技术特征：
技术总结
本发明实施例公开了一种压电阀驱动器以及压电阀，压电阀驱动器包括：连接套筒、压电陶瓷部件、顶部封装部件、支撑块、固定座和弹性部件；连接套筒设置有分别贯穿侧壁并相对设置的第一通孔和第二通孔，支撑块穿过第一通孔和第二通孔，分别与第一通孔和第二通孔滑动配合，支撑块与固定座固定连接；压电陶瓷部件安装在上腔体内，底端与支撑块相接触，顶端与顶部封装部件相配合；弹性部件安装在下腔体内，弹性部件的两端分别压在下腔体的底部密封底面和支撑块上。本发明的设备以及外延反应器，可以大大简化MFC阀部件的结构，降低阀部件的加工难度，同时避免使用簧片结构，提高压电阀的可靠性和降低制造成本和制造难度，提高MFC产品的竞争力。
技术研发人员：杜井庆;何曼丽;苏乾益
受保护的技术使用者：北京七星华创流量计有限公司
技术研发日：2018.09.20
技术公布日：2019.01.29