一种翻板阀的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种翻板阀。

背景技术：

真空连续镀膜生产线一般由多个不同功能的模块构成，呈线例式拼装在一起，被镀基片从一端进入，经过整个镀膜生产线完成镀膜工艺，从另一端出片，满足真空镀膜正常运行需要首先在整个模块间形成一个非常洁净的环境，其次要满足不同模块间的不同真空度，形成从大气—镀膜工艺压力—大气的压力梯度，真空翻板阀是实现上述功能的核心部件，镀膜产品质量的优劣，镀膜连续线能否正常使用，翻板阀起到关键作用。

公开号为cn110131421a的中国实用新型专利公开了一种外驱动式两段传输阀，主要包括：阀板，阀门连杆，转轴架，驱动连杆，空心行程轴，上段焊接纹管组件，下段焊接波纹管组件，限位轴套，限位法兰，矩形弹簧，升降横梁及相关件构成两组两段传输的机构；通过位于升降横梁中间位置的气缸杆的伸长与缩回，以及下弹簧的伸展或压缩，带动上、下波纹管组件压缩与伸展，使阀板首先沿垂直方向向下或向上移动，之后阀板将围绕转轴顺时针或逆时针转动一定角度与真空腔室的密封面紧密贴合，为真空腔室提供可靠的反应环境，克服了以往阀门采用翻转密封轴结构时的结构复杂，成本高，密封件易损坏等问题。

但是，这种阀门的零部件依然比较多，而且结构复杂，生产成本较高。因此，需要设计一种结构简单、能为真空腔室提供可靠的反应环境的翻板阀。

技术实现要素：

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的应用于真空腔室的翻转阀存在结构复杂、生产成本高的问题，从而提供一种翻板阀。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种翻板阀，包括：

阀体，其内部具有阀腔，所述阀体上设有与所述阀腔贯通的阀门开口；

直线驱动机构，安装于所述阀体且其伸缩端伸入所述阀腔内；

阀板组件，置于所述阀腔内，连接在所述阀体内壁和所述直线驱动机构的伸缩端之间；所述阀板组件在所述直线驱动机构的作用下具有关闭所述阀门开口的关闭状态和开启所述阀门开口的打开状态。

进一步地，所述直线驱动机构的伸缩端上连接有调整块，所述调整块上设有腰型孔；所述阀板组件的一端绕一连接轴转动安装于所述阀体，所述阀板组件的另一端连接有滑动转轴，所述滑动转轴与所述腰型孔滑动配合。

进一步地，所述阀板组件包括用于密封所述阀门开口的阀板和与所述阀板连接的连接板，所述连接板呈t型，所述滑动转轴连接在所述连接板的一个自由端上。

进一步地，所述连接板与所述滑动转轴连接的一端设有第一固定孔，所述滑动转轴转动连接于所述第一固定孔；所述连接板与所述阀体连接的一端设有第二固定孔，所述连接轴转动连接于所述第二固定孔。

进一步地，所述第一固定孔和所述第二固定孔之间的孔位间距小于或等于所述腰型孔的长度和所述第一固定孔与所述第二固定孔在水平方向上的间距之和。

进一步地，所述阀板组件靠近所述阀门开口的一侧面上设有密封条，所述阀体对应所述阀门开口的位置上设有凹槽，当所述阀板组件处于关闭所述阀门开口的关闭状态时，所述密封条嵌入所述凹槽内。

进一步地，所述凹槽为燕尾槽。

进一步地，所述直线驱动机构为气缸，所述气缸的缸体部分通过转接板安装于所述阀体的外部，所述气缸的伸缩杆伸进所述阀腔内。

进一步地，所述阀体上设有供所述气缸的伸缩杆穿过的安装孔，所述安装孔上安装有套设在所述伸缩杆外周的密封轴套。

进一步地，所述密封轴套和所述伸缩杆之间的间隙设有密封件。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的翻板阀，仅需要一个直线驱动机构就可以驱动位于阀体内的阀板组件打开或关闭阀门开口，具有翻转动作执行快的过程、阀体关闭后的密封性能好的优点。

2.本实用新型提供的翻板阀，通过在直线驱动机构的伸缩端上设置调整块，在调整块上设置腰型孔，阀板组件的一端通过滑动轴承与调整块上的腰型孔滑动配合，这种结构仅仅需要一个调整块和一个滑动轴承就可以将直线驱动机构的直线运动转化为阀板组件的翻转运动，具有零部件小、结构简单、易于维护、生产成本低的优点。

3.本实用新型提供的翻板阀，滑动转轴转动连接于连接板的第一固定孔的方式，滑动转轴与连接板之间不是刚性连接，从而可以减少滑动转轴对阀板组件翻转运动过程中的干扰，阀板的翻转过程更加流畅、迅速。

4.本实用新型提供的翻板阀，连接板上第一固定孔和第二固定孔之间的孔位间距小于或等于腰型孔的长度和第一固定孔与第二固定孔在水平方向上的间距之和，使调整块不会对连接板的翻转形成干涉，进一步有利于实现阀板的快速翻转。

5.本实用新型提供的翻板阀，阀板和阀体之间通过嵌设进凹槽内的密封条进行密封，气缸和阀体之间通过密封轴套进行密封的方式，可以在阀体内形成稳定可靠的真空反应环境。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中阀体处于关闭状态下的主要结构示意图；

图2为本实用新型实施例中阀体处于打开状态下的主要结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的阀板组件中连接板的结构示意图。

附图标记说明：1、阀体；101、阀门开口；102、凹槽；103、安装孔；2、气缸；3、阀板组件；31、阀板；32、连接板；321、第一固定孔；322、第二固定孔；4、调整块；41、腰型孔；5、滑动转轴；6、连接轴；7、固定座；8、密封轴套；9、密封件；10、转接板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1－3所示的一种翻板阀，包括阀体1、直线驱动机构和阀板组件3。其中，阀体1的内部具有阀腔，阀体1的一侧壁上设有与阀腔贯通的阀门开口101；直线驱动机构安装于阀体1外且其伸缩端伸入阀腔内；阀板组件3置于阀腔内，且两端分别连接在阀体1内壁和直线驱动机构的伸缩端之间；阀板组件3在直线驱动机构的作用下具有关闭阀门开口101的关闭状态和开启阀门开口101的打开状态。

这种结构的翻板阀，仅需要一个直线驱动机构就可以驱动位于阀体1内的阀板组件3打开或关闭阀门开口101，具有阀板组件3翻转动作执行快的过程、阀体1关闭后的密封性能好的优点。

在本实施例中，直线驱动机构具体的气杆，阀体1上设有供气缸2的伸缩杆穿过的安装孔103，气缸2的缸体部分通过转接板10安装在阀体1的外部，气缸2的伸缩杆伸进阀腔内。安装孔103上安装有套设在伸缩杆外周的密封轴套8，密封轴套8和阀体1对应安装孔103的位置上设有台阶面，阀体1在对应安装孔103的位置上设有台阶结构，密封轴套8的外边壁与阀体1上的台阶结构紧密相抵，且密封轴套8和台阶结构上方的间隙用o型密封圈密封。密封轴套8与气缸2伸缩杆接触的内壁上具有凹腔，该凹腔和气缸2伸缩杆之间的间隙可以采用多个不同大小型号和类型的o型密封圈或锥形密封圈进行密封，多个密封圈之间设有平垫片。这种有多个密封圈和平垫片组成的密封件9，可以在气杆伸缩杆和密封轴套8之间形成有效密封，确保阀体1内形成稳定可靠的真空反应环境。在其他可替代的实施方式中，直线驱动机构还可以直线驱动器，比如电动推杆等，电动推杆的伸缩端伸进阀腔内。

在本实施例中，气杆的伸缩杆的端部固定连接有调整块4，调整块4上设有腰型孔41，腰型孔41的长度方向垂直于气缸2伸缩杆的长度方向。阀板组件3的一端绕一连接轴6转动安装于阀体1，另一端连接有滑动转轴5；滑动转轴5与腰型孔41滑动配合。

气杆的伸缩杆和阀板组件3通过调整块4和滑动转轴5实现两者传动连接的方式，仅仅需要一个调整块4和一个滑动轴承就可以将气杆的直线运动转化为阀板组件3的翻转运动，具有零部件小、结构简单、易于维护、生产成本低的优点。

在本实施例中，阀板组件3包括用于密封阀门开口101的阀板31和与阀板31连接的连接板32，连接板32呈t型，滑动转轴5连接在连接板32的一个自由端上。在其他的一些实施方式中，连接板32和阀板31还可以是一体式的结构。

在本实施例中，连接板32与滑动转轴5连接的一端设有第一固定孔321，滑动转轴5转动连接于第一固定孔321；连接板32与阀体1连接的一端设有第二固定孔322，连接轴6转动连接于第二固定孔322。连接板32和连接轴6之间、连接板32和滑动转轴5之间均采用转动连接的方式，可以减少连接轴6或滑动转轴5对阀板组件3翻转运动过程中的干扰，阀板31的翻转过程更加流畅、迅速。当然，可以理解的是，在其他实施方式中，连接轴6和滑动转轴5还可以采用固定连接的方式安装在连接板32上。

在本实施例中，为了使阀板组件3可以实现最大角度的翻转，第一固定孔321和第二固定孔322之间的孔位间距等于腰型孔41的长度和第一固定孔321与第二固定孔322在水平方向上的最小间距之和。如此设置，调整块4不会对连接板32的翻转形成干涉，气杆的直线运动转化为阀板组件3翻转运动的过程更加快速、流畅。具体的，当阀板组件3处于密封阀门开口101的关闭状态时，滑动转轴5位于腰型孔41最靠近阀门开口101的一侧，滑动转轴5和腰型孔41的外壁相抵，以防止阀板组件3翻转角度过大。可以理解的是，腰型孔41的长度和第一固定孔321与第二固定孔322在水平方向上的最小间距之和还可以大于第一固定孔321和第二固定孔322之间的孔位间距，这种情况下，调整块4也不会对连接板32的翻转形成干涉。

在本实施例中，阀板31靠近阀门开口101的一侧面上设有密封条，阀体1对应阀门开口101的位置上设有凹槽102，当阀板31处于关闭阀门开口101的关闭状态时，密封条嵌入凹槽102内。阀板31和阀体1之间通过嵌设进凹槽102内的密封条进行密封，可以提高阀体1的密封性能，确保阀体1内形成稳定可靠的真空反应环境。在本实施例的一种优选实施方式中，凹槽102为燕尾槽。当然，凹槽102还可以是其它各种形式的具体向内凹陷的外形槽体结构。

综上所述，本实用新型实施例提供的翻板阀，仅需要一个气杆就可以驱动位于阀体1内的阀板组件3打开或关闭阀门开口101，可以实现阀板组件3的快速翻转；而且气杆的伸缩杆和阀板组件3通过调整块4和滑动转轴5实现两者传动连接的方式，仅仅需要一个调整块4和一个滑动轴承就可以将气杆的直线运动转化为阀板组件3的翻转运动，具有零部件小、结构简单、易于维护、生产成本低的优点。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。