1.一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,包括:磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500),所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧,所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部,且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述磁流体(100)包括输入轴(110)和输出轴(120),所述磁流体(100)端部设有标准真空cf法兰。
3.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述波纹管组件(300)包括顶部连接法兰(310)和底部连接法兰(320),所述波纹管组件(300)外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰(310),所述底部连接法兰(320)固接于所述波纹管组件(300)底部。
4.根据权利要求3所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述导轨组件(200)包括连接板(210)和导轨滑块(220),所述连接板(210)设于所述顶部连接法兰(310)外侧壁,所述连接板(210)另一侧固接所述导轨滑块(220),所述导轨组件(200)还包括导轨固定板(230)和导轨(240),所述导轨固定板(230)固接于所述底部连接法兰(320)外侧壁,所述导轨固定板(230)内侧设所述导轨(240),所述导轨(240)与所述导轨滑块(220)滑动连接,且所述导轨(240)两端部设置有限位块。
5.根据权利要求4所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述密封件(400)包括无氧铜密封圈一(410)和无氧铜密封圈二(420),所述顶部连接法兰(310)与所述磁流体(100)端部密封连接,且所述顶部连接法兰(310)与所述磁流体(100)端部密封面采用所述无氧铜密封圈一(410)进行密封,所述底部连接法兰(320)与所述真空系统接口(500)采用标准真空cf法兰连接,同时采用所述无氧铜密封圈二(420)进行真空密封。