1.一种均压槽复合节流气体静压导轨，包括气体静压导轨的气浮滑块和基座，其特征在于：所述气浮滑块的工作面与基座的工作面互相平行，气浮滑块的工作面与基座的工作面之间保持一定的距离，这个距离为气膜的厚度；所述气浮滑块上均匀开设有若干个双排节流孔，节流孔的上端与气浮滑块内部的供气管路连通，所述供气管路与外部加压气源连通；在气浮滑块的工作面上开设有若干个彼此联通的均压槽，节流孔的下端与均压槽连通，均压槽起着二次均压及节流的作用。
2.根据权利要求1所述的一种均压槽复合节流气体静压导轨，其特征在于：所述基座的工作面为光滑的平面；所述气膜的厚度为10-40μm。
3.根据权利要求1所述的一种均压槽复合节流气体静压导轨，其特征在于：所述节流孔的直径小于1mm；所述节流孔的个数为8、10或12。
4.根据权利要求1所述的一种均压槽复合节流气体静压导轨，其特征在于：所述均压槽的形状可以为直线形、x形、双半圆形；所述均压槽以节流孔为端点，互相连通；所述均压槽的深度为0.05-1mm，宽度为0.05-2mm；所述均压槽的截面形状可以为半圆形、矩形、v形、梯形中的一种。
5.一种如权利要求1至权利要求4所述的均压槽在气体静压导轨中实现二次均压及节流的用途。
6.一种均压槽复合节流气体静压导轨的气模刚度分析方法，其特征在于包括如下步骤：
在气体静压导轨气浮滑块的工作面上均匀设置有10个直径小于1mm的矩形均压槽节流孔，在节流孔的下端设置有深度为0.05-1mm，宽度为0.05-2mm的双半圆形均压槽，双半圆形均压槽以节流孔为端点互相联通；
对气体静压导轨模型的流体部分进行分析，得到气体静压导轨的刚度和承载力：
以气膜厚度为15μm为例对现有的模型进行计算；设置模型的入口和出口分别为压力入口和压力出口，其余面为壁面。其中，入口气体压力设置为0.5mpa，出口压力为0mpa，其他参数为默认值，采用k-ε湍流模型进行计算，k-ε湍流模型的标准方程为：
其中，ρ为气体密度；k为湍动能；ui为时均速度；μ为气体的粘度；μt为湍动粘度；σk和σε分别是湍动能k的耗散率ε对应的prandtl数；gk是由于平均速度梯度引起的湍动能k的产生项；gb是由于浮力引起的湍动能k的产生项；ε为耗散率；ym代表可压湍流中脉动扩张的贡献；c1ε、c2ε、c3ε为经验常数；sk和sε是用户定义的源项；
气膜的压力分布由下式得到：
根据流体润滑理论，轴承气膜间隙的流体流动应该与各个节流孔出口处的流体流动平衡，并满足流量平衡方程：
qin＝qout(3)
以10个节流孔为例，通过节流孔进入气膜间隙的流量qin通过计算方程(4)得到：
从气膜边缘流出的气体质量流量为：
其中，a是节流孔的横截面积；c0为喷嘴的流量系数；ψ为喷嘴的流速系数；ps为供气压力；k为传热系数；pd为节流孔的出口压力；p为止推面上的压力。b为对应气膜的宽度；l为对应气膜的长度；ρa是外部环境中气体的密度；
所以承载力w的计算公式如下：
w＝∫spds(7)
其中，s为气膜的面积；
轴承受到外载荷作用时，气膜的厚度会产生变化，假定气膜厚度的变化量为e,则气膜刚度k的计算公式为:
其中，δw为承载力的变化量；δe为气膜厚度的变化量。