锁定装置、锁定系统以及用于操作锁定装置的方法与流程

背景技术：

本发明涉及根据权利要求1的前序部分的锁定装置、根据权利要求21的锁定系统、根据权利要求23的运输室以及根据权利要求24的用于操作锁定装置的方法。

已经提出了具有至少一个锁定室的锁定装置，所述锁定装置包括至少一个可移动支撑的锁定操作元件，其至少被配置为调节锁定室的至少一个开口的打开状态，并且包括支撑单元，其被配置用于锁定操作元件的可移动支撑。在文献ep2876341b1和us9,086,173b2中示出了此类锁定装置，其中在这些文献中，覆盖锁定室的开口的打开元件与锁定操作元件固定地且不可释放地连接。

本发明的目的具体地提供在灵活性方面具有有利特征的通用装置。目标根据本发明通过专利权利要求1、21、23和24的特征来实现，同时本发明的有利实施方案和其他进展可从从属权利要求获得。

技术实现要素：

本发明基于锁定装置，特别是真空锁定装置，具有特别是可真空密封地关闭的至少一个锁定室，所述锁定装置包括至少一个被可移动地支撑的锁定操作元件，所述锁定操作元件至少被配置为调节所述锁定室的至少一个开口的打开状态，优选为所述锁定室的至少两个开口的打开状态，并且所述锁定装置包括被配置为可移动地支撑所述锁定操作元件的支撑单元。

建议将锁定操作元件至少被配置为以至少半自动、特别是全自动的方式在所述锁定操作元件和至少一个打开元件之间产生特别是可操作地释放的压入配合和/或形状配合联接，其中所述打开元件至少被配置用于关闭、优选为真空密封地关闭所述锁定室的至少所述开口和/或能够与所述锁定室联接的另一室、特别是处理室或运输室的至少一个开口。以这种方式，可以实现关于锁定装置的灵活性的特别有利的特性。锁定装置特别有利地是可以被配置用于切换和/或操纵多个不同的开口(例如具有不同的开口尺寸或不同的开口形状的开口)和/或多个不同的打开元件，类似于盖、板等。有利地，这例如使得能够联接不同的运输室以转移运输室的内容物，特别是在保持真空条件的同时，这有利地允许实现通过锁定将运输室的内容物无污染地运输到处理室中。特别地，尤其对于污染敏感的产品，类似于例如用于oled生产的基础材料，可获得特别有利的转移特性。此外，可以有利地保持转移过程特别简单。

“锁定装置”特别地被理解为被配置用于在两个区域之间过渡的装置，所述两个区域具有不被混合的不同的特性。“真空锁定装置”特别地旨在实现在两个真空区域之间的过渡或在具有不同压力的两个区域之间的过渡，其中至少一个区域具有真空。“打开状态”特别地是指开口的关闭状态和/或开口的打开状态。“打开状态的调节”特别地是指开口的特别是可逆的打开和/或特别是可逆的关闭。“可移动的支撑件”特别地是指平移支撑件和/或旋转支撑件。特别地，支撑单元被配置为相对于锁定操作元件的另一部分可移动地支撑整个锁定操作元件和/或可移动地支撑锁定操作元件的至少一部分，其中优选地，锁定操作元件的所述部分和另一部分至少部分地布置在锁定室的内部中。锁定操作元件特别地被实现为某种类型的可自动驱动的滑块。特别地，锁定操作元件至少被配置用于优选地经由支撑单元、在打开元件的关闭开口的座与锁定操作元件的支撑位置之间移动至少两个打开元件。在支撑位置中，打开元件和/或锁定操作元件布置在锁定室内，使得锁定操作元件和/或以压入配合和/或形状配合的方式以及锁定操作元件联接的打开元件(特别是打开元件和第二打开元件)与连接开口的任何直线完全没有相交点，所述开口的打开状态可通过锁定操作元件调节。

通过“半自动”功能特别地应理解为功能按部分指定的方式工作，而无需任何人工输入。“完全自动”的功能特别地按完全指定的方式工作，而无需任何人工输入。“可操作地释放”的联接器特别地被理解为联接器，其特别地在没有破坏的情况下优选地经由锁定操作元件的可切换功能，例如通过接通和/或断开磁场，通过释放和/或连接机械闩锁装置和/或通过接通和/或断开产生负压的泵装置可释放和/或可连接。具体地，在锁定装置的操作期间，可操作地释放的连接是可释放的和/或可连接的。“压入配合联接器”特别地被理解为可释放的联接器，其由例如磁力、压力和/或摩擦力的保持力产生。优选地，压入配合联接器应被理解为磁性联接器，优选地为磁体联接器，和/或气动联接器。具体地，压入配合联接器可经由远程控制(例如经由向电磁体的电流馈送和/或抽吸泵的开关)来切换。“形状配合的联接器”特别地被理解为可释放的联接器，其通过至少两个联接配对件(例如，锁定操作元件的联接元件和打开元件的联接元件)彼此之间至少部分接合而形成。形状配合的联接器特别地被实现为闩锁或夹具接头。“打开元件”特别地是指适合于锁定室的开口中的至少一个的优选为可移除的盖，或与锁定操作元件分开地实施的阀板。打开元件特别地被配置为以真空密封的方式关闭锁定室的至少一个开口。打开元件例如被实施为属于锁定装置的打开元件，或者被实施为处理室或运输室的打开元件。“以真空密封的方式关闭”特别地被理解为其中泄漏率小于10^-4mbar*l/s，优选小于10^-5mbar*l/s，并且优选小于10^-6mbar*l/s的关闭。“处理室”特别地被理解为真空室，其被配置为提供用于特别是在(例如电子芯片或二极管(例如oled)的)电子部件上和/或电子部件的处理过程和/或制造过程的空气。优选地，处理室被实现为例如oled制造的蒸发室。“运输室”特别地被理解为真空运输容器，例如真空盒、foup、smif或用于运输物体、特别是半导体和/或oled、优选是用于在真空下生产半导体和/或oled的生产材料的类似容器。特别地可设想的是，锁定操作元件被配置为从座上至少在很大程度上、优选地完全地移除打开元件，特别是移除至少两个打开元件，所述座特别地真空密封地关闭锁定室的开口，特别是分配给相应的打开元件的开口，和/或锁定操作元件被配置为将至少打开元件、特别是至少两个打开元件带入座中，所述座特别地真空密封地关闭特别是相应分配的开口。可替代地或附加地，锁定操作元件可以被配置为借助于附加打开元件来关闭锁定室的另一开口，特别是锁定室的第二开口，所述附加打开元件与锁定操作元件固定地连接并且在没有破坏的情况下特别地是不可释放的。

进一步建议，锁定操作元件至少被配置为以至少半自动的方式在锁定操作元件和不同于打开元件的至少一个第二打开元件(特别是锁定打开元件和/或运输室、优选为真空运输容器的打开元件)之间产生具体地可操作地释放的压入配合和/或形状配合联接。有利地，这允许进一步增加锁定装置的灵活性。特别地，有利的是，可以通过单个锁定操作元件来切换至少两个不同的打开元件。这有利地允许降低复杂度。第二打开元件具体地实现为处理室(特别是第二处理室)的、运输室(特别是第二真空运输容器)或锁定室的开口的盖子和/或盖。有利地，例如，以这种方式可以实现在两个不同的运输室之间或在两个不同的处理室之间的物体的容易转移。

此外，提出锁定操作元件在至少一种操作状态下被配置为至少同时地、特别地可操作地释放地以压入配合和/或形状配合的方式与打开元件和第二打开元件联接。有利地，这允许进一步增加锁定装置的灵活性。具体地，有利的是，可以通过单个锁定操作元件来同时切换至少两个不同的打开元件，从而有利地降低复杂性。以这种方式，有利的是，可以通过单个锁定操作元件移除两个打开元件。例如，锁定操作元件可以被配置为首先从揭示通向处理室的路径的开口中移除打开元件，并且然后在适应处理室和锁定室中的压力之后，从揭示通向运输室的路径的开口中移除第二打开元件，使得可以有利地在运输室和处理室之间产生特别是无压力的路径。“至少同时联接”特别地被理解为锁定操作元件在至少一种操作状态下被配置为与至少两个打开元件同时联接。“配置”特别地意指专门编程、设计和/或配备。对象被配置为用于某一功能特别地被理解为对象在至少一个应用状态和/或操作状态下满足和/或实行所述某一功能。

还提出，锁定室的可通过打开元件关闭的开口和锁定室的可通过第二打开元件关闭的第二开口布置在锁定室的相对两侧上。以这种方式可有利地实现通过锁定装置简单地转移物体。具体地，第一开口和第二开口具有至少彼此大致平行取向的开口平面。“基本上平行”特别是指相对于特别是平面中的参考方向的方向的取向，其中所述方向具有相对于参考方向的特别是小于8°、有利地小于5°且特别有利地小于2°的偏差。“开口平面”特别是指由开口、特别是由开口的边缘形成的平面。优选地，开口的开口平面至少在整个开口上延伸。优选地，开口的开口平面至少基本上垂直于开口的壁延伸。优选地，开口的开口平面至少基本上垂直于直线延伸，所述直线是穿过开口的最短的通过路径。术语“基本上垂直”特别地旨在限定相对于参考方向的方向的取向，其中所述方向和特别是在平面上观察的参考方向包括90°的角度，所述角度具有特别是小于8°、有利地小于5°并且尤其有利地小于2°的最大偏差。具体优选地，开口的开口平面至少基本上平行于最小的假想矩形长方体的覆盖开口的侧表面延伸，所述侧表面仍刚好完全封闭开口，其中特别地，最小的假想矩形长方体的覆盖开口的侧表面在垂直于侧表面的观察方向上完全覆盖开口。在这种情况下，“相对”特别是指在直径上相对。可替代地，可设想的是，开口布置在锁定室的两侧面上，所述侧面可以彼此成角度地取向并且可以例如彼此垂直地取向。因此，转移的物品将必须采取穿过锁定室的成角度的或弯曲的路径。

此外提出，在垂直于开口的开口平面、特别是垂直于开口和第二开口的开口平面的观察方向上，至少开口和第二开口至少在很大程度上、优选地完全重叠。这有利地允许实现通过锁定装置简单和/或优选地直接转移物体。此外，有利地，可以使通过锁定装置的路径保持尽可能短。这有利地允许实现以特别紧凑的方式实施的锁定装置。“大范围”具体是指至少66％，优选至少75％，有利地至少85％，优选至少95％，并且特别优选至少99％。特别地可设想的是，开口具有不同的尺寸，并且仅一个开口与另一开口至少部分地、优选地至少在很大程度上重叠。特别地，重叠区域至少足够大，以使得物品、特别是基板的运输仍然优选地沿着成直线的路径可滑动地穿过锁定室。

除此之外，提出锁定操作元件至少被配置用于至少与打开元件、特别是与锁定室的至少一个锁定打开元件的磁耦合。以这种方式，可实现特别有利的联接特性。特别地，例如由于相互接合的部件的摩擦，可以将颗粒的产生以优选较低的水平保持在锁定室的内部中。有利地，可实现特别高的真空适应性。此外，有利地可实现在锁定操作元件和打开元件之间的简单、安全和/或可切换的、可操作地释放的联接。两个部件的“磁耦合”特别地被理解为部件被配置为彼此相互施加磁性吸引力，所述磁性吸引力特别大，以至于将打开元件以位置固定的方式紧固在锁定操作元件上。特别地，通过锁定操作元件施加产生磁耦合的力，优选地施加至少产生磁耦合的磁场。特别地，在锁定操作元件中至少部分地生成产生磁耦合的磁场。优选地，打开元件包括至少一个区段，所述至少一个区段被配置为与锁定操作元件的磁场相互作用。该区段例如由磁性的、特别是铁磁性的材料实现和/或包括磁体，例如永磁体或电磁体。可替代地或附加地，通过打开元件也可以施加产生磁耦合的力，优选地施加至少产生磁耦合的磁场。可替代地或附加地，可以至少部分地在打开元件中生成产生磁耦合的磁场。可替代地或附加地，锁定操作元件可以包括至少一个区段，所述至少一个区段例如由磁性的、特别是铁磁性的材料实现和/或包括磁体，并且特别地被配置为与锁定操作元件的磁场相互作用。

特别地，磁耦合是可切换的，优选地可激活的和/或可去激活的。特别地，产生磁耦合的至少一个磁场是可切换的，优选地可激活的和/或可去激活的。特别地，锁定装置和/或打开元件包括控制和/或调节单元。特别地，控制和/或调节单元至少被配置用于磁耦合和/或磁耦合的至少一个磁场的切换，优选地用于磁耦合和/或磁耦合的至少一个磁场的激活和/或去激活。可替代地，可设想的是，可借助于控制和/或调节单元切换的至少一个磁场被配置为修改、优选地覆盖产生磁耦合的磁场。特别地，可以通过这种上覆的磁场来释放磁耦合。以这种方式有利地可实现无电流的耦合。因此，此外还可以实现“故障安全功能”，所述功能可以例如防止打开元件由于暂时的电源故障而从锁定操作元件上松开并在锁定室中不受控制地移动，使得可有利地避免损坏或不必要的长时间停机。

“锁定打开元件”特别地被理解为打开元件，其被分配给锁定室并且被配置用于关闭锁定室的开口，而与锁定室与运输容器或处理室一起使用和/或锁定室集成在处理室中无关。特别地，锁定打开元件是被配置用于关闭锁定室的与处理室的开口连接的开口的打开元件。“控制和/或调节单元”特别是指具有至少一个控制电子部件的单元。“控制电子部件”特别是指具有处理器单元、存储单元以及存储在存储单元中的操作程序的单元。

另外提出，锁定操作元件至少被配置用于至少与打开元件、特别地与锁定室的至少一个锁定打开元件进行可操作地可释放的压入配合和/或形状配合机械联接。以这种方式，可实现特别有利的联接特性。特别地，有利地可实现安全和/或简单的、可操作地释放的联接器。有利地，可实现“故障安全功能”，特别是在打开元件和锁定操作元件之间的故障安全联接器。可设想的是，在锁定操作元件和打开元件之间的压入配合和/或形状配合的联接器实现至少磁联接器和机械联接器的组合。机械联接器特别地被实施为卡扣连接器、插头连接器、压紧连接器、螺纹连接器等。可替代地或附加地，可设想的是，机械联接器包括至少一个作用器，所述作用器至少被配置为以在打开元件和锁定操作元件之间产生和/或释放形状配合和/或压入配合连接的方式来移动机械联接器的至少一个保持元件。特别地，机械联接器，特别是作用器可以通过控制和/或调节单元致动，优选地可激活和/或去激活的。

此外提出锁定操作元件至少被配置用于至少与打开元件、特别是与锁定室的至少一个锁定打开元件的气动联接器。以这种方式，可实现特别有利的联接特性。此外，有利地可以使用现有的抽空装置、特别是现有的真空泵，用于在锁定操作元件和打开元件之间产生压入配合和/或形状配合联接的至少一部分，优选地除了至少对锁定室和/或处理室的内部压力的调节之外。这有利地实现复杂度的降低。特别地，为了形成气动联接器，锁定操作元件包括至少一个压力接头，所述压力接头被配置为借助于负压将打开元件抽吸到锁定操作元件。特别地，气动联接器可通过控制和/或调节单元致动，优选地可激活和/或去激活的。

如果锁定操作元件包括至少一个联接元件，所述联接元件由支撑单元沿着彼此不同的至少两个移动路径可移动地支撑，则可实现特别有利的联接过程，特别是从开口特别有利地移除打开元件和/或将打开元件特别有利地安装到开口上。特别地，例如由于两个表面的相互摩擦而造成的颗粒的产生可以被保持得尽可能低。除此之外，因此有利地可以获得尽可能小(特别是因为与联接元件和/或锁定操作元件在锁定室中的枢转相比，可以减小联接元件和/或锁定操作元件的最小限度需要的移动空间)的尺寸的锁定装置。“联接元件”具体被理解为这样的元件，其被配置为转移锁定操作元件与打开元件的压入配合联接的联接力和/或产生锁定操作元件与打开元件的形状配合联接的形状配合接头。联接元件特别地被配置为在联接状态下直接接触打开元件。特别地，联接元件被实施为使得其至少部分地集成在锁定操作元件中。移动路径特别地取向为至少彼此成角度，优选地至少基本上彼此垂直取向。特别地，联接元件的第一移动路径被配置用于将打开元件安装到开口上和/或用于将打开元件从开口移除。特别地，联接元件的第一移动路径至少基本上垂直于开口的开口平面取向。特别地，联接元件的第二移动路径被配置为将打开元件带入锁定室内的支撑位置中和/或用于将打开元件移出支撑位置。特别地，联接元件的第二移动路径至少基本上平行于开口的开口平面取向。可替代地或附加地，联接元件的移动路径中的至少一者、特别是第一移动路径可以至少基本上形成弧形。

还提出，锁定操作元件包括至少一个第二联接元件，其中联接元件和第二联接元件布置在锁定操作元件的相对两侧上。以这种方式，可以有利地实现高度的灵活性。特别地，有利地，可以通过单个锁定操作元件拾取多个打开元件。这有利地允许降低复杂度。“相对两侧”具体被理解为彼此背离的两侧。

除此之外，提出联接元件和/或第二联接元件由支撑单元支撑，以便至少相对于至少承载联接元件和/或第二联接元件的锁定操作元件的被可移动支撑的承载元件可移动。以这种方式可实现有利的联接特性，特别是因为可以使联接元件分别接近打开元件。有利地，这导致增强的灵活性，特别是因为可以以简单的方式实现与不同实施的打开元件(例如具有不同厚度的打开元件)的有利的接触联接。联接元件和第二联接元件特别地被实施为使得它们直接连接到承载元件。联接元件和第二联接元件具体地被实施为使得它们至少部分地集成在锁定操作元件中，优选地在承载元件中。联接元件和第二联接元件特别地被配置为使得它们至少部分地、优选地至少在很大程度上可从锁定操作元件中抽出，优选地从承载元件中抽出。承载元件特别地至少部分地、优选地至少在很大程度上布置在锁定室内。承载元件特别地与锁定操作元件一体地实施。特别地，承载元件与用于保持锁定操作元件的保持装置不同地实施。支撑单元特别地被配置为相对于锁定室可移动地支撑承载元件。支撑单元特别地被配置为相对于承载元件可移动地支撑联接元件。支撑单元特别地被配置为相对于承载元件可移动地支撑第二联接元件。

还提出，联接元件和/或第二联接元件可通过支撑单元至少沿着至少基本上与锁定室的开口的开口平面垂直地(特别地与锁定室的可由锁定操作元件关闭的所有开口的所有开口平面垂直)延伸的移动方向可移动。因此，有利地可实现特别轻柔地将打开元件安装到开口上和/或从开口移除打开元件，从而允许将颗粒的产生保持在特别低的水平。

此外提出，联接元件和/或第二联接元件由支撑单元至少沿着至少大致弧形移动路径可移动地支撑，特别是相对于锁定操作元件的承载元件被支撑。以这种方式，可以有利地实现特别紧凑的支撑单元。有利地，可以以特别简单的方式来实现支撑单元。特别地，联接元件和/或第二联接元件被实现为使得它们/它可通过支撑单元相对于锁定操作元件的承载元件枢转。特别地，联接元件和/或第二联接元件被配置为使得它们/它可以借助于在与打开元件联接的状态和从打开元件分离的状态之间的振荡运动来回移动。

此外提出，为了与打开元件联接，联接元件和第二联接元件在至少基本上彼此直径上相对的移动方向上是可移动的、特别是可移动地被引导(优选地是可抽出的)。以这种方式有利地可实现高度的灵活性，特别是因为可以经由单个锁定操作元件同时切换锁定室的两个相对定位的开口的打开状态。这特别地使得能够快速且容易地将物体通过锁定室转移。术语“基本上直径上”特别地旨在限定相对于参考方向的方向的取向，其中所述方向和特别是在平面上观察的参考方向包括180°的角度，并且所述角度具有特别是小于8°、有利地小于5°并且尤其有利地小于2°的最大偏差。特别地，联接元件和第二联接元件可在至少基本上彼此直径上相对的移动方向上从锁定操作元件中抽出，优选地从承载元件中抽出。

另外提出，锁定操作元件、特别是联接元件和/或第二联接元件包括至少一个磁体(特别是永磁体或电磁体)，所述磁体特别地被配置为借助于磁场至少部分地在锁定操作元件和打开元件之间产生压入配合联接。因此，有利地可实现在锁定操作元件和打开元件之间的特别简单和/或有效的联接。特别地，磁体(特别是电磁体)可以通过控制和/或调节单元切换，优选地可激活和/或去激活的。特别地，磁体(特别是永磁体)的磁场可以通过控制和/或调节单元来操纵，优选地被叠加。特别地，锁定操作元件包括等于联接元件的数量的至少多个磁体。特别地，至少一个磁体分配给每个联接元件。特别地，在每个联接元件中包括磁体，所述磁体可与联接元件一起移动。

进一步提出，锁定操作元件至少在至少基本上与锁定室的开口的开口平面(特别是与锁定室的所有开口的所有开口平面)平行地延伸的平面中通过支撑单元可移动(特别是可平移地移动)，优选地以引导的方式移动。以这种方式，有利地，可获得尽可能小尺寸的锁定装置。此外，这导致有利地实现具有低复杂度的特征的优选的简单锁定装置。

除此之外，提出在锁定操作元件的支撑位置中，锁定操作元件和以压入配合和/或形状配合的方式与锁定操作元件联接的打开元件(特别是打开元件和第二打开元件)不与开口重叠，所述开口的打开状态可通过锁定操作元件来调节。以这种方式，可实现特别有利的转移特性。特别地，这有利地允许被转移的物体通过锁定室所占据的路径被完全释放，即，路径被保持完全没有潜在的障碍物。术语“无重叠”特别地指通过锁定室的开口观察时，在特别地与开口的开口平面垂直地延伸的观察方向上，锁定操作元件和以压入配合和/或形状配合的方式与锁定操作元件联接的打开元件对观察者是不可见的和/或不覆盖开口的任何部分。

如果锁定室包括至少一个对接装置，所述对接装置至少被配置为使得能够将运输室(特别是真空运输容器)真空密封地对接到锁定室，则特别有可能实现有利的转移特性。特别地，可以有利地实现物体从运输室到处理室中的真空密封转移。对接装置特别地被配置用于运输室与锁定室的机械的、磁性的和/或气动的、优选地压入配合和/或形状配合的联接。特别地，在对接过程之后，锁定室的至少一个开口与运输室的至少一个开口和/或至少一个打开元件完全重叠。在运输室对接到对接装置上并且已移除运输室的打开元件的状态下，对接装置的泄漏率特别地小于10^-4mbar*l/s，优选小于10^-5mbar*l/s，并且优选小于10^-6mbar*l/s。

此外提出，对接装置包括至少一个固定元件，所述固定元件被配置用于相对于锁定室至少压入配合和/或形状配合地保持运输室，特别是真空运输容器。在这种情况下，有利地可实现锁定室的高度安全性和/或高真空气密性。有利地，可以避免例如在平衡运输室和锁定室中的压力之后，运输室从锁定室无意地释放。固定元件特别地被实现为机械固定元件(例如夹具或螺杆)，被实现为磁性固定元件(例如借助于永磁体或电磁体的磁耦合)，和/或被实现为气动固定元件(例如抽吸通道)。

如果锁定室包括至少一个抽空装置，则有利地实现锁定室与处理室和/或运输室之间的主动压力补偿。以这种方式，有利地可实现特别无污染的转移过程。抽空装置特别地被配置为调节锁定室的内部的压力。抽空装置具体地被配置为在锁定室的内部产生负压，优选为真空。抽空装置特别地包括至少一个压力接头，例如连接通道或连接软管，其被引导进入锁定室的内部。抽空装置特别地包括至少一个真空泵。抽空装置特别地至少部分地与处理室的真空泵系统一体地实现。控制和/或调节单元被配置用于控制抽空装置，特别是控制抽空装置的泵性能。抽空装置特别地包括至少一个压力传感器，所述压力传感器至少被配置为测量锁定室的内部中的压力。控制和/或调节单元特别地被配置为读取压力传感器，以使测量值与传感器的至少一个其他测量值平衡，以便确定运输室或处理室中的压力，并且使用比较来控制和/或调节抽空装置。可替代地，锁定室也可以在没有抽空装置的情况下实施，这意味着例如不可能调节锁定室的内部的压力。

除此之外，提出锁定系统(特别是真空锁定系统)，其具有：锁定装置(特别是真空锁定装置)，具有处理室(特别地用于在真空下执行处理步骤)，并且具有至少一个运输室(特别是真空运输容器)，优选为多个运输室(特别是多个真空运输容器)。以这种方式，可以有利地实现物体和/或生产材料从运输室(特别是真空运输容器)到处理室中的优选无污染的转移。

另外提出，锁定装置(特别是真空锁定装置)与处理室固定连接和/或至少部分地布置在处理室内。以这种方式，可以获得特别有利的转移特性。因此，特别地可实现锁定装置的特别高的气密性。此外，可实现锁定系统的高度紧凑性。术语“固定地连接”特别是指在没有破坏的情况下是不可分离的。特别地，锁定室形成处理室的组成部分。优选地，锁定室的至少一个壁同时形成处理室的壁。

此外，提出了锁定系统的运输室，特别是真空运输容器。

除此之外，提出了用于操作锁定装置(特别是真空锁定装置)和/或锁定系统(特别是真空锁定系统)的方法。以这种方式，可获得特别有利的转移特性。特别地，以这种方式有利地可实现锁定装置的高灵活性和/或锁定装置的特别高的气密性。

还提出，在用于操作锁定装置的方法的至少一系列方法步骤中，通过锁定装置将运输室的内容物从运输室带入处理室中，反之亦然，其中仅当运输室中的压力至少基本上等于锁定装置的锁定室中的压力时，运输室打开，特别地朝向锁定装置的锁定室打开。以这种方式，有利的是，可以将用于oled生产的物体和/或起始材料从运输室中带入处理室中，而不会暴露于压力差和/或气流，由此可以有利地将污染物保持在特别低的水平和/或可以沿着传送链确保用于oled生产的物体和/或起始材料的理想存储条件。两个压力特别地被理解为“基本上等效的”，两个压力的压力差小于10mbar，优选小于1mbar，优选小于10^-3mbar，并且特别优选小于10^-6mbar。

根据本发明的锁定装置、根据本发明的锁定系统和根据本发明的方法在本文中将不限于上述应用和实施方式。特别地，为了实现在此描述的功能，根据本发明的锁定装置、根据本发明的锁定系统和根据本发明的方法可以包括与在此给出的多个元件、部件和单元不同的多个单独的元件、部件和单元。

附图说明

其他优点将从附图的以下描述中显而易见。在附图中，示出了本发明的三个示例性实施例。附图、描述和权利要求书含有多个组合特征。本领域的技术人员将有目的地还单独考虑特征且将找出其它有利组合。

示出：

图1是具有锁定装置和处于未对接状态的运输室的锁定系统的示意性剖视图，

图2是具有处于对接状态的运输室并具有关闭的锁定装置的锁定系统的示意性剖视图，

图3是具有处于对接状态的运输室并具有打开的锁定装置的锁定系统的示意性剖视图，

图4是用于操作锁定装置的方法的流程图，

图5是具有替代锁定装置的替代锁定系统，并且

图6是具有第二替代锁定装置的第二替代锁定系统。

具体实施方式

图1示出了锁定系统66。锁定系统66被实现为真空锁定系统。锁定系统66包括锁定装置68。锁定装置68被实现为真空锁定装置。锁定系统66包括处理室26。处理室26被配置用于在真空下对物体执行处理步骤。锁定系统66包括运输室28。运输室28被实施为真空运输容器。运输室28被配置用于在真空下运输物品70。锁定系统66被配置为在运输室28和处理室26之间来回运输物品70。运输室26包括打开元件22。运输室28的打开元件22被配置用于以真空密封的方式关闭运输室28的内部80。打开元件22被配置用于真空密封地关闭运输室28的可与锁定室10联接的至少一个开口88和/或锁定室10的至少一个开口16。锁定系统66包括锁定室10。锁定室10与处理室26固定连接。锁定室10可真空密封地关闭。锁定室10以真空密封的方式与处理室26连接。锁定室10以硬密封的方式与处理室26连接。锁定装置68包括锁定室10。锁定装置68与处理室26固定连接。

锁定室10包括开口14。开口14实现第一开口。锁定室10的开口14被配置为在锁定室10的内部74和处理室26的内部76之间产生连接。为了真空密封地关闭，可以通过打开元件20关闭锁定室10的开口14。打开元件20被实施为锁定室10的锁定打开元件。锁定打开元件被配置用于真空密封地关闭至少锁定室10的开口14和/或处理腔26的与锁定室10固定连接的至少一个开口24。锁定室10包括密封元件78。锁定室10的密封元件78被配置为确保打开元件20，特别是锁定打开元件的真空密封性。锁定室10的密封元件78被实施为o形环。锁定室10以真空密封的方式与运输室26可连接。锁定室10包括第二开口16。锁定室10的第二开口16被配置为在锁定室10的内部74和运输室28的内部80之间产生连接。

锁定室10包括对接装置60。对接装置60被配置为能够实现运输室28到锁定室10的真空密封对接。锁定室10被配置用于与多个运输室28真空密封联接，所述运输室具体地以不同的方式实现。对接装置60包括至少一个固定元件62。固定元件62被配置用于相对于锁定室10至少压入配合和/或形状配合地保持运输室28。固定元件62被实现为夹紧元件。可替代地，固定元件62可以被实现为螺杆元件、磁体元件、气动抽吸装置等。运输室28包括密封元件72。运输室28的密封元件72被实施为o形环。运输室28的密封元件72被配置为确保对接的运输室28相对于围绕锁定系统66的大气的真空气密性。

在锁定装置68的操作状态下(其中运输室28对接到锁定室10)，第二打开元件22关闭锁定室10的第二开口16。可通过打开元件20关闭的锁定室10的开口14和可通过第二打开元件22关闭的锁定室10的第二开口16布置在锁定室10的相对侧84、86上。锁定室10的第一开口14布置在锁定室10的面向处理室26的侧面84上。锁定室10的第二开口16布置在锁定室10的背离处理室26的侧面86上。在垂直于开口14的开口平面50的观察方向上，锁定室10的开口14和锁定室10的相对定位的开口16完全重叠。

运输室28包括附加的密封元件82。运输室28的附加密封元件82被实施为o形环。运输室28的附加密封元件82被配置为确保关闭的运输室28相对于围绕运输室28的大气的真空气密性。可替代地，密封元件72、78、82也可以被实施为不同于o形环的任何类型的密封件。

锁定装置68包括抽空装置64。抽空装置64被配置用于至少在锁定室10中调节内部压力，优选地降低内部压力。抽空装置64包括压力接头32。压力接头32被实现为穿过锁定室10的壁的孔。抽空装置64包括真空泵34。真空泵34和压力接头32通过压力导管90连接。压力导管90包括阀92。阀92被配置用于调节锁定室10中的压力，特别是增大锁定室10中的压力。锁定装置68包括控制和/或调节单元30。控制和/或调节单元30至少被配置用于调节锁定室10中的内部压力。控制和/或调节单元30被配置用于控制阀92。控制和/或调节单元30被配置用于控制真空泵34。抽空装置64包括压力传感器100。压力传感器100被配置用于确定锁定室10的内部74中的内部压力。

锁定装置68包括锁定操作元件12。锁定操作元件12被实施为一种滑块。锁定操作元件12被配置为调节锁定室10的开口14、16中的至少一者的打开状态。锁定操作元件12被配置为调节锁定室10的至少两个开口14、16的打开状态。锁定操作元件12被可移动地支撑。锁定装置68包括支撑单元18。支撑单元18被配置为可移动地支撑至少锁定操作元件12。锁定操作元件12至少被配置为以至少半自动的方式在锁定操作元件12和至少一个打开元件20之间建立可操作地释放的压入配合和/或形状配合的联接。锁定操作元件12的情况在锁定室10内是可移动的。锁定操作元件12可借助于支撑单元18平移地移位。锁定操作元件12可通过支撑单元18在与锁定室10的开口14的开口平面50平行地延伸的平面中移动。控制和/或调节单元30被配置用于至少半自动地控制锁定操作元件12的运动。

锁定操作元件12至少被配置为以至少半自动的方式在锁定操作元件12和与打开元件20不同的至少第二打开元件22之间建立压入配合和/或形状配合的联接。锁定操作元件12被配置为在至少一种操作状态下以压入配合和/或形状配合的方式与两个打开元件20、22同时联接。锁定操作元件12被配置为在至少一种操作状态下以压入配合和/或形状配合的方式与打开元件20和与打开元件20不同的第二打开元件22同时联接。

锁定操作元件12被配置用于与打开元件20、22磁耦合。锁定操作元件12包括磁体56、94。磁体56、94被配置为借助于磁场至少部分地在锁定操作元件12与打开元件20、22之间建立压入配合联接。磁体56、94被实施为电磁体。打开元件20、22至少部分地由铁磁材料，例如铁实现。控制和/或调节单元30被配置用于控制电磁体的磁场。打开元件20、22被磁体56、94吸引。由于磁性吸引力，打开元件20、22粘附到锁定操作元件12上。可替代地或附加地，磁体56、94被实施为永磁体。在这种情况下，锁定操作元件12包括至少一个电磁体，用于产生反磁场。反磁场被配置为至少暂时地消除锁定操作元件12的永磁体对打开元件20、22的吸引力冲击。

锁定操作元件12被配置用于与打开元件20、22进行可操作地释放的压入配合和/或形状配合的机械联接。锁定操作元件12包括闩锁机构(未示出)。闩锁机构被实施为使得其可操作地释放。

锁定操作元件12包括联接元件36。锁定操作元件12包括承载元件48。承载元件48承载联接元件36。承载元件48与锁定操作元件12一体地实施。联接元件36布置在承载元件48的侧面46上，所述侧面46在至少一种操作状态下面向锁定室10的开口14。承载元件48被实施为使得其可通过支撑单元18移动。承载元件48可在与锁定室10的开口14的开口平面50平行地延伸的平面中移动。联接元件36由支撑单元18支撑，使得其可沿着彼此不同的两个移动路径38、40运动。联接元件36可以与锁定操作元件12一起沿着第一移动路径38在与锁定室10的开口14的开口平面50平行地延伸的平面中移动。第一移动路径38成直线地延伸。此外，联接元件36由支撑单元18支撑，使得其可相对于可移动地支撑的承载元件48移动。联接元件36通过支撑单元18可沿着第二移动路径40在两个相反的移动方向52、54上移动。第二移动路径40垂直于锁定室10的开口14的开口平面50延伸。第二移动路径40成直线地延伸。第一移动路径38和第二移动路径40垂直相交。联接元件36被实施为使得其可从承载元件48中抽出。联接元件36被实施为使得其可以部分地缩回到载体元件48中。

联接元件36被配置为与打开元件20进行压入配合和/或形状配合联接。联接元件36被配置为通过接近打开元件20而在锁定操作元件12和打开元件20之间建立压入配合和/或形状配合联接。联接元件36被配置为拾取打开元件20。联接元件36形成第一联接元件。联接元件36包括磁体56。磁体56与联接元件36一起移动。磁体56被实施为使得其集成在联接元件36中。

锁定操作元件12包括至少一个第二联接元件42。承载元件48承载第二联接元件42。第二联接元件42基本上与联接元件36相同地实施。联接元件36和第二联接元件42布置在锁定操作元件12的相对侧44、46上。第二联接元件42布置在承载元件48的侧面44上，所述侧面44在至少一种操作状态下背离锁定室10的开口14。第二联接元件42由支撑单元18支撑，使得其可沿着彼此不同的两个移动路径38、40运动。第二联接元件42可以与锁定操作元件12一起沿着第一移动路径38在与锁定室10的开口14的开口平面50平行地延伸的平面中移动。此外，第二联接元件42由支撑单元18支撑，使得其可相对于可移动地支撑的承载元件48移动。第二联接元件42由支撑单元18支撑以便可沿着第二移动路径40在两个相反的移动方向52、54上移动。第二联接元件42被实施为使得其可从承载元件48中抽出。第二联接元件42被实施为可部分地缩回到承载元件48中。

第二联接元件42被配置为与不同于打开元件20的第二打开元件22的进行压入配合和/或形状配合联接。第二联接元件42被配置为通过接近第二打开元件22来促使在锁定操作元件12和第二打开元件22之间的压入配合和/或形状配合联接。第二联接元件42被配置为拾取第二打开元件22。为了与打开元件20、22联接，联接元件36和第二联接元件42可在彼此直径上相对的移动方向52、54上移动。联接元件36和第二联接元件42可在直径上相对的移动方向52、54上从锁定操作元件12的承载元件48中抽出(也参见图2)。第二联接元件42包括第二磁体94。第二磁体94与第二联接元件42一起移动。第二磁体94被实施为使得其集成在第二联接元件42中。磁体56和第二磁体94可在彼此直径上相对的移动方向52、54上移动。磁体56和第二磁体94可在直径上相对的移动方向52、54上至少部分地从锁定操作元件12的承载元件48中抽出。为了将联接元件36、42与打开元件20、22进行压入配合联接，将磁体56、94分别带到打开元件20、22的附近并被激活。在磁耦合中，在联接元件36、42的磁体56、94与打开元件20、22的铁磁部件之间产生磁吸引力。

锁定操作元件12被配置用于打开和关闭锁定装置68。在图3中，锁定装置68被示出为处于打开状态。在打开状态下，能够在处理室26和运输室28之间通过锁定室10转移，即运输物品70。锁定操作元件12被配置为将打开元件20、22带入支撑位置58，以便能够通过锁定装置68转移物品70。在图3所示的图示中，锁定操作元件12位于支撑位置58中。锁定操作元件12和以压入配合和/或形状配合的方式与锁定操作元件12联接的打开元件20、22位于锁定操作元件12的支撑位置58中而与开口14、16、24、88没有重叠，所述开口的打开状态可通过锁定操作元件12调节(见图3)。

图4示出了用于操作锁定装置68的方法的流程图。在至少一个方法步骤96中，运输室28朝向锁定室10移动。在方法步骤96中，以真空密封的方式关闭锁定室10的开口14。在方法步骤96中，锁定室10的第二开口16没有关闭。在至少一个其他方法步骤98中，运输室28借助于对接装置60对接到锁定室10。在方法步骤98中，锁定室10的第二开口16被运输室28、特别是被第二打开元件22真空密封地关闭。在至少一个其他方法步骤102中，借助于抽空装置64使锁定室10的内部74中的内部压力与处理室26的内部76中的内部压力相等。在至少一个其他方法步骤104中，将锁定操作元件12定位在打开元件20附近。在至少一个其他方法步骤106中，联接元件36借助于支撑单元18从锁定操作元件12的承载元件48中抽出，使得其接触打开元件20。在至少一个其他方法步骤108中，激活联接元件36的磁体56，使得打开元件36被联接元件36磁性地吸引。在至少一个其他方法步骤110中，与打开元件20联接的联接元件36缩回到锁定操作元件12的承载元件48中。在方法步骤110中，将打开元件20从锁定室10的开口14中移除。在方法步骤110中，锁定室10朝向处理室26打开。在至少一个其他方法步骤112中，锁定室10的内部74中和运输室28的内部80中的内部压力适应于处理室26的内部76中的内部压力。可替代地，在至少一个其他方法步骤112中，锁定室10的内部74中和处理室26的内部76中的内部压力适应于运输室28的内部80中的内部压力。在至少一个其他方法步骤114中，第二联接元件42通过支撑单元18从锁定操作元件12的承载元件48中抽出，使得其接触第二打开元件22。在至少一个其他方法步骤116中，激活第二联接元件42的第二磁体94，使得第二打开元件22被第二联接元件42磁性地吸引。在至少一个其他方法步骤118中，与第二打开元件22联接的第二联接元件42缩回到锁定操作元件12的承载元件48中。在方法步骤118中，将第二打开元件22从锁定室10的第二开口16中移除。在方法步骤118中，锁定室10朝向运输室28打开。在至少一个其他方法步骤120中，将锁定操作元件12和与锁定操作元件12联接的打开元件20、22带入支撑位置58。在方法步骤118中，在完全压力平衡的真空环境中，释放路径以用于将物品70从运输室28转移到处理室26中或反之亦然。在至少一个其他方法步骤120中，物品70被运输通过锁定室10。为了随后关闭锁定系统66，以相反的顺序贯穿上述方法步骤96、98、102-120。

总而言之，在所描述的方法步骤96、98、102-120的顺序中，借助于锁定装置68将运输室28的内容物带入处理室26中，反之亦然，其中仅当运输室28中的内部压力至少基本上等于锁定室10中的内部压力时，运输室28是打开的。

在图5和图6中，示出了本发明的两个另外的示例性实施例。以下描述和图式基本上限于示例性实施例之间的差异，其中，关于相同命名的部件，特别是关于具有相同附图标记的部件，基本上也可以参考附图和/或其他示例性实施例的描述，特别是图1至图4的描述。为了在示例性实施例之间进行区分，在图1至图4的示例性实施例的附图标记中未添加字母。在图5和图6的示例性实施例中，字母a或字母b已被添加到附图标记。

图5示出了具有替代锁定装置68a的替代锁定系统66a。替代锁定系统66a包括处理室26a、运输室28a和锁定室10a。锁定室10a至少部分地布置在处理室26a内。

图6示出了具有第二替代锁定装置68b的第二替代锁定系统66b的剖视图。锁定装置68b包括锁定室10b。锁定装置68b包括锁定操作元件12b。锁定操作元件12b包括联接元件36b。锁定操作元件12b包括另一联接元件42b。锁定操作元件12b包括承载元件48b。联接元件36b由支撑单元18b支撑，以便可相对于可移动地支撑的承载元件48b移动。联接元件36b通过支撑单元18b可沿着第二移动路径40.1b在两个相反的移动方向52b、54b上移动。第二联接元件42b通过支撑单元18b可沿着另一第二移动路径40.2b在两个相反的移动方向52b、54b上移动。第二移动路径40.1b、40.2b至少基本上呈弧形延伸。第二移动路径40.1b、40.2b形成具有大致四分之一圆的形状的圆弧。第一联接元件36b和第二联接元件42b被实现为使得它们相对于承载元件48b可枢转和/或折叠。

附图标记

10锁定室

12锁定操作元件

14开口

16开口

18支撑单元

20打开元件

22打开元件

24开口

26处理室

28运输室

30控制和/或调节单元

32压力接头

34真空泵

36联接元件

38移动路径

40移动路径

42第二联接元件

44侧面

46侧面

48承载元件

50开口平面

52移动方向

54移动方向

56磁体

58支撑位置

60对接装置

62固定元件

64抽空装置

66锁定系统

68锁定装置

70物品

72密封元件

74内部

76内部

78密封元件

80内部

82密封元件

84侧面

86侧面

88开口

90压力导管

92阀

94磁体

96方法步骤

98方法步骤

100压力传感器

102方法步骤

104方法步骤

106方法步骤

108方法步骤

110方法步骤

112方法步骤

114方法步骤

116方法步骤

118方法步骤

120方法步骤。