一种旋转加热的隔热密封结构的制作方法

本实用新型涉及一种隔热以及密封结构,尤其是涉及一种应用于匀胶机的密闭腔内存在加热源基础上增加的对外密封以及隔热的结构，属于光电技术领域。

背景技术：

目前，加热匀胶机在旋涂过程中的热量以及气流均会对实验、生产过程造成影响；其在旋涂过程中外界气流进入旋涂内腔中会对基片上的胶液成膜造成严重的不良影响；同时，旋涂过程中基片需要通过加热旋转载物盘受热保证匀胶的均匀性，高温的加热旋转载物盘会将热量通过转轴等金属件传递给电气元件，从而影响其使用寿命。为此，亟需一种全新的结构来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种旋转加热的隔热密封结构，其通过密封杜绝对外气流的进入，并且通过隔热设置避免高温的加热旋转载物盘传递热量给电气元件，从而保证了电气安全性，有助于延长其使用寿命。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种旋转加热的隔热密封结构，所述结构包含有托盘和盖置于托盘上的上盖，所述托盘和上盖构成的腔体内设置有加热旋转载物盘，所述托盘在其与上盖的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖在其与托盘的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条，转动轴通过隔热法兰与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰外套装有油封轴套，且油封轴套与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二。

本实用新型一种旋转加热的隔热密封结构，所述上盖的顶部设置有观察窗，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一。

本实用新型一种旋转加热的隔热密封结构，所述托盘的底面向下凹陷形成环状结构的旋涂内腔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型利用密封条、O型圈一、O型圈二、不锈钢PTFE油封和油封轴套实现多重密封，从而避免外界气流的不利影响；同时，通过隔热法兰的设计，避免加热旋转载物盘的热量传递给电气元件，有助于延长其使用寿命；而且本专利采用分离式内腔，加热旋转载物盘高出旋涂内腔，使得上盖上方的气密空间更加方便的制造，便于内部选择更为合适的气密密封件，进一步保证气密可靠性。

附图说明

图1为本实用新型一种旋转加热的隔热密封结构的示意图。

其中：

密封条1、O型圈一2、O型圈二3、不锈钢PTFE油封4、隔热法兰5、油封轴套6。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种旋转加热的隔热密封结构，所述结构包含有托盘和盖置于托盘上的上盖，所述上盖的顶部设置有观察窗，所述托盘和上盖构成的腔体内设置有加热旋转载物盘，其特征在于：

所述托盘的底面向下凹陷形成环状结构的旋涂内腔，所述托盘在其与上盖的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖在其与托盘的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条1，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一2，转动轴通过隔热法兰5与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰5外套装有油封轴套6，且油封轴套6与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封4，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二3；

使用前，关闭上盖时密封条1压紧在托盘凸台的上，在负压作用下自动密封，观察窗处的密封为O型圈一2，托盘与内部轴零件利用O型圈二3做轴面，此为静密封；不锈钢PTFE油封4配合油封轴套6进行动态旋转密封，可保证接触面的同轴度以及光洁度跟硬度；隔热法兰5和油封轴套6则进行过盈配合；隔热法兰5本身选材为耐热，导热系数低刚性好的材料；

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。