一种高真空动密封复合运动馈入装置的制作方法

文档序号:20853343发布日期:2020-05-22 21:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,包括:磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500),所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧,所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部,且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述磁流体(100)包括输入轴(110)和输出轴(120),所述磁流体(100)端部设有标准真空cf法兰。

3.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述波纹管组件(300)包括顶部连接法兰(310)和底部连接法兰(320),所述波纹管组件(300)外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰(310),所述底部连接法兰(320)固接于所述波纹管组件(300)底部。

4.根据权利要求3所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述导轨组件(200)包括连接板(210)和导轨滑块(220),所述连接板(210)设于所述顶部连接法兰(310)外侧壁,所述连接板(210)另一侧固接所述导轨滑块(220),所述导轨组件(200)还包括导轨固定板(230)和导轨(240),所述导轨固定板(230)固接于所述底部连接法兰(320)外侧壁,所述导轨固定板(230)内侧设所述导轨(240),所述导轨(240)与所述导轨滑块(220)滑动连接,且所述导轨(240)两端部设置有限位块。

5.根据权利要求4所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置,其特征在于,所述密封件(400)包括无氧铜密封圈一(410)和无氧铜密封圈二(420),所述顶部连接法兰(310)与所述磁流体(100)端部密封连接,且所述顶部连接法兰(310)与所述磁流体(100)端部密封面采用所述无氧铜密封圈一(410)进行密封,所述底部连接法兰(320)与所述真空系统接口(500)采用标准真空cf法兰连接,同时采用所述无氧铜密封圈二(420)进行真空密封。


技术总结
本实用新型属于真空动密封技术领域,具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧,磁流体密封设于波纹管组件顶部,真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接,旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空;通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动,滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接,底部法兰与真空接口法兰密封连接,密封均采用无氧铜密封圈进行密封,确保了装置工作时真空度的条件下,可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。

技术研发人员:李赟
受保护的技术使用者:西安中科英威特光电技术有限公司
技术研发日:2019.10.21
技术公布日:2020.05.22
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