流体控制装置、其所使用的基块以及流体控制装置的制造方法与流程

本发明涉及一种流体控制装置、其所使用的基块以及使用该基块的流体控制装置的制造方法，该流体控制装置集成有包括流体控制设备的流体用设备。

背景技术：

在半导体制造工艺等各种制造工艺中，为了将准确地计量了的工艺气体供给至工艺室，而使用被称作集成化气体系统(igs(注册商标))的流体控制装置，该集成化气体系统是使开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体控制设备集成化并将它们收纳于盒而成的(例如，参照专利文献1－3)。将该igs(注册商标)收纳于盒而成的部件被称作气体盒。

在上述那样的igs(注册商标)的情况下，代替管接头，将形成有流路的设置块(以下，称作基块)沿着底板的长度方向配置，并且在该基块上设置多个流体控制设备、连接管接头的接头块等各种流体用设备，从而实现集成化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－298177号公报

专利文献2：日本特开2016－050635号公报

专利文献3：国际公开wo2008/149702

技术实现要素：

发明要解决的问题

在各种制造工艺中的工艺气体的供给控制中，期望具有更高的响应性，为此，需要使流体控制装置尽可能小型化、集成化，并且设置于离作为流体的供给目的地的工艺室更近的位置。

随着半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化，需要相应地使从流体控制装置向工艺室内供给的流体的供给流量也增大。

随着流体控制装置小型化、集成化，组装作业会变得困难，组装工时会增大。并且，装置的维护性也会降低。特别是，如果使供流体用设备设置的块小型化，则会产生如下这样的各种问题，即：块的支承刚性降低，流路的加工变得困难，较难确保利用螺栓向底板固定块用的贯通孔的形成区域等。

本发明的一目的在于提供一种在不使流体的供给流量减少的前提下进一步小型化、集成化的流体控制装置。

本发明的另一目的在于提供一种使组装工时大幅度地削减且维护性能也得到改善的流体控制装置。

本发明的又另一目的在于，使基块的尺寸、特别是宽度尺寸窄小化，并且提高该基块的用于支承包括各种流体控制设备的流体用设备的支承刚性。

用于解决问题的方案

本发明的第1技术方案的流体控制装置具有：

流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及

沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，

所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，

在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述流体用设备的主体部被固定于所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，

所述流体控制装置的特征在于，

所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部利用紧固螺栓连结。

另外，在本说明书中，利用“上表面”、“下表面”、“底面”、“侧面”等用语指定各构件所具有的面，但这些用语用于指定各面的相对位置，并非用于指定绝对位置。例如，“上表面”这个用语并非用于决定上下关系，在将指定的面决定为“上表面”时，能够相对地定义其他的“底面”、“下表面”、“侧面”等，因此使用所述用语。“上方”、“下方”等用语也同样地用于决定相对的方向，并非用于决定“铅垂上方”等绝对的方向。

本发明的第2技术方案的流体控制装置具有：

流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及

沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，

所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，

在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述流体用设备的主体部被固定于所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，

所述流体控制装置的特征在于，

所述上游侧基块和所述下游侧基块在所述规定方向上分离开地配置，

该流体控制装置还具有连结用基块，该连结用基块利用紧固螺栓分别与所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部连结，而将所述上游侧基块和所述下游侧基块连结起来。

优选的是，能够采用如下这样的构成，即：所述上游侧基块及所述下游侧基块所划分出的流路包括分别从所述两个流路口朝向所述底面侧延伸的两个第1流路、以及在所述上游侧基块及所述下游侧基块的内部沿着长度方向延伸且分别与两个所述第1流路连接的第2流路。

而且，优选的是，能够采用如下这样的构成，即：所述第2流路在所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面与底面之间偏向该底面侧。

在上述构成中，也能够是，还具有固定块，该固定块利用紧固螺栓与基块组件的一端部连结，并且能够利用紧固螺栓固定于供该基块组件设置的底板，该基块组件由包括所述上游侧基块及所述下游侧基块的多个基块形成。

本发明的流体控制装置用基块用于形成基块组件，该基块组件是多个基块相互连结而成的，用于设置沿着规定方向配置的多个流体用设备，

所述流体控制装置用基块的特征在于，

该流体控制装置用基块划分出上表面、与所述上表面相对的底面、以及从所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在从所述上表面、底面及侧面中的一端部朝向另一端部的方向上彼此分离开的位置开口的两个流路口的流体流路，而且，该流体控制装置用基块分别具有螺纹孔，该螺纹孔在从所述上表面、底面及侧面中的一端部朝向另一端部的方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，

在所述上表面、底面及侧面中的一端部和另一端部中的至少一方形成有连结部，该连结部能够利用紧固螺栓与另一基块或构件紧固在一起。

本发明的流体控制装置的制造方法的特征在于，

该流体控制装置的制造方法包括：

使用至少包括上述上游侧基块及下游侧基块的基块形成多个基块的端部彼此连结而成的基块组件，

将所述一个或多个流体用设备配置于所述基块组件的上表面的规定位置，利用紧固螺栓将该一个或多个流体用设备的主体部固定于该上表面而形成一个或多个流体控制组件，

利用上述固定块将所述一个或多个流体控制组件固定在底板上。

本发明的制品制造方法的特征在于，在需要在密闭的室内进行工艺气体的处理工序的半导体装置、平板显示器、太阳能电池板等制品的制造工艺中，将上述流体控制装置用于所述工艺气体的控制。

发明的效果

根据本发明，通过使用上述结构的基块及基块组件，能够使基块的宽度窄小化，并且不需要将基块固定于底板，因此也使组装工时能够大幅度地削减。

根据本发明，基块之间利用紧固螺栓连结而形成基块组件，由此能够提高支承流体用设备所需要的支承刚性，该流体用设备包括控制阀等流体控制设备。

根据本发明，通过使基块为上述结构，能够使基块窄小化并且能够确保流路截面积，因此能够得到一种在不使流体的供给流量减少的前提下进一步小型化、集成化的流体控制装置。

根据本发明，基块之间、流体用设备的主体部与基块之间都用紧固螺栓连接，并且能够从上方拧紧和拧松紧固螺栓，维护性得到改善，并且紧固螺栓的装配方向(日文：アクセス方向)被限定为恒定方向，因此组装作业的自动化也变得容易。

根据本发明，能够使流体控制装置大幅度地小型化、集成化，因此能够使流体控制装置尽可能地靠近处理室的附近，结果，能够提高流体控制的响应性，能够改善各种制造工艺中的制品的品质。

附图说明

图1a是本发明的第1实施方式的流体控制装置的从正面侧看到的外观立体图。

图1b是图1a的流体控制装置的从背面侧看到的外观立体图。

图1c是图1a的流体控制装置的俯视图。

图1d是图1a的流体控制装置的主视图。

图1e是在图1d中仅基块以截面示出的局部含有截面的主视图。

图2a是基块组件的分解立体图。

图2b是将流体控制组件分解为基块组件和各种流体用设备的分解立体图。

图3a是基块10a的外观立体图。

图3b是基块10a的左视图。

图3c是基块10a的右视图。

图3d是基块10a的沿着长度方向的剖视图。

图3e是对基块10a从上表面侧进行观察而得到的俯视图。

图4a是基块10c的外观立体图。

图4b是基块10c的左视图。

图4c是基块10c的右视图。

图4d是基块10c的沿着长度方向的剖视图。

图4e是对基块10c从上表面侧进行观察而得到的俯视图。

图5a是开闭阀110的主视图。

图5b是图5a的开闭阀的仰视图。

图6a是表示图1a的流体控制装置的组装步骤的图。

图6b是表示继图6a之后的组装步骤的图。

图6c是表示继图6b之后的组装步骤的图。

图6d是表示继图6c之后的组装步骤的图。

图7a是本发明的第2实施方式的流体控制装置的外观立体图。

图7b是图7a的流体控制装置的仅基块以截面示出的局部含有截面的主视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。另外，在本说明书和附图中，对功能实质上同样的构成要素使用相同的附图标记，而省略重叠的说明。

参照图1a～图5b详细地说明本发明的一实施方式的流体控制装置。图1a、图1b是表示本发明的第1实施方式的流体控制装置的外观的立体图，图1c是图1a的流体控制装置的俯视图，图1d是图1a的流体控制装置的主视图，图1e是在图1d中仅基块以截面示出的局部含有截面的主视图。图2a是基块组件ba的分解立体图，图2b是将流体控制组件a1分解为基块组件ba和各种流体用设备的分解立体图。另外，宽度方向w1、w2的w1表示正面侧，w2表示背面侧，作为本发明的规定方向的长度方向g1、g2的g1表示上游侧的方向，g2表示下游侧的方向。

如图1a～图1d所示，流体控制装置1具有底板500和设置于底板500的3个流体控制组件a1、a2、a3。底板500具有通过对金属制的金属板进行弯曲加工而形成于宽度方向w1、w2的两侧部的支承部501以及配置为距支承部501一定高度的设置面502，在设置面502上固定流体控制组件a1、a2、a3。流体控制组件a1、a2、a3向设置面502固定的固定方法见后述。

流体控制组件a1具有沿着长度方向g1、g2延伸的后述的基块组件ba以及自上游侧朝向下游侧地依次设于该基块组件ba上的开闭阀(二通阀)110、开闭阀(三通阀)120、质量流量控制器130以及开闭阀(二通阀)140。并且，在基块组件ba的开闭阀(二通阀)110的上游侧设有与导入管151连接的接头块150，在基块组件ba的开闭阀(二通阀)140的下游侧设有与连接管161连接的接头块160。

流体控制组件a2为与流体控制组件a1完全同样的构成。

流体控制组件a3在基块组件ba上设有与连通管136连接的接头块135而不是设有质量流量控制器130。

另外，本发明的“流体用设备”是这样的设备：除了包含设于用于流体控制、即对由气体、液体形成的流体的流动进行控制的流体控制设备之外，还包含压力计等不进行流体控制但设于流路的压力计、接头块等各种设备，包括划分出流体流路的主体部，具有在该主体部的底面开口的至少两个流路口。具体而言，流体用设备包括开闭阀(二通阀)、调节器、压力表、开闭阀(三通阀)以及质量流量控制器等，但并非限定于此。

对于流体控制装置1的3个流体控制组件a1～a3，例如经由流体控制组件a1的导入管151导入氨气等工艺气体，经由流体控制组件a2的导入管151导入氢气等工艺气体，经由流体控制组件a3的导入管151导入氮气等吹扫气体。

3个开闭阀(三通阀)120利用连通管300相互连接，能够将吹扫气体导入工艺气体的流路。

对于上述的连接有连通管136的接头块135，由于吹扫气体的流路不需要质量流量控制器130，因此该连接有连通管136的接头块135而代替质量流量控制器130设于流路的中途。

供给管部400利用排出管162与连接于3个接头块160的连接管161连接，并且与未图示的处理室连接以供给处理气体。

由图1a～图2b可知，基块组件ba包括从上游侧朝向下游侧排列的固定块30、基块10a、10b、10c、连结用基块20、基块10d、基块10e和固定块30，它们利用紧固螺栓50相互连结。对于基块组件ba的尺寸，宽度为10mm左右，高度为20mm左右，全长为300mm左右，但并非限定于此。另外，紧固螺栓50使用带头部的m5螺栓，但并非限定于此。

基块10a～10e承担如下这样的作用，即：支承上述的各种流体用设备110～140，并且提供流路，该流路将形成于各种流体用设备110～140中的相邻的两个流体用设备的主体部的流路彼此连通。并且，基块10a～10e中的相邻的基块彼此协作地支承各流体用设备。即，利用两个相邻的基块支承一个流体用设备。

基块10a～10e的基本构造相似，具体而言，大致可分为从上表面朝向底面形成的螺纹孔的数量为3个的类型的基块10a、10e、以及从上表面朝向底面形成的螺纹孔的数量为两个的类型的基块10b、10c、10d。基块10a配置于长度方向(上游侧)g1的端部，基块10e配置于长度方向(下游侧)g2的端部。基块10b、10c、10d配置在基块10a、10e之间。在本说明书中，参照图3a～图4e说明分别代表两个类型的基块10a和基块10c的详细构造，其他基块的构造利用图2a等说明。

图3a～图3e表示基块10a的构造，图3a是外观立体图，图3b是左视图，图3c是右视图，图3d是沿着长度方向剖断后的剖视图，图3e是俯视图。

基块10a是不锈钢合金等金属制的构件，具有彼此相对的由平面形成的上表面10a和由平面形成的底面10b、分别与上表面10a和底面10b正交的两个侧面10c、10d、与底面10b正交的长度方向上的一侧的端面10e1以及与上表面10a正交的长度方向上的另一侧的端面10e2。并且，自端面10e1沿着长度方向突出形成有连结部15，自端面10e2沿着长度方向突出形成有连结部16。另外，列举了基块10a的基本形状为长方体形状的情况为例，但也能够采用其他形状。

连结部15划分出基块10a的上表面10a的一部分、两侧面10c、10d的一部分，并且划分出下表面15b与端面15e，下表面15b由从基块10a的端面10e1的位于上表面10a与底面10b之间的中间位置与所述上表面10a、底面10b平行地延伸的平面形成，端面15e与上表面10a、两侧面10c、10d和下表面15b均正交。在连结部15形成有与上表面10a和下表面15b垂直地延伸的贯通孔15h，在贯通孔15h的上表面10a侧形成有沉孔15z。形成沉孔15z的目的在于，在利用紧固螺栓50连结连结部15与其他构件时，使紧固螺栓50的头部埋设于上表面10a的下方。在连结部15的下表面15b开口且相对于下表面15b垂直地延伸的两个定位销孔h1形成于相对于贯通孔15h而言的上游侧和下游侧。

连结部16划分出基块10a的底面10b的一部分、两侧面10c、10d的一部分，并且划分出上表面16a与端面16e，上表面16a由从基块10a的端面10e2的位于上表面10a与底面10b之间的中间位置与所述上表面10a、底面10b平行地延伸的平面形成，端面16e与上表面10a、两侧面10c、10d和下表面10b均正交。在连结部16形成有自上表面16a相对于该上表面16a垂直地延伸且在底面10b开口的螺纹孔16h。在连结部16的上表面16a开口且与下表面10b垂直地延伸的两个定位销孔h1形成于相对于螺纹孔16h而言的上游侧和下游侧。

在基块10a的内部形成有流路12，流路12的一端具有在上表面10a的靠连结部15侧的位置开口的流路口12a，流路12的另一端具有在上表面10a的靠连结部16侧的位置开口的流路口12b。在流路口12a、12b的周围形成有用于保持后述的垫片gk的保持部13，为了使垫片gk的局部变形而进行了使硬度相比垫片gk的形成材料而言足够高的硬化处理的圆环状的突起部14与流路口12a、12b呈同心状形成于该保持部13的底面。

流路12包括分别从流路口12a、12b朝向底面10b侧延伸的第1流路12c、12e、以及在基块10a的内部沿着长度方向延伸且分别与两个第1流路12c、12e连接的第2流路12d。由图3d可知，第2流路12d在上表面10a与底面10b之间偏向底面10b侧。这是为了确保后述的螺纹孔10h1、10h2的螺纹孔深度，但并非限定于此位置。

螺纹孔10h1、10h2位于在长度方向上分开的位置，形成在两个流路口12a、12b之间，在上表面10a开口且朝向底面10b侧延伸，在第2流路12d的上方被堵塞。

由图3e可知，螺纹孔10h1、10h2配置为在对基块从上表面10a侧进行观察而看到的俯视图中与第2流路12d重叠。通过采用这样的配置，能够将基块10a以例如10mm这样的非常窄的宽度形成。

螺纹孔10h3在长度方向上配置在贯通孔15h与流路口12a之间，在上表面10a开口且朝向底面10b侧延伸。

螺纹孔10h1设为用于连结开闭阀(二通阀)110与主体部111，螺纹孔10h2、10h3是为了固定接头块150而设置的。

第2流路12d的靠第1流路12c侧的端部与相比第2流路12d的直径而言扩径了的保持部h2连通，保持部h2与在端面10e1开口的螺纹孔h3连通。在保持部h2的与第2流路12d连接的连接部设有金属或树脂制的圆盘状的垫片gk1，在该垫片gk1的背后设有用于防止垫片旋转的推压构件ps。向螺纹孔h3拧入外螺纹构件sc，外螺纹构件sc的半球状的顶端面会朝向垫片gk1推压推压构件ps，从而将第2流路12d的端部堵塞。

图4a～图4e表示基块10c的构造，图4a是外观立体图，图4b是左视图，图4c是右视图，图4d是沿着长度方向剖断后的剖视图，图4e是俯视图。在图4a～图4e中，与图3a～图3e中使用的附图标记相同的附图标记是具有同样或类似的功能的构件，因此省略重叠说明，仅对不同的构成部分进行说明。

在基块10c的情况下，在长度方向上，在贯通孔15h与流路口12a之间没有配置螺纹孔10h3。

基块10c的第2流路12d的靠第1流路12c侧的端部与保持部h2和相比保持部h2而言扩径了的堵塞板保持部h4连通，保持于保持部h2的垫片gk1被金属制的堵塞板cp向流路12d侧推压而将流路12d的端部密封。在端面10e1侧的堵塞板cp与堵塞板保持部h4之间粘着有熔接材料，堵塞板cp与堵塞板保持部h4之间也被密封，并且堵塞板cp固定于堵塞板保持部h4。

在此，对上述基块10a、10c的流路12的加工方法进行说明。

对于第1流路12c、12e，例如通过利用钻头沿着与基块10a、10c的上表面10a垂直的方向穿孔而形成盲孔即可。对于第2流路12d，通过利用钻头沿着与基块10a、10c的端面10e1垂直的方向穿孔而形成盲孔即可。此时，将第2流路12d加工为能与第1流路12c、12e的顶端部连接的高度。采用这样的加工方法，能够比较容易地在宽度窄小化的基块10a、10c上形成流路12。也能够加工出相对于上表面10a倾斜的所谓v状流路，但加工比较困难，并且，难以充分确保螺纹孔10h1、10h2的形成区域。

如图2a、图2b所示，基块10a、10b、基块10b、10c、基块10c、10d以及基块10d、10e彼此在连结部15、16处利用紧固螺栓50连结。这些基块组为本发明的上游侧基块和下游侧基块的关系。

基块10c、10d利用连结用基块20相互连结。

连结用基块20是不锈钢合金等金属制的构件，如图2a所示，具有左右对称的形状，具有彼此相对的由平面形成的上表面20a和由平面形成的底面20b、分别与上表面20a和底面20b正交的两个侧面20c、20d、与底面20b正交的长度方向上的端面20e、20e。

并且，自各端面20e朝向长度方向分别突出形成有连结部21。另外，列举了连结用基块20的基本形状为长方体形状的情况为例，但也能够采用其他形状。

连结部21划分出连结用基块20的上表面20a的一部分、两侧面20c、20d的一部分，并且划分出下表面21b与端面21e，下表面21b由从连结用基块20的端面20e的位于上表面20a与底面20b之间的中间位置与所述上表面20a、底面20b平行地延伸的平面形成，端面21e与上表面20a、两侧面20c、20d和下表面21b均正交。

在连结部21形成有与上表面20a和下表面21b垂直地延伸的贯通孔21h，在贯通孔21h的上表面20a侧形成有沉孔21z。形成沉孔21z的目的在于，在利用紧固螺栓50连结连结部21与其他构件时，使紧固螺栓50的头部埋设于上表面20a的下方。虽然未图示，但与基块10a的连结部同样地，在连结部21的相对于贯通孔21h而言为上游侧和下游侧的位置形成有定位销孔。

固定块30是不锈钢合金等金属制的构件，如图2a所示，具有长方体形状，划分出上表面30a、底面30b、两侧面30c、30d、长度方向上的两端面30e1、30e2。

在上表面30a的长度方向上的一侧与底面30b垂直地形成有贯通孔31。该贯通孔31供紧固螺栓60贯穿，通过使该紧固螺栓60与形成于底板500的设置面502的螺纹孔503螺纹结合，而将固定块30固定于设置面502。紧固螺栓60例如使用m4螺栓，但尺寸并非限定于此，不需要连结基块之间时所需要的非常大的紧固力，因此能够使用比较小的尺寸的螺栓。

在上表面30a的长度方向上的另一侧形成有螺纹孔32，该螺纹孔32与用于实现与基块10a或10e之间的连结的紧固螺栓50螺纹结合。

如图2a所示，在固定块30、基块10a、10b、10c、连结用基块20、基块10d、基块10e和固定块30分别借助定位销dp并利用紧固螺栓50的紧固力连结起来时，会形成如图2b所示那样在长度方向g1、g2上较长的基块组件ba。基块组件ba的上表面、底面和两侧面实质上平齐，基块组件ba具有犹如长条状的一个基块那样的形态。与将单体的基块分散固定在底板上的情况相比，在像这样利用紧固螺栓50的紧固力连结多个块的情况下，基块组件ba的用于支承各种流体用设备的支承刚性会非常高。特别是，各连结部15、16、21的上下表面15b、16a、21b在紧固螺栓50的强力的紧固力的作用下彼此压紧地接触，因此基块彼此一体化。

图5a和图5b是表示作为流体用设备的开闭阀(二通阀)110的图，图5a是主视图，图5b是仰视图。

开闭阀(二通阀)110具有主体部111，该主体部111的宽度与基块组件ba的宽度一致(参照图1a～图1c)，例如，是10mm左右，但并非限定于此。

主体部111划分出流路112、113。该流路112、113在开闭阀(二通阀)110的内部连通，利用内置的未图示的控制阀开闭。

在主体部111的长度方向上的两侧部分别形成有凸缘部111f，在凸缘部111f形成有供紧固螺栓50用的贯通孔111h。

流路112、113分别具有在底面111b开口的流路口112a、113a，在流路口112a、113a的周围形成有用于保持垫片gk的保持部114。在保持部114的底面形成有与形成于基块10a的圆环状的突起部14同样的突起部115。

另外，对开闭阀(二通阀)110的主体部111进行了例示，但作为其他的流体用设备的开闭阀(三通阀)120的主体部121、质量流量控制器130的主体部131、开闭阀(二通阀)140的主体部141也是宽度与基块组件ba的宽度一致。并且，所述主体部121、131、141在底面具有两个流路口，包括形成有供紧固螺栓50用的贯通孔的凸缘，包括用于保持垫片gk的保持部以及圆环状的突起。省略这些流体用设备的详细说明。

如图2b所示，在基块组件ba的上表面与各主体部111～141的底面之间且是对接的流路口的周围配置有垫片gk，利用各紧固螺栓50的紧固力压紧。作为该垫片gk，能够列举出金属制或树脂制等的垫片。

作为垫片，能够列举出软质垫片、半金属垫片、金属垫片等。具体而言，适合使用以下的垫片。

(1)软质垫片

·橡胶o型密封圈

·橡胶片(整面座用)

·接合垫片

·膨胀石墨片

·ptfe片材

·ptfe护套形垫片

(2)半金属垫片

·旋涡形垫片(spiral-woundgaskets)

·金属护套垫片

(3)金属垫片

·金属平形垫片

·金属中空o型密封圈

·环接垫片

流体控制组件a1～a3例如能够通过如图2b所示那样在形成基块组件ba之后利用紧固螺栓50将流体用设备的各主体部111～141固定于基块组件ba来形成。各主体部111～141的底面被基块组件ba的上表面整面地支承，因此各种流体用设备110～140被稳定地支承。

如图6a所示，通过将紧固螺栓60拧入螺纹孔503而将像这样形成的流体控制组件a1固定于底板500的设置面502的期望位置。

接着，如图6b所示，通过将紧固螺栓60拧入螺纹孔503而将流体控制组件a2与流体控制组件a1并排地固定于设置面502的期望位置。

接着，如图6c所示，通过将紧固螺栓60拧入螺纹孔503而将流体控制组件a3与流体控制组件a2并排地固定于设置面502的期望位置。

最后，如图6d所示，在流体控制组件a1～a3的各基块10a设置接头块150，在3个开闭阀(三通阀)120设置连通管300，在流体控制组件a1～a3的各基块10e设置供给管部400。由此，形成流体控制装置1。

另外，在上述实施方式中，例示了3个流体控制组件a1～a3隔开间隔地配置在底板500的设置面502上的情况，但本实施方式的底板500最大能够设置5个流体控制组件。即，在流体控制组件a1与流体控制组件a2之间、以及流体控制组件a2与流体控制组件a3之间还能够设置流体控制组件。

图7a和图7b是表示本发明的第2实施方式的流体控制装置1a的图，图7a是外观立体图，图7b是图7a的流体控制装置1a的仅基块以截面示出的局部含有截面的主视图。

本实施方式与上述第1实施方式之间不同的点在于，在本实施方式中，没有使用连结用基块20。因而，没有形成一个基块组件ba。固定块30、基块10a、基块10b和基块10c相互连结，基块10d、基块10e和固定块30相互连结。

即使基块10c与基块10d之间不利用连结用基块20连结，质量流量控制器130的主体部131的长度方向上的两端部也支承、固定于基块10c和基块10d的上表面10a。因此，也能够采用这样的结构。

在上述的各实施方式中，在基块的两端部形成有连结部15、16，但例如也能够采用仅在基块的一端部形成连结部的结构。即，也能够采用仅两个基块之间连结的结构。

在上述实施方式中，例示了在流体用设备的主体部划分出两个流路口的情况，但本发明并非限定于此，例如，包括底面形成有3个流路口(未图示)的主体部的流体用设备也是本发明的对象。

附图标记说明

1、1a、流体控制装置；10a、10b、10c、10d、10e、基块；10a、上表面；10b、底面；10c、10d、侧面；10e1、10e2、端面；10h1、10h2、10h3、螺纹孔；12、流路；12a、12b、流路口；12c、12e、第1流路；12d、第2流路；13、保持部；14、突起部；15、连结部；15b、下表面；15e、端面；15h、贯通孔；15z、沉孔；16、连结部；16a、上表面；16e、端面；16h、螺纹孔；20、连结用基块；20a、上表面；20b、底面；20c、20d、侧面；20e、端面；21、连结部；21b、下表面；21e、端面；21h、贯通孔；21z、沉孔；30、固定块；30a、上表面；30b、底面；30c、30d、侧面；30e1、30e2、端面；31、贯通孔；32、螺纹孔；50、60、紧固螺栓；110、开闭阀(二通阀)；111、主体部；111b、底面；111f、凸缘部；111h、贯通孔；112、113、流路；112a、113a、流路口；114、保持部；115、突起部；120、开闭阀(三通阀)；121、主体部；130、质量流量控制器；131、主体部；135、接头块；136、连通管；140、开闭阀(二通阀)；141、主体部；150、接头块；151、导入管；160、接头块；161、连接管；162、排出管；300、连通管；400、供给管部；500、底板；501、支承部；502、设置面；503、螺纹孔；a1、a2、a3、流体控制组件；ba、基块组件；h1、定位销孔；h2、保持部；h3、螺纹孔；h4、堵塞板保持部；cp、堵塞板；ps、推压构件；dp、定位销；g1、长度方向(上游侧)；g2、长度方向(下游侧)；gk、gk1、垫片；sc、外螺纹构件；w1、宽度方向(正面侧)；w2、宽度方向(背面侧)。