一种大承载式气浮导轨的制作方法

本实用新型属于精密仪器领域，具体涉及一种大承载式气浮导轨。

背景技术：

气浮导轨均化误差作用好，移动精度高，无发热现象，使用寿命长，适用于很宽广的温度范围，因此气浮导轨被广泛用于精密机械和精密测量仪器中。但由于气浮导轨刚性不足、承载力较小，可能会出现气浮导轨会出现不稳定现象，这样在使用过程中会导致加工或者测量数据不可靠。

技术实现要素：

鉴于此，本实用新型的目的是提供一种大承载式气浮导轨，用于克服上述问题或者至少部分地解决或缓解上述问题。

本实用新型提出一种大承载式气浮导轨，包括：

支撑台，所述支撑台的顶部的两侧分别设置有定导轨，所述定导轨上分别设置有上轨面和下轨面；

载物台，所述载物台的下方的两侧分别固定连接有上导轨板和下导轨板，所述上导轨板的下表面正对所述定导轨的上轨面，所述下导轨板的上表面正对所述定导轨的下轨面，所述上导轨板的下表面设置有多个下出气口，所述下导轨板的上表面设置有多个上出气口，所述上导轨板和所述下导轨板内分别设置有气路通道，所述气路通道分别与所述上出气口和所述下出气口相连通；

气嘴，所述气嘴连接在每个所述上出气口和所述下出气口的端口内；

其中，所述上导轨板的下表面设置有均压槽，所述均压槽与所述下出气口相连通。

本实用新型还具有以下可选特征。

可选地，所述均压槽的数量为多个，每个所述下出气口分别与多个所述均压槽的一端相连通。

可选地，多个所述均压槽在每个所述下出气口的外侧呈对称交叉分布。

可选地，所述定导轨的外侧还设置有竖直轨面，所述上导轨板和所述下导轨板之间还固定连接有侧导轨板，所述侧导轨板内设置有气路通道，所述侧导轨板的内侧表面设置有多个侧出气口，所述气路通道分别与所述侧出气口相连通。

可选地，所述上导轨板内的所述气路通道、所述下导轨板内的所述气路通道以及所述侧导轨板内的所述气路通道相连通。

可选地，所述载物台的下方的两侧的所述上导轨板内的所述气路通道通过管路相连通。

可选地，所述支撑台的上部的两侧分别设置有台阶面，所述台阶面与所述定导轨之间形成凹槽，所述下导轨板的内端伸入所述凹槽内，并与所述台阶面之间形成间隙。

本实用新型的大承载式气浮导轨通过在上导轨板的下表面上设置均压槽，使下出气口通过气嘴和均压槽连通，形成新的节流器，这样在通气时，气体在经过气嘴时产生第一次节流，经过均压槽时又产生第二次节流，这样就连续节流两次，并且每个下出气口所连通的多个均压槽都成为独立的气浮系统，有较强的静压效果，从而提升了气浮导轨的刚性和承载能力。

附图说明

图1是本实用新型的大承载式气浮导轨的一种实施例的端部结构示意图；

图2是图1中的上导轨板的下表面的结构示意图。

在以上图中：1支撑台；101台阶面；2定导轨；201上轨面；202下轨面；203竖直轨面；3载物台；4上导轨板；401下出气口；402均压槽；5下导轨板；501上出气口；6气路通道；7气嘴；8侧导轨板；801侧出气口。

以下将结合附图及实施例对本实用新型做进一步详细说明。

具体实施方式

实施例1

参考图1和图2，本实用新型的实施例提出一种大承载式气浮导轨，包括：支撑台1、载物台3和气嘴7；支撑台1的顶部的两侧分别设置有定导轨2，定导轨2上分别设置有上轨面201和下轨面202；载物台3的下方的两侧分别固定连接有上导轨板4和下导轨板5，上导轨板4的下表面正对定导轨2的上轨面201，下导轨板5的上表面正对定导轨2的下轨面202，上导轨板4的下表面设置有多个下出气口401，下导轨板5的上表面设置有多个上出气口501，上导轨板4和下导轨板5内分别设置有气路通道6，气路通道6分别与上出气口501和下出气口401相连通；气嘴7连接在每个上出气口501和下出气口401的端口内；其中，上导轨板4的下表面设置有均压槽402，均压槽402与下出气口401相连通。

支撑台1的上部通过螺钉连接定导轨2，每个定导轨2的两侧均具有上轨面201和下轨面202，载物台3的两侧的下部通过螺钉分别连接上导轨板4，上导轨板4的外侧直接或间接连接下导轨板5，上导轨板4的下表面上具有下出气口401，上导轨板4的下表面正对定导轨2的上轨面201，下导轨板5的上表面具有上出气口501，下导轨板5的上表面正对定导轨2的下轨面202，上导轨板4和下导轨板5内均具有气路通道6，往气路通道6通入高压气体后，高压气体分别从上出气口501内的气嘴7和下出气口401内的气嘴7流出，在上导轨板4和定导轨2的上轨面201以及下导轨板5和定导轨2的下轨面202之间形成气膜，使上导轨板4和下导轨板5均相对定导轨2均不会接触，进而使载物台3处于漂浮状态，且具有一定的刚性和承载力，在移动时不会产生摩擦力，可用以精密仪器的移动测量。由于上导轨板4的下表面上具有与下出气口401相连通的均压槽402，均压槽402与下出气口401内的气嘴7之间形成第二次节流，每个均压槽402都形成独立的气浮系统，具有较强的静压效果，从而提高了气浮导轨的刚性和承载能力。

实施例2

参考图1和图2，在实施例1的基础上，均压槽402的数量为多个，每个下出气口401分别与多个均压槽402的一端相连通。

每个下出气口401分别与多个均压槽402的一端相连通，多个均压槽402呈放射形状均匀分布。

实施例3

参考图1和图2，在实施例2的基础上，多个均压槽402在每个下出气口401的外侧呈对称交叉分布。

每个下出气口401分别与四个均压槽402的一端相连通，四个均压槽402呈十字形分布。

实施例4

参考图1，在实施例1的基础上，定导轨2的外侧还设置有竖直轨面203，上导轨板4和下导轨板5之间还固定连接有侧导轨板8，侧导轨板8内设置有气路通道6，侧导轨板8的内侧表面设置有多个侧出气口801，气路通道6分别与侧出气口801相连通。

定导轨2的上轨面201和下轨面202可采用水平面，两个水平面均与定导轨2外侧的竖直轨面203相正交，上导轨板4的外侧与侧导轨板8的上部固定连接，侧导轨板8的下部与下导轨板5的外侧固定连接，且三者内部的气路通道6相连通，侧导轨板8的内侧的侧出气口801内设置有气嘴7，使定导轨2的侧壁与侧导轨板8之间形成气膜，避免两者接触和发生摩擦。

实施例5

参考图1，在实施例4的基础上，上导轨板4内的气路通道6、下导轨板5内的气路通道6以及侧导轨板8内的气路通道6相连通。

上导轨板4内的气路通道6、下导轨板5三者内部的气路通道6相连通，方便调节气膜压力。

实施例6

参考图1，在以上任一项实施例的基础上，载物台3的下方的两侧的上导轨板4内的气路通道6通过管路相连通。

连接在载物台3的下方两侧的上导轨板4内的气路通道6相连通，可使其内部压力分布相同，方便调节压力。

实施例7

参考图1，在以上任一项实施例的基础上，支撑台1的上部的两侧分别设置有台阶面101，台阶面101与定导轨2之间形成凹槽，下导轨板5的内端伸入凹槽内，并与台阶面101之间形成间隙。

台阶面101的存在增加了下导轨板5的上出气口501和上导轨板4的下出气口401的压力气体流出的缝隙的长度，进而提高了整个气浮导轨的气密性，提高了其支撑能力。

实施例8

参考图1和图2，上导轨板4的长度为180mm，厚度为12mm，宽度为54mm，在上导轨4的三个下出气口401的周围分布刻有深度为0.1～0.15mm，宽度为0.2～0.4mm的四个均压槽402，四个均压槽402呈十字交叉分布，使每个下出气口401内的气嘴7都和四个均压槽402连通，形成新的节流器。均压槽402的长度根据上导轨板4的宽度和下出气口401之间的实际距离而定，在本实例中均压槽402的长度为15mm。

在实际承载能力测试中，在使用不具有均压槽402的上导轨板4时，整个气浮导轨的承载能力为30kg左右，而使用了具有均压槽的上导轨板4的整个气浮导轨的承载能力为70kg左右，承载能力提升了130％以上。用专用计量平晶在对两种导轨进行移动精度测试。同样承重15kg时，原导轨的移动直线度为≥.4μm/100mm，使用具有均压槽402的上导轨板4之后，的导轨移动直线度为≤0.4μm/100mm。在承重50kg时，原导轨已经不能正常工作，使用具有均压槽402的上导轨板4之后的整个气浮导轨的移动精度为≤0.5μm/100mm依然能正常工作，说明在承重增加的情况下，精度未损失。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。本实施例没有详细叙述的部件和结构属本行业的公知部件和常用结构或常用手段，这里不一一叙述。