐热垫体及第二垫体的耗损率，且利用弯折段改变输入管体的连接方向，缩小连接结构所占用的体积，并增加连接装置的组装便利性。

借由上述技术，可针对习用高温流体连结构件所存在的需额外设置一转向管体导致体积较大、及衔接处的密封垫圈容易受热损坏等问题点加以突破，达到上述优点的实用性和进步性。

附图说明

图1为习知高温流体连结构件的使用状态图。

图2为本实用新型较佳实施例的立体图。

图3为本实用新型较佳实施例的图2的A-A线剖视图。

图4为本实用新型较佳实施例的分解图。

图5为本实用新型较佳实施例的分解剖视图。

图6为本实用新型较佳实施例的动作示意图(一)。

图7为本实用新型较佳实施例的动作示意图(二)。

图8为本实用新型较佳实施例的动作示意图(三)。

【符号说明】

连接装置 1 第一密封件 2

第一紧迫部 21 第一锁固孔 22

输入管体 3 弯折段 31

旋转座 32 第二密封件 4

第二紧迫部 41 第二锁固孔 42

定位孔 43 输出管体 5

石英管 51 挡止部 52

第三密封件 53 紧迫元件 54

固定件 55 第一耐热垫体 6

斜切面 61 第二垫体 7

半导体设备 8 半导体设备 9

连结构件 91 输入端 911

输出端 921 转向管体 93

密封垫圈 94。

具体实施方式

为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术手段及构造，兹绘图就本实用新型较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。

请参阅图2、图3、图4及图5所示，为本实用新型较佳实施例的立体图、图2的A-A线剖视图、分解图及分解剖视图，由图中可清楚看出本实用新型的流体加热器的连接装置1包括：

一第一密封件2，该第一密封件2上具有多个第一锁固孔22；

一设于该第一密封件2上的输入管体3，供输入高温流体，且该输入管体3包含一枢设于该第一密封件2上的旋转座32；

至少一设于该输入管体3上的弯折段31；

一设于该第一密封件2背离该输入管体3一侧的第二密封件4，连通该第一密封件2，且该第二密封件4上具有多个位置对应各第一锁固孔22的第二锁固孔42、及多个供固定于半导体设备的定位孔43；

一设于该第二密封件4上的输出管体5，供输出高温流体，且该输出管体5内壁上具有至少一挡止部52，并于该输出管体5内具有一石英管51，该石英管51两端分别连接该输入管体3及该半导体设备；

至少一设于该输出管体5内的第三密封件53；

一设于该输出管体5内且压制于该第三密封件53上的紧迫元件54；

一设于该输出管体5上的固定件55，供稳固该紧迫元件54的压制动作；

至少一设于该第一密封件2与该第二密封件4间的第一耐热垫体6，该第一耐热垫体6为无氧铜垫片；

至少一设于该第二密封件4背离该第一耐热垫体6一侧的第二垫体7，且该第二垫体7环绕于该输出管体5的输出端外侧；

至少一位于该第一密封件2邻近该第二密封件4一侧的第一紧迫部21，使该第一耐热垫体6发生形变而密封该第一密封件2与该第一耐热垫体6间的间隙；及

至少一位于该第二密封件4邻近该第一密封件2一侧的第二紧迫部41，使该第一耐热垫体6发生形变而密封该第二密封件4与该第一耐热垫体6间的间隙，并于该第一耐热垫体6形变处形成至少一斜切面61。

借由上述的说明，已可了解本实用新型的结构，而依据这个结构的对应配合，更可缩小占用体积、有效避免高温流体泄漏，以快速导引高温流体等优势，而详细的解说将于下述说明。

请同时配合参阅图2至图8所示，为本实用新型较佳实施例的立体图至动作示意图(三)，借由上述构件组构时，可由图中清楚看出，本实用新型的第一密封件2及第二密封件4为一种耐高温、耐腐蚀的密封构件，其中第一密封件2通过一输入管体3连通一流体加热器，且输入管体3上的弯折段31改变第一密封件2的输入口方向呈水平态样，并利用旋转座32改变输入管体3的方向，使输入管体3可直接连接该流体加热器，而第二密封件4除了可通过一石英管51将输入管体3内的高温流体导引至一半导体设备8中外，在第一密封件2与第二密封件4间、与输出管体5内还分别设置一第一耐热垫体6与第三密封件53，以改善密封垫圈受热损坏的状况，增加密封效果。

具体而言，连接装置1的设置分别将第二密封件4通过定位孔43的螺丝锁固动作，将第二密封件4固设于半导体设备8上，及将第三密封件53放置于挡止部52上后，同时以紧迫元件54叠在第三密封件53上，然后利用固定件55的锁固动作稳固该紧迫元件54压制第三密封件53的动作，最后使第一密封件2通过第一锁固孔22与第二锁固孔42的螺丝锁固动作，将第一密封件2固设于第二密封件4上，再执行上述输入管体3的连接动作即完成组装。其中，第一密封件2与第二密封件4在结合时，其间设置有一第一耐热垫体6，本实施例中该第一耐热垫体6为无氧铜垫片，属于耐高温、抗腐蚀的材质，故同时利用第一紧迫部21与第二紧迫部41的挤压效果，使第一耐热垫体6因挤压动作而形变，并于形变处形成至少一斜切面61，借此确实达成防止流体泄漏的目的。而第三密封件53则借由紧迫元件54的压制动作，封堵输出管体5内壁与石英管51外壁的间隙，使本实用新型从输出管体5内外进行多重密封，大幅提升整体的防漏功效。

再配合输出管体5内的石英管51，可在无流体外泄的情况下，快速将高温流体集中导出至该半导体设备8中，且因半导体设备8表面利用冷却动作，可常态性保持低温状态，故第二垫体7因高温流体的快速经过及抵触面（半导体设备8表面）的低温状态，可免于受热变质而不具有密封效果的问题，因此，第二垫体7可使用一般的硅胶O环，同时节省设置成本及汰换成本(本实施例的第二垫体7是以两大小不同的硅胶O环，设于第二密封件4的底侧)。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，非因此即局限本实用新型的专利范围，故凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的简易修饰及等效结构变化，均应同理包含于本实用新型的专利范围内。

综上所述，本实用新型的流体加热器的连接装置于使用时，确实能达到其功效及目的。