技术特征：
技术总结
本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法，所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性，并且即使与现状相比不提高机械精度，也能够抑制阀体或阀座面的损伤，所述流体控制装置包括：设置在流体流动的流道上的流体控制阀；以及控制所述流体控制阀的控制机构，所述流体控制阀包括：阀座面；相对于所述阀座面离合的阀体；以及驱动所述阀体的致动器，所述控制机构包括速度调节部，当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时，在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后，所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
技术研发人员：安田忠弘;托马斯·霍克;瑞安·欧文斯;麦斯米兰·冈德拉赫;帕特里克·洛厄里;约翰·迪克;吉田友洸
受保护的技术使用者：株式会社堀场STEC
技术研发日：2018.06.04
技术公布日：2018.12.14