一种便于调节的碳化硅制备用Ar充入阀门的制作方法

本实用新型涉及碳化硅加工设备技术领域，具体为一种便于调节的碳化硅制备用ar充入阀门。

背景技术：

碳化硅(sic)单晶材料具有宽禁带、高热导率、高电子饱和迁移速率、高击穿电场等性质，与第一代半导体材料和第二代半导体材料相比有着明显的优越性，被认为是制造光电子器件、高频大功率器件、电力电子器件理想的半导体材料，在白光照明、光存储、屏幕显示、航天航空、高温辐射环境、石油勘探、自动化、雷达与通信、汽车电子化等方面有广泛应用。

碳化硅制备的过程中，需要通入氩气来控制反应的速度，在制备初期，需要通入氩气对碳化硅生长进行抑制，之后生长率会随着外加的氩气气压的加大而减小，人工控制氩气的通入，存在较大的误差，不利于碳化硅的制备，为此，我们提出一种便于调节的碳化硅制备用ar充入阀门。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种便于调节的碳化硅制备用ar充入阀门，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于调节的碳化硅制备用ar充入阀门，包括阀门外壳，所述阀门外壳内部设置有阀道，所述阀门外壳固定连接有检测装置，且检测装置与阀道连通，所述阀门外壳底部固定连接有控制面板，所述阀门外壳顶部固定有保护壳，且保护壳与阀道连通，所述保护壳内壁固定有驱动装置，所述驱动装置输出端固定连接有闸板，所述闸板底部固定有闸销，所述阀门外壳内壁固定连接有固定块，所述固定块开设有定位卡槽。

优选的，所述检测装置包括连接杆和气压检测仪，所述连接杆与阀门外壳固定连接，所述连接杆开设有通孔，且通孔与阀道相通，所述连接杆顶部固定有气压检测仪。

优选的，所述驱动装置包括电机和螺纹杆，所述电机与保护壳内壁固定连接，所述电机输出端与螺纹杆固定连接，所述螺纹杆远离电机的一端螺纹连接有滑杆，所述滑杆远离螺纹杆的一端固定连接有闸板。

优选的，所述连接杆两侧内壁均开设有流通槽，所述连接杆远离气压检测仪的一侧固定连接有圆形块，所述圆形块内壁开设有圆形槽，所述流通槽与圆形槽相连通，所述流通槽内壁固定连接有水管，且流通槽与水管连通。

优选的，所述闸销外侧设置有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型设置气压检测仪可以检测到碳化硅制备过程中的所需要的氩气，再通过控制面板对电机做出反应来控制阀门开关，比人工控制阀门更加准确，操作简单，而且省时省力。

2、本实用新型通过水管连接流通槽和圆形槽，形成水循环，对气压检测仪起到作用保护，设置密封圈使气密性更好。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为图1中a区局部放大图；

图3为图1中b区局部放大图。

图中：1-阀门外壳；2-阀道；3-检测装置；4-控制面板；5-保护壳；6-驱动装置；7-闸板；8-闸销；9-固定块；10-定位卡槽；11-连接杆；12-气压检测仪；13-电机；14-螺纹杆；15-滑杆；16-流通槽；17-圆形块；18-圆形槽；19-水管；20-密封圈；21-通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种便于调节的碳化硅制备用ar充入阀门，包括阀门外壳1，所述阀门外壳1内部设置有阀道2，所述阀门外壳1固定连接有检测装置3，且检测装置3与阀道2连通，所述阀门外壳1底部固定连接有控制面板4，所述阀门外壳1顶部固定有保护壳5，且保护壳5与阀道2连通，所述保护壳5内壁固定有驱动装置6，所述驱动装置6输出端固定连接有闸板7，所述闸板7底部固定有闸销8，所述阀门外壳1内壁固定连接有固定块9，所述固定块9开设有定位卡槽10，检测装置3可以检测碳化硅制备过程中的气压大小，驱动装置6提供驱动力，可以使阀门关闭。

所述检测装置3包括连接杆11和气压检测仪12，所述连接杆11与阀门外壳1固定连接，所述连接杆11开设有通孔21，且通孔21与阀道2相通，所述连接杆11顶部固定有气压检测仪12。

所述驱动装置6包括电机13和螺纹杆14，所述电机13与保护壳5内壁固定连接，所述电机13输出端与螺纹杆14固定连接，所述螺纹杆14远离电机13的一端螺纹连接有滑杆15，所述滑杆15远离螺纹杆14的一端固定连接有闸板7。

向反应釜中通入氩气，当气压检测仪12通过通孔21可以检测到反应釜气压已经达到碳化硅制备所需要的气压时，气压检测仪12向控制面板4发出信号，控制面板4对电机13做出反应，电机13输出端转动，带动螺纹杆14运动，螺纹杆14带动滑杆15运动，滑杆15带动闸板7运动，闸板7可以限制滑杆15在水平方向上自转，闸板7向下运动带动闸销8向下运动，闸销8卡进定位卡槽10，使阀门关闭，当反应釜中的气压过低需要通入氩气时，气压检测仪12接收到信号，将信号传递给控制面板4，控制面板4再对电机13做出反应，电机13输出端转动，带动螺纹杆14运动，螺纹杆14带动滑杆15运动，滑杆15带动闸板7运动，闸板7可以限制滑杆15在水平方向上自转，闸板7向上运动带动闸销8向上运动，闸销8离开定位卡槽10，阀门打开，可以通入氩气。

所述连接杆11两侧内壁均开设有流通槽16，所述连接杆11远离气压检测仪12的一侧固定连接有圆形块17，所述圆形块17内壁开设有圆形槽18，所述流通槽16与圆形槽18相连通，所述流通槽16内壁固定连接有水管19，且流通槽16与水管19连通。

当使用气压检测仪12时，将水管19通入水，水从左边的水管19流向流通槽16，再流向圆形槽18，再从右边的水管19流出，形成一个水循环，对反应釜中的热气流进行冷却，保护气压检测仪12。

所述闸销8外侧设置有密封圈20，密封圈20起到密封的作用。

本方案中电机13优选y100l-2-3型号,气压检测仪12优选dym3型号，通过控制程序控制电机13正反转，本实用新型中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。