滑动组件的制作方法

本发明涉及一种例如适于机械密封件、轴承、其他滑动部的滑动组件。尤其，涉及使流体介于滑动面来减少摩擦并且需要防止流体从滑动面泄露的密封环或轴承等滑动组件。

背景技术：

作为滑动组件的一例的机械密封件中，在滑动组件的滑动面，为了提高润滑性，有时赋予被称为表面纹理环(texturering)的微细的槽。

本申请人申请了如下发明：首先，为了兼顾密封与润滑，例如，在一对滑动组件的相互相对滑动的一侧的滑动面的高压侧设置由与高压流体侧直接连通的螺旋沟槽或凹痕构成的正压产生机构，在低压侧设置由倒瑞利台阶机构构成的负压产生机构，并且在所述螺旋沟槽或凹痕与倒瑞利台阶机构之间设置泄压槽，泄压槽及倒瑞利台阶机构经由半径方向槽与高压流体侧连通，并通过密封面与低压流体侧隔离(参考专利文献1。)。

上述专利文献1中记载的发明(以下，称为“以往技术”。)是滑动面的润滑性及防止作为被密封流体的高压流体从高压流体侧向低压流体侧泄露的密封性优异的发明，但并不是设为避免吸入到设置于低压侧的负压产生机构的低压流体向高压流体侧吐出的发明。

因此，存在如下问题：若在滑动面的两侧存在不同的流体且两个流体被混合，则产生危险，或者无法应对由于化学反应等而导致被密封流体变质的情况。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：wo2014/148316a1(图13～图20)

技术实现要素：

发明要解决的技术课题

本发明是为了解决上述以往技术的问题而完成的，其目的在于提供一种在滑动面的两侧存在不同种类的流体时能够兼顾密封与润滑且防止两侧的不同流体的混合的滑动组件。

用于解决技术课题的手段

为了实现上述目的，本发明的滑动组件的第1特征在于，具备相互相对滑动的一对滑动组件，在所述一对滑动组件的滑动面的两侧存在不同种类的第1流体及第2流体，其中，在至少其中一个滑动组件的滑动面设置由第1负压产生槽构成的第1流体侧负压产生机构，并且在比所述第1流体侧负压产生机构更靠所述第2流体侧的位置设置由第2负压产生槽构成的第2流体侧负压产生机构，并且在比所述第1流体侧负压产生机构及所述第2流体侧负压产生机构更靠所述第1流体侧或所述第2流体侧的至少一侧设置由动压产生槽构成的动压产生机构，所述第1负压产生槽通过台面部与所述第2流体侧隔离，第2负压产生槽通过台面部与所述第1流体侧隔离。

根据该特征，能够兼顾滑动面的润滑与第1流体及第2流体的密封且防止两侧的不同的第1流体与第2流体的混合。

并且，本发明的滑动组件的第2特征在于，在第1特征中，在所述第1流体侧负压产生机构与所述第2流体侧负压产生机构之间设置圆周槽，所述圆周槽通过台面部与所述第1流体侧及第2流体侧隔离。

并且，本发明的滑动组件的第3特征在于，在第2特征中，所述圆周槽的槽深设定为比所述动压产生槽、第1负压产生槽及第2负压产生槽的槽深更深。

根据这些特征，能够防止第1流体侧负压产生机构与第2流体侧负压产生机构的干扰，提高各自的吸入效果及吐出效果。

并且，本发明的滑动组件的第3特征在于，在第1或第2特征中，所述第1流体侧负压产生机构由倒瑞利台阶机构形成，所述第2流体侧负压产生机构由螺旋机构形成，并且所述动压产生机构设置于比所述第1流体侧负压产生机构更靠所述第1流体侧且由瑞利台阶机构形成，所述倒瑞利台阶机构的沟槽部与所述第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，所述螺旋机构的沟槽部与所述第2流体侧连通并且通过台面部与第1流体侧隔离，并且，所述瑞利台阶机构的沟槽部与所述第1流体侧连通并且通过台面部与所述第2流体侧隔离。

根据该特征，通过作为负压产生机构的倒瑞利台阶机构及螺旋机构、以及作为动压产生机构的瑞利台阶机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构。

并且，本发明的滑动组件的第4特征在于，在第1或第2特征中，所述第1流体侧负压产生机构由第1螺旋机构形成，所述第2流体侧负压产生机构由第2螺旋机构形成，所述动压产生机构设置于比所述第1流体侧负压产生机构更靠所述第1流体侧且由瑞利台阶机构形成，所述第1螺旋机构的沟槽部与所述第1流体侧连通或通过台面部隔离并且通过台面部与所述第2流体侧隔离，所述第2螺旋机构的沟槽部通过台面部与所述第1流体侧隔离并且与所述第2流体侧连通，并且，所述瑞利台阶机构的沟槽部与所述第1流体侧连通并且通过台面部与所述第2流体侧隔离。

根据该特征，通过作为负压产生机构的螺旋机构及作为动压产生机构的瑞利台阶机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构。

并且，本发明的滑动组件的第5特征在于，在第1或第2特征中，所述第1流体侧负压产生机构由第1螺旋机构形成，所述第2流体侧负压产生机构由第2螺旋机构形成，所述动压产生机构设置于比所述第1流体侧负压产生机构更靠所述第1流体侧且由第3螺旋机构形成，所述第1螺旋机构的沟槽部通过台面部与所述第1流体侧隔离并且通过台面部也与所述第2流体侧隔离，所述第2螺旋机构的沟槽部通过台面部与所述第1流体侧隔离并且与所述第2流体侧连通，并且，所述第3螺旋机构的沟槽部与所述第1流体侧连通并且通过台面部与所述第2流体侧隔离。

根据该特征，通过作为负压产生机构及动压产生机构的螺旋机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构。

并且，本发明的滑动组件的第6特征在于，在第1或第2特征中，所述第1流体侧负压产生机构由第1倒瑞利台阶机构形成，所述第2流体侧负压产生机构由第2倒瑞利台阶机构形成，并且，所述动压产生机构设置于比所述第1流体侧负压产生机构更靠所述第1流体侧及比所述第2流体侧负压产生机构更靠所述第2流体侧，且分别由瑞利台阶机构形成，所述第1倒瑞利台阶机构的沟槽部与所述第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，所述第2倒瑞利台阶机构的沟槽部与所述第2流体侧连通并且通过台面部与第1流体侧隔离，并且，所述瑞利台阶机构的沟槽部与所述第1流体侧或第2流体侧中的任一侧连通并且通过台面部与另一侧隔离。

根据该特征，通过作为负压产生机构的倒瑞利台阶机构、作为动压产生机构的瑞利台阶机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构，而且，由于在第1流体侧及第2流体侧的两侧设置有动压产生机构，能够在整个滑动面形成流体膜，能够使滑动面的润滑更加可靠。

并且，本发明的滑动组件的第7特征在于，在第1或第2特征中，所述第1流体侧负压产生机构由第1螺旋机构形成，所述第2流体侧负压产生机构由第2螺旋机构形成，所述动压产生机构设置于比所述第1流体侧负压产生机构更靠所述第1流体侧及比所述第2流体侧负压产生机构更靠所述第2流体侧，且分别由第3及第4螺旋机构形成，所述第1螺旋机构的沟槽部与所述第1流体侧连通或通过台面部隔离并且通过台面部与所述第2流体侧隔离，所述第2螺旋机构的沟槽部通过台面部与所述第1流体侧隔离并且与所述第2流体侧连通或通过台面部隔离，并且，所述第3螺旋机构的沟槽部与所述第1流体侧连通并且通过台面部与所述第2流体侧隔离，所述第4螺旋机构通过台面部与所述第1流体侧隔离并且与所述第2流体侧连通。

根据该特征，通过作为负压产生机构及动压产生机构的螺旋机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构，而且，由于在第1流体侧及第2流体侧的两侧设置有动压产生机构，能够在整个滑动面形成流体膜，能够使滑动面的润滑更加可靠。

并且，本发明的滑动组件的第8特征在于，在第1特征中，所述第1负压产生槽、所述第2负压产生槽及所述动压产生槽相对于通过旋转中心的半径线对称形成。

根据该特征，能够提供即使在旋转侧密封环向两个方向旋转时，不更换实施了表面纹理的密封环也能够使用的适于两种旋转规格的滑动组件。

并且，本发明的滑动组件的第9特征在于，在第1至第8的任一特征中，设置所述第2流体侧负压产生机构的滑动面相对于设置所述第1流体侧负压产生机构及所述动压产生机构的滑动面，设定于沿轴向从对象侧滑动面远离的低位置。

根据该特征，能够对设计赋予自由度，能够发挥与设置于同一平面上时大致相同的吐出功能。

发明效果

本发明发挥如下优异效果。

(1)在一对滑动组件的滑动面的两侧存在不同种类的第1流体及第2流体时，在至少其中一个滑动组件的滑动面设置由第1负压产生槽构成的第1流体侧负压产生机构，并且在比第1流体侧负压产生机构更靠第2流体侧的位置设置由第2负压产生槽构成的第2流体侧负压产生机构，并且，在比第1流体侧负压产生机构及第2流体侧负压产生机构更靠第1流体侧或第2流体侧的至少一侧设置由动压产生槽构成的动压产生机构，第1负压产生槽通过台面部与第2流体侧隔离，第2负压产生槽通过台面部与第1流体侧隔离，由此能够兼顾滑动面的润滑与第1流体及第2流体的密封且防止两侧的不同的第1流体与第2流体的混合。

(2)在第1流体侧负压产生机构与第2流体侧负压产生机构之间设置圆周槽，所述圆周槽通过台面部与所述第1流体侧及第2流体侧隔离，并且，圆周槽的槽深设定为比动压产生槽、第1负压产生槽及第2负压产生槽的槽深更深，由此能够防止第1流体侧负压产生机构与第2流体侧负压产生机构的干扰，提高各自的吸入效果及吐出效果。

(3)第1流体侧负压产生机构由倒瑞利台阶机构形成，第2流体侧负压产生机构由螺旋机构形成，并且动压产生机构设置于比第1流体侧负压产生机构更靠第1流体侧且由瑞利台阶机构形成，倒瑞利台阶机构的沟槽部与第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，螺旋机构的沟槽部与第2流体侧连通并且通过台面部与第1流体侧隔离，并且，瑞利台阶机构的沟槽部与第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，由此通过作为负压产生机构的倒瑞利台阶机构及螺旋机构、以及作为动压产生机构的瑞利台阶机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构。

(4)第1流体侧负压产生机构由第1螺旋机构形成，第2流体侧负压产生机构由第2螺旋机构形成，动压产生机构设置于比第1流体侧负压产生机构更靠第1流体侧且由瑞利台阶机构形成，第1螺旋机构的沟槽部与第1流体侧连通或通过台面部隔离并且通过台面部与第2流体侧隔离，第2螺旋机构的沟槽部通过台面部与第1流体侧隔离并且与第2流体侧连通，并且，瑞利台阶机构的沟槽部与第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，由此通过作为负压产生机构的螺旋机构及作为动压产生机构的瑞利台阶机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构。

(5)第1流体侧负压产生机构由第1螺旋机构形成，第2流体侧负压产生机构由第2螺旋机构形成，动压产生机构设置于比所述第1流体侧负压产生机构更靠第1流体侧且由第3螺旋机构形成，第1螺旋机构的沟槽部通过台面部与第1流体侧隔离并且通过台面部也与第2流体侧隔离，第2螺旋机构的沟槽部通过台面部与第1流体侧隔离并且与第2流体侧连通，并且，第3螺旋机构的沟槽部与第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，由此通过作为负压产生机构及动压产生机构的螺旋机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构。

(6)第1流体侧负压产生机构由第1倒瑞利台阶机构形成，第2流体侧负压产生机构由第2倒瑞利台阶机构形成，并且，动压产生机构设置于比第1流体侧负压产生机构更靠第1流体侧及比第2流体侧负压产生机构更靠第2流体侧，且分别由瑞利台阶机构形成，第1倒瑞利台阶机构的沟槽部与第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，第2倒瑞利台阶机构的沟槽部与第2流体侧连通并且通过台面部与第1流体侧隔离，并且，瑞利台阶机构的沟槽部与第1流体侧或第2流体侧中的任一侧连通并且通过台面部与另一侧隔离，由此通过作为负压产生机构的倒瑞利台阶机构、作为动压产生机构的瑞利台阶机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构，而且，由于在第1流体侧及第2流体侧的两侧设置有动压产生机构，能够在整个滑动面形成流体膜，能够使滑动面的润滑更加可靠。

(7)第1流体侧负压产生机构由第1螺旋机构形成，第2流体侧负压产生机构由第2螺旋机构形成，动压产生机构设置于比第1流体侧负压产生机构更靠第1流体侧及比第2流体侧负压产生机构更靠第2流体侧，且分别由第3及第4螺旋机构形成，第1螺旋机构的沟槽部与第1流体侧连通或通过台面部隔离并且通过台面部与第2流体侧隔离，第2螺旋机构的沟槽部通过台面部与第1流体侧隔离并且与第2流体侧连通或通过台面部隔离，并且，第3螺旋机构的沟槽部与第1流体侧连通并且通过台面部与第2流体侧隔离，第4螺旋机构通过台面部与第1流体侧隔离并且与第2流体侧连通，由此通过作为负压产生机构及动压产生机构的螺旋机构的组合，能够在滑动面有效地配设负压产生机构及动压产生机构，而且，由于在第1流体侧及第2流体侧的两侧设置有动压产生机构，能够在整个滑动面形成流体膜，能够使滑动面的润滑更加可靠。

(8)第1负压产生槽、所述第2负压产生槽及所述动压产生槽相对于通过旋转中心的半径线对称形成，由此能够提供即使在旋转侧密封环向两个方向旋转时，能够不更换实施了表面纹理的密封环也能够使用的适于两种旋转规格的滑动组件。

(9)设置第2流体侧负压产生机构的滑动面相对于设置第1流体侧负压产生机构及动压产生机构的滑动面，设定于沿轴向从对象侧滑动面远离的低位置，由此能够对设计赋予自由度，能够发挥与设置于同一平面上时大致相同的吐出功能。

附图说明

图1是表示本发明的实施例1所涉及的机械密封件的一例的纵剖视图。

图2是示出本发明的实施例1所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图。

图3是放大图2的a部的放大图。

图4是图2的b-b剖视图。

图5(a)是用于说明由凹痕的下游侧的窄间隙(阶梯差)构成的正压产生机构的图，图5(b)是用于说明由凹痕的上游侧的宽间隙(阶梯差)构成的负压产生机构的图。

图6是示出本发明的实施例2所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图。

图7是示出本发明的实施例3所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图。

图8是示出本发明的实施例4所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图。

图9是示出本发明的实施例5所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图。

图10是示出本发明的实施例6所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图。

图11是示出本发明的实施例7所涉及的滑动组件的滑动面的剖视图的图。

具体实施方式

以下，参考附图，根据实施例对用于实施本发明的方式进行例示性说明。但是，关于该实施例中记载的构成组件的尺寸、材质、形状、其相对配置等，只要没有特别明示的记载，则本发明的范围不仅限定于这些。

[实施例1]

参考图1至图4，对本发明的实施例1所涉及的滑动组件进行说明。

另外，本实施例中，将构成机械密封件的组件为滑动组件的情况为例进行说明。

图1是表示机械密封件的一例的纵剖视图，在滑动面s的内周侧存在第1流体，在外周侧存在第2流体，实现滑动面的润滑，并且防止不同种类的第1流体与第2流体混合，例如，在驱动第2流体侧的泵叶轮(省略图示)的旋转轴1侧设置成能够经由套筒2与该旋转轴1一体旋转的状态的圆环状的旋转侧密封环3、在泵的壳体4以非旋转状态且能够轴向移动的状态设置的圆环状的固定侧密封环5通过沿轴向对该固定侧密封环5施力的螺旋波浪形弹簧6及波纹管7，以通过抛光等研磨的滑动面s彼此紧贴滑动。

即，该机械密封件防止在旋转侧密封环3与固定侧密封环5的彼此的滑动面s上不同种类的第1流体例如水与第2流体例如油混合。

另外，本例中，对在滑动面的内周侧存在第1流体且在外周侧存在第2流体的情况进行说明，但相反时也发挥相同的效果。

图2是示出本发明的实施例1所涉及的滑动组件的滑动面的俯视图的图，将在图1的固定侧密封环5的滑动面实施了表面纹理环的情况为例进行说明。

另外，在旋转侧密封环3的滑动面实施表面纹理环的情况也相同。

图2(a)中，与固定侧密封环5的滑动面s相对滑动的对象侧滑动面s的旋转方向设为逆时针方向。

另外，对象侧滑动面s向顺时针方向旋转时，将固定侧密封环5的滑动面s的表面纹理环的方向设为相反即可。

在固定侧密封环5的滑动面s，在靠第1流体侧的位置设置由动压产生槽11构成的动压产生机构10，在比动压产生机构10更靠中央侧的位置设置由第1负压产生槽13构成的第1流体侧负压产生机构12，并且在比第1流体侧负压产生机构12更靠第2流体侧的位置设置由第2负压产生槽15构成的第2流体侧负压产生机构14。

并且，在第1流体侧负压产生机构12与第2流体侧负压产生机构14之间设置比动压产生槽11、第1负压产生槽13及第2负压产生槽15的槽深更深的环状的第1圆周槽16。第1圆周槽16通过台面部r与第1流体侧及第2流体侧隔离。

而且，本例中，在动压产生机构10与第1流体侧负压产生机构12之间设置环状的第2圆周槽17。第2圆周槽17经由半径方向深槽18与第1流体侧连通，并通过台面部r与第2流体侧隔离。

动压产生机构10由瑞利台阶机构形成，动压产生槽11由瑞利台阶机构的沟槽部(凹坑或者凹部)构成。

并且，第1流体侧负压产生机构12由倒瑞利台阶机构形成，第1负压产生槽13由倒瑞利台阶机构的沟槽部构成。

而且，第2流体侧负压产生机构14由螺旋机构形成，第2负压产生槽15由螺旋机构的沟槽部构成。

倒瑞利台阶机构12的沟槽部13的下游侧的端部经由半径方向深槽18与第1流体侧连通并且通过台面部r与第2流体侧隔离。

并且，螺旋机构14的沟槽部15与第2流体侧连通并且通过台面部r与第1流体侧隔离。

而且，瑞利台阶机构10的沟槽部11的上游侧的端部经由半径方向深槽18与第1流体侧连通并且通过台面部r与所述第2流体侧隔离。

另外，台面部r表示滑动面s的平滑部。

动压产生机构10(瑞利台阶机构10)通过产生动压(正压)，使第1流体进入滑动面之间来增加流体膜，提高润滑性能。

并且，第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)通过产生负压，吸入存在于滑动面的第1流体并向第1流体侧吐出，防止进入到滑动面的第1流体进入外周侧的第2流体侧。

并且，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)通过产生负压，吸入存在于滑动面的第2流体并向第2流体侧吐出，防止进入到滑动面的第2流体进入内周侧的第1流体侧。

而且，第1圆周槽16防止第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)与第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的干扰，提高各自的吸入效果及吐出效果。

而且，第2圆周槽17防止动压产生机构10(瑞利台阶机构10)与第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)的干扰，提高各自的吸入效果及吐出效果。

如图3中明示，螺旋机构14的沟槽部15配设成从上游侧朝向下游侧变宽，下游侧的端部与第2流体侧连通。

另外，本说明书中，各个沟槽部15本身的平面形状除了如图3所示的曲线状的情况之外，也可以是直线状，直线状的情况下也配设成从上游侧朝向下游侧变宽即可。

并且，关于沟槽部15的上游侧的端部，可以如图2(a)及图3所示那样与第1圆周槽16连通，也可以如图2(b)所示那样通过台面部与第1圆周槽16隔离。

而且，如图2(c)所示，在不设置第1圆周槽16及第2圆周槽17的情况下，也能够实现本发明的目的。

关于沟槽部11、13、16以及第1圆周槽16、第2圆周槽17及半径方向深槽18的深度及宽度，具有根据滑动组件3、5的直径、滑动面宽度及相对移动速度、以及密封及润滑的条件等适当确定的性质。

作为一例，第1圆周槽16、第2圆周槽17及半径方向深槽18的深度为沟槽部11、13、16的深度的十倍以上。

接着，参考图4，对固定侧密封环5的滑动面的剖面形状进行说明。

图4中，动压产生机构10(瑞利台阶机构10)的动压产生槽11(沟槽部11)、第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)的第1负压产生槽13(沟槽部13)及第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)形成于与对象侧的滑动面s滑动的滑动面s上。

在第1负压产生槽13(沟槽部13)与第2负压产生槽15(沟槽部15)之间设置有第1圆周槽16，在动压产生槽11(沟槽部11)与第1负压产生槽13(沟槽部13)之间设置有第2圆周槽17。

接着，参考图5，对由瑞利台阶机构等构成的动压(正压)产生机构及由倒瑞利台阶机构等构成的负压产生机构进行说明。

图5(a)中，作为相对的滑动组件的旋转侧密封环3及固定侧密封环5以箭头所示的方式进行相对滑动。在固定侧密封环5的滑动面，与相对的移动方向垂直且面向上游侧而形成有构成窄间隙(阶梯差)的瑞利台阶11a，在该瑞利台阶11a的上游侧形成有作为动压(正压)产生槽的沟槽部11。相对的旋转侧密封环3及固定侧密封环5的滑动面s平坦。

若旋转侧密封环3及固定侧密封环5沿箭头所示的方向相对移动，则介于旋转侧密封环3及固定侧密封环5的滑动面s之间的流体由于其粘性，欲沿旋转侧密封环3或固定侧密封环5的移动方向追随移动，因此此时通过瑞利台阶11a的存在，产生如虚线所示的动压(正压)。

另外，r表示台面部。

图5(b)中，作为相对的滑动组件的旋转侧密封环3及固定侧密封环5也以箭头所示的方式进行相对滑动，但在旋转侧密封环3及固定侧密封环5的滑动面，与相对的移动方向垂直且面向下游侧而形成有构成宽间隙(阶梯差)的倒瑞利台阶13a，在该倒瑞利台阶13a的下游侧形成有作为负压产生槽的沟槽部13。相对的旋转侧密封环3及固定侧密封环5的滑动面平坦。

若旋转侧密封环3及固定侧密封环5沿箭头所示的方向相对移动，则介于旋转侧密封环3及固定侧密封环5的滑动面s之间的流体由于其粘性，欲沿旋转侧密封环3或固定侧密封环5的移动方向追随移动，因此此时通过倒瑞利台阶13ab的存在产生如虚线所示的负压。

现在，若旋转轴1被驱动而旋转侧密封环3旋转，则旋转侧密封环3与固定侧密封环5的滑动面s相对滑动，通过动压产生机构10产生动压(正压)而滑动面s彼此稍微分开，从第1流体侧向滑动面s缓慢导入第1流体，并且，从第2流体侧向滑动面s缓慢导入第2流体，通过流体润滑作用，滑动面s保持为非接触状态，另一方面，通过第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)，吸入从第1流体侧进入的第1流体并向第1流体侧吐出。并且，同时，通过第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)，吸入从第2流体侧进入的第2流体并向第2流体侧吐出。

因此，能够兼顾滑动面s的润滑与第1流体及第2流体的密封且防止两侧的不同种类的第1流体与第2流体的混合。

根据以上说明的实施例1的结构，可发挥如下优异效果。

(1)在一对滑动组件的滑动面的两侧存在不同种类的第1流体及第2流体，在至少其中一个滑动组件的滑动面设置由第1负压产生槽13(沟槽部13)构成的第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)，并且在比第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)更靠第2流体侧的位置设置由第2负压产生槽15(沟槽部15)构成的第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)，并且，在比第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)及第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)更靠第1流体侧设置由动压产生槽11(沟槽部11)构成的动压产生机构10(瑞利台阶机构10)，第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)的第1负压产生槽13(沟槽部13)与第1流体侧连通并且通过台面部r与第2流体侧隔离，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)与第2流体侧连通并且通过台面部r与第1流体侧隔离，并且，动压产生机构10(瑞利台阶机构10)的动压产生槽11(沟槽部11)与第1流体侧连通并且通过台面部r与第2流体侧隔离，由此能够兼顾滑动面s的润滑与第1流体及第2流体的密封且防止两侧的不同的第1流体与第2流体的混合。

(2)在第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)与第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)之间，设置比动压产生槽11(沟槽部11)、第1负压产生槽13(沟槽部13)及第2负压产生槽15(沟槽部15)的槽深更深的第1圆周槽16，第1圆周槽16通过台面部r与第1流体侧及第2流体侧隔离，由此能够防止第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)与第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的干扰，提高各自的吸入效果及吐出效果。

(3)在动压产生机构10(瑞利台阶机构10)与第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)之间设置环状的第2圆周槽17，第2圆周槽17经由半径方向深槽18与第1流体侧连通并通过台面部r与第2流体侧隔离，由此能够防止动压产生机构10(瑞利台阶机构10)与第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)的干扰，提高各自的吸入效果及吐出效果。

[实施例2]

参考图6，对本发明的实施例2所涉及的滑动组件进行说明。

实施例2与实施例1的不同点在于第1流体侧负压产生机构由螺旋机构构成，其他基本结构与实施例1相同，对相同部件标注相同符号，并省略重复说明。

图6中，构成第1流体侧负压产生机构的螺旋机构20的沟槽部21呈从上游侧朝向下游侧向中心方向缩小的曲线状(螺旋状)的形状。因此，通过与对象侧滑动面的滑动，在沟槽部21产生负压，吸入到沟槽部21内的流体朝向第1流体侧被施力。

图6(a)中，沟槽部21的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部与第2圆周槽17连通。

因此，吸入到沟槽部21内的流体可靠地向第1流体侧吐出。

并且，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部与第1圆周槽16连通。

图6(b)中，沟槽部21的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部与第2圆周槽17连通，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离。

图6(c)中，沟槽部21的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离。

另外，作为图6(c)的变形例，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部可与第1圆周槽16连通。

图6(d)中，沟槽部21的上游侧的端部与第1圆周槽16连通，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部与第1圆周槽16连通。

图6(e)中，沟槽部21的上游侧的端部与第1圆周槽16连通，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离。

图6(f)中，省略了第1圆周槽16及第2圆周槽17，沟槽部21的上游侧的端部及下游侧的端部被台面部r包围。并且，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部也被台面部r包围。

[实施例3]

参考图7，对本发明的实施例3所涉及的滑动组件进行说明。

实施例3与实施例2的不同点在于动压产生机构由螺旋机构构成，其他基本结构与实施例2相同，对相同部件标注相同符号，并省略重复说明。

图7中，构成动压产生机构的螺旋机构22的沟槽部23呈从上游侧朝向下游侧向第2流体侧扩大的曲线状(螺旋状)的形状。因此，通过与对象侧滑动面的滑动，在沟槽部23产生动压(正压)，能够使第1流体进入到滑动面之间来增加流体膜，提高润滑性能。

图7(a)中，沟槽部23的上游侧的端部与第1流体侧连通，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离。并且，多个沟槽部23中的若干个形成为与第2圆周槽17相同深度的深槽。

并且，沟槽部21的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部与第2圆周槽17连通。

并且，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)的上游侧的端部与第1圆周槽16连通。

图7(b)中，沟槽部23及沟槽部21与图7(a)相同，但沟槽部15的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离。

图7(c)中，沟槽部23及沟槽部15与图7(a)相同，但沟槽部21的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离。

另外，图7(c)中，沟槽部15的上游侧的端部可通过台面部从第1圆周槽16隔离。

图7(d)中，沟槽部23及沟槽部15与图7(a)相同，但沟槽部21的上游侧的端部与第1圆周槽16连通，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离。

图7(e)中，沟槽部23及沟槽部15与图7(b)相同，但沟槽部21的上游侧的端部与第1圆周槽16连通，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离。

图7(f)中，省略了第1圆周槽16及第2圆周槽17，沟槽部21的上游侧的端部及下游侧的端部被台面部r包围，并且，沟槽部15的上游侧的端部也被台面部r包围。

[实施例4]

参考图8，对本发明的实施例4所涉及的滑动组件进行说明。

实施例4与实施例1的不同点在于，第2流体侧负压产生机构由倒瑞利台阶机构形成，并且，在第2流体侧负压产生机构的第2流体侧设置动压产生机构，其他基本结构与实施例1相同，对相同部件标注相同符号，并省略重复说明。

图8(a)中，第2流体侧负压产生机构由倒瑞利台阶机构24构成，在比倒瑞利台阶机构24更靠第2流体侧设置有由瑞利台阶机构26构成的动压产生机构。

在倒瑞利台阶机构24的沟槽部25与瑞利台阶机构26的沟槽部27之间，设置有环状的第3圆周槽28，该环状的第3圆周槽28经由半径方向深槽29与第2流体侧连通。并且，瑞利台阶机构26的沟槽部27的上游侧的端部经由半径方向深槽29与第2流体侧连通。第3圆周槽28的槽深与第1圆周槽16及第2圆周槽17的槽深相同。

本例中，在第2流体侧负压产生机构的第2流体侧即最靠近第2流体侧的位置设置有构成动压产生机构的瑞利台阶机构26，因此与设置于第1流体侧的构成动压产生机构的瑞利台阶机构10的作用相结合，能够在整个滑动面形成液膜，能够使滑动面的润滑更加可靠。

如图8(b)所示，不设置第1圆周槽16、第2圆周槽17及第3圆周槽28的情况下，也能够实现本发明的目的。

[实施例5]

参考图9，对本发明的实施例5所涉及的滑动组件进行说明。

实施例5与实施例4的不同点在于，第1流体侧负压产生机构、第2流体侧负压产生机构、第1流体侧的动压产生机构及第2流体侧的动压产生机构由螺旋机构构成，但其他基本结构与之前的实施例1～4相同，对相同部件标注相同符号，并省略重复说明。

图9(a)中，第1流体侧负压产生机构由螺旋机构20构成，第2流体侧负压产生机构由螺旋机构14构成。

在比第1流体侧负压产生机构的螺旋机构20更靠第1流体侧，设置有由螺旋机构22构成的动压产生机构，在比第2流体侧负压产生机构的螺旋机构14更靠第2流体侧，设置有由螺旋机构30构成的动压产生机构。

在第1流体侧负压产生机构的螺旋机构20与第2流体侧负压产生机构的螺旋机构14之间设置有第1圆周槽16，在第1流体侧负压产生机构的螺旋机构20与第1流体侧的动压产生机构的螺旋机构22之间设置有第2圆周槽17，并且，在第2流体侧负压产生机构的螺旋机构14与第2流体侧的动压产生机构的螺旋机构30之间设置有第3圆周槽28。

图9(a)的情况下，螺旋机构20的沟槽部21的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部与第2圆周槽17连通。并且，螺旋机构14的沟槽部15的上游侧的端部通过台面部从第1圆周槽16隔离，下游侧的端部与第3圆周槽28连通。而且，第2圆周槽17经由圆弧状槽17a与第1流体侧连通，第3圆周槽28经由圆弧状槽28a与第2流体侧连通。

图9(b)中，与图9(a)的不同点在于，螺旋机构20的沟槽部21的上游侧的端部与第1圆周槽16连通，下游侧的端部通过台面部从第2圆周槽17隔离，但其他方面与图9(a)相同。

图9(c)中，与图9(a)的不同点在于，螺旋机构14的沟槽部15的上游侧的端部与第1圆周槽16连通，下游侧的端部通过台面部与第3圆周槽28隔离，其他方面与图9(a)相同。

图9(d)中，与图9(a)的不同点在于，螺旋机构20的沟槽部21及螺旋机构14的沟槽部15的上游侧的端部及下游侧的端部均不与深槽连通而被台面部r包围，其他方面与图9(a)相同。

图9(e)中，与图9(a)的不同点在于，只有螺旋机构14的沟槽部15的上游侧的端部及下游侧的端部不与深槽连通而被台面部r包围，其他方面与图9(a)相同。

如图9(f)所示，在不设置第1圆周槽16、第2圆周槽17及第3圆周槽28的情况下，也能够实现本发明的目的。

[实施例6]

参考图10，对本发明的实施例6所涉及的滑动组件进行说明。

实施例6涉及即使在旋转侧密封环3向两个方向旋转的情况下，不更换实施有表面纹理的密封环也能够使用的适于两种旋转规格的滑动组件。

图10(a)中，在固定侧密封环5的滑动面s，在靠第1流体侧的位置设置由动压产生槽33构成的动压产生机构32，在比动压产生机构32更靠中央侧的位置设置由第1负压产生槽36构成的第1流体侧负压产生机构35，并且在比第1流体侧负压产生机构35更靠第2流体侧的位置设置由第2负压产生槽38构成的第2流体侧负压产生机构37。

并且，在第1流体侧负压产生机构35与第2流体侧负压产生机构37之间，设置比动压产生槽33、第1负压产生槽36及第2负压产生槽38的槽深更深的环状的第1圆周槽16。第1圆周槽16通过台面部r与第1流体侧及第2流体侧隔离。

而且，本例中，在动压产生机构32与第1流体侧负压产生机构35之间设置环状的第2圆周槽17。第2圆周槽17经由半径方向深槽18与第1流体侧连通，并通过台面部r与第2流体侧隔离。

动压产生机构32由瑞利台阶机构形成，动压产生槽36由瑞利台阶机构的沟槽部(凹坑或者凹部)构成，隔着半径方向深槽18对称形成。

并且，第1流体侧负压产生机构35由倒瑞利台阶机构形成，第1负压产生槽36由倒瑞利台阶机构的沟槽部构成，相对于通过旋转中心的半径线o-o对称形成。

而且，第2流体侧负压产生机构37由倒瑞利台阶机构形成，第2负压产生槽37由倒瑞利台阶机构的沟槽部构成，相对于通过旋转中心的半径线o-o对称形成。

倒瑞利台阶机构35的沟槽部36的上游侧的端部36a及下游侧的端部36b位于第1流体侧并接近第2圆周槽17，中间部36c位于第1流体侧并接近第1圆周槽16。

并且，倒瑞利台阶机构37的沟槽部38的上游侧的端部38a及下游侧的端部38b位于第2流体侧并接近第2流体侧，中间部38c位于第1流体侧并接近第1圆周槽16。

如图10(b)所示，图10(a)中，不设置第1圆周槽16及第2圆周槽17的情况下，也能够实现本发明的目的。

图10(c)中，与图10(a)的不同点在于，在第2流体侧负压产生机构37的第2流体侧设置有由瑞利台阶机构构成的动压产生机构39，并且在第2流体侧负压产生机构37与动压产生机构39之间设置有第3圆周槽28，其他结构与图10(a)相同。

如图10(d)所示，图10(c)中，在不设置第1圆周槽16、第2圆周槽17及第3圆周槽28的情况下，也能够实现本发明的目的。

[实施例7]

参考图11，对本发明的实施例7所涉及的滑动组件进行说明。

实施例7与之前的实施例的不同点在于，设置第2流体侧负压产生机构的滑动面相对于设置第1流体侧负压产生机构及动压产生机构的滑动面，设定于沿轴向从对象侧滑动面远离的低位置，其他基本结构与之前的实施例相同，省略重复说明。

图11中，动压产生机构10(瑞利台阶机构10)的动压产生槽11(沟槽部11)及第1流体侧负压产生机构12(倒瑞利台阶机构12)的第1负压产生槽13(沟槽部13)形成于与对象侧的滑动面滑动的滑动面s上。

另一方面，第2流体侧负压产生机构14(螺旋机构14)的第2负压产生槽15(沟槽部15)设定于相对于滑动面s沿轴向从对象侧滑动面远离的低位置。

因此，能够对设计赋予自由度，能够发挥与设置于同一平面上时大致相同的吐出功能。

在第1负压产生槽13(沟槽部13)与第2负压产生槽15(沟槽部15)之间，在滑动面s上设置有第1圆周槽16，在动压产生槽11(沟槽部11)与第1负压产生槽13(沟槽部13)之间设置有第2圆周槽17。

以上，通过附图对本发明的实施例进行了说明，但具体结构并不限于这些实施例，即使存在不脱离本发明的宗旨的范围的变更和追加，也包含在本发明中。

例如，所述实施例中，对将滑动组件用于机械密封装置中的一对旋转用密封环及固定用密封环中的任一个的例子进行了说明，但也能够用作在圆筒状滑动面的轴向一侧密封润滑油的同时与旋转轴滑动的轴承的滑动组件。

并且，例如，所述实施例中，将滑动组件的内周侧作为第1流体(例如，水)侧并将外周侧作为第2流体(例如，油)侧来进行了说明，但本发明并不限定于此，也能够适用于它们的位置关系相反的情况。

并且，第1流体及第2流体不限于液体，也可以是气体或雾状的气体。

并且，例如，关于第1负压产生机构及第2负压产生机构的沟槽部的上游侧的端部及下游侧的端部与深槽之间的连通关系，不限于所述实施例中说明的例子，能够进行各种变更。

符号说明

1-旋转轴，2-套筒，3-旋转侧密封环，4-壳体，5-固定侧密封环，6-螺旋波浪形弹簧，7-波纹管，10-动压产生机构，11-动压产生槽，12-第1流体侧负压产生机构，13-第1负压产生槽，14-第2流体侧负压产生机构，15-第2负压产生槽，16-第1圆周槽，17-第2圆周槽，18-半径方向深槽，20-构成第1流体侧负压产生机构的螺旋机构，21-沟槽部，22-构成动压产生机构的螺旋，23-沟槽部，24-构成第2流体侧负压产生机构的倒瑞利台阶机构，25-沟槽部，26-构成动压产生机构的瑞利台阶机构，27-沟槽部，28-第3圆周槽，29-半径方向深槽，30-构成动压产生机构的螺旋机构，31-沟槽部，32-动压产生机构，33-动压产生槽，35-第1流体侧负压产生机构，36-第1负压产生槽，37-第2流体侧负压产生机构，38-第2负压产生槽，39-构成动压产生机构的瑞利台阶机构，40-沟槽部，s-滑动面，r-台面部。