超微压减压阀的制作方法

本实用新型涉及减压阀技术领域，具体而言，涉及一种超微压减压阀。

背景技术：

目前，在相关技术中，减压阀被用于电子、半导体石油化工、生物制药、实验室等气体液体管路。可用于控制氮气、空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质，在管道上主要起稳压作用。

由于现有背压值偏大，在超微压力要求很低场合无法调节，特别是在小口径，特定超低压领域的压力范围，国内尚属空白，需要有灵敏度高可以精确调节特定压力下的超低压减压阀，因此发明一种超微压减压阀就是十分必要的了。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种超微压减压阀。

有鉴于此，本实用新型提供了一种超微压减压阀，超微压减压阀包括：膜盖、膜片组件、第一盖体、第一弹簧、调节组件、第一阀体、阀芯组件、阀座、第二盖体、第二阀体、活塞组件、第二弹簧和导管；膜盖包括第一膜盖和第二膜盖，且膜盖为两端具有开口的中空腔体；膜片组件固定在第一膜盖和第二膜盖之间，且膜片组件与第二膜盖围设成气室；第一盖体为两端具有开口的中空腔体，且第一盖体的一端与第一膜盖相连接；第一弹簧嵌入第一盖体内，且第一弹簧的一端与膜片组件相贴合；调节组件的一端嵌入第一盖体内，且调节组件的一端与第一弹簧的另一端相贴合；第一阀体上设置有导入口和导出口，第一阀体与第二膜盖相连接，且导入口和导出口均与气室相连通；阀芯组件嵌入导入口内；阀座套设在阀芯组件的外侧，且阀座的外壁与第一阀体相贴合；第二盖体为两端具有开口的中空腔体，且第二盖体的一端与导入口相连通；第二阀体包括进气口和排气口，第二阀体与第二盖体的另一端相连接；活塞组件设置有进气孔，活塞组件嵌入第二盖体内，且活塞组件的下表面与第二阀体相贴合；第二弹簧嵌入第二盖体内，且第二弹簧与活塞组件的上表面相贴合；导管的一端与排气口相连通，且导管的另一端与导出口相连通。

具体的，膜盖、膜片组件、第一盖体、第一弹簧和调节组件组成微压先导阀。

在该技术方案中，首先，通过将膜片组件固定在第一膜盖和第二膜盖之间，且膜片组件与第二膜盖围设成气室，以确保气室的密闭性；其次，通过使调节组件的一端嵌入第一盖体内，且调节组件的一端与第一弹簧的另一端相贴合，以通过旋转调节组件来压缩弹簧，进而控制弹簧弹性变形的量，从而调节膜片组件受到的压力，即先导压力；再次，通过在第一阀体上设置有导入口和导出口，第一阀体与第二膜盖相连接，导入口和导出口均与气室相连通，并使阀芯组件嵌入导入口内，当阀芯组件与阀座不接触时，流体就可以从导入口进入气室后，再从导出口流出；再次，通过将第二盖体的一端与导入口相连通，并将第二阀体与第二盖体的另一端相连接，使活塞组件嵌入第二盖体内，且活塞组件的下表面与第二阀体相贴合，以使从进气口进入的流体，经过进气孔进入第二盖体内后，从导入口流入第一阀体中；再次，通过使第二弹簧嵌入第二盖体内，且第二弹簧与活塞组件的上表面相贴合，当活塞组件上方流体压力减小时，下方气体就会给活塞组件一个向上的推力，使活塞组件与第二阀体脱离，第二阀体打开，流体从排气口排出，流入导管；再次，通过使导管的一端与排气口相连通，且导管的另一端与导出口相连通，以使从排气口排出的流体经导管流入第一阀体内。采用此种连接方式，结构简单，常态时，微压先导阀关闭，流体从进气口进入第二阀体后，从活塞组件的进气孔进入第一阀体，由于微压先导阀关闭活塞组件上方的流体无法流出。需要打开微压先导阀时，先旋拧调节组件，调节组件压缩第一弹簧，第一弹簧产生弹性变形，将膜片组件下压膜片组件，膜片组件向下运动后顶开阀芯组件，微压先导阀打开，活塞组件上方的流体，经过导入口进入气室后，从导出口经导管排出；这时活塞组件上方压力减小，活塞组件受其下方流体的压力而向上运动，活塞组件与第二阀体脱离，即主阀打开，流体通过主阀从排出口排出。当活塞组件下方流体的压力达到一定数值时，流体充满气室，微压先导阀的膜片组件被抬起，与阀芯组件脱离，微压先导阀关闭；由于流体不断从活塞组件中间的进气孔流到活塞组件上方，活塞组件上方流体压力增大，所以活塞组件在流体压力作用下向下运动，活塞组件与第二阀体接触，流体无法从排气口排出，主阀关闭。由于微压先导阀的流通能力远大于活塞组件中间进气孔的流通能力，所以本产品通过微压先导阀的打开和关闭来控制主阀的开启和关闭，从而实现范围内压力调节的技术效果。

具体的，本产品可以通过更换不同尺寸的微压先导阀膜片组件和膜盖来达到不同范围内的压力调节。

具体的，压力调节范围可达到200-600pa、600-1500pa和1000-3000pa。

具体的，第一弹簧采用低刚度加长弹簧。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的超微压减压阀还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，超微压减压阀还包括：第三盖体和密封垫；第三盖体与第二阀体相连接；密封垫嵌入第二阀体内，且密封垫与第三盖体相贴合。

在该技术方案中，通过将第三盖体与第二阀体相连接，并使密封垫嵌入第二阀体内，且密封垫与第三盖体相贴合，以阻挡介质流出，确保产品的精确度。

在上述技术方案中，优选地，膜片组件还包括：膜片本体和压片；膜片本体固定在第一膜盖和第二膜盖之间，且至少部分膜片本体同时与第一膜盖和第二膜盖相贴合；压片与膜片本体相连接，且压片与第一弹簧的一端相贴合。

在该技术方案中，通过将压片与膜片本体相连接，且压片与第一弹簧的一端相贴合，以增大膜片本体的受力面积，从而避免膜片本体受力集中，导致膜片本体损坏的问题产生，提升产品使用年限。

在上述技术方案中，优选地，阀芯组件还包括：阀芯本体、垫片、垫圈和复位弹簧；阀芯本体包括接触部，阀芯本体的一端嵌入第一阀体内；垫片套设在阀芯本体一端的外侧，且垫片与第一阀体相贴合；垫圈与阀座相连接，且垫圈与接触部相贴合；复位弹簧套设在阀芯本体的外侧，复位弹簧的一端与阀芯本体的接触部相贴合，且复位弹簧的另一端与垫片相贴合。

在该技术方案中，通过将垫片套设在阀芯本体一端的外侧，且垫片与第一阀体相贴合，以实现对阀芯本体的支撑作用，以提高阀芯本体的稳定性，避免阀芯本体受力而倾斜；通过将垫圈与阀座相连接，且垫圈与接触部相贴合，以实现当微压先导阀关闭时，没有流体可以从导出口排出，提高产品的密闭性；通过将复位弹簧套设在阀芯本体的外侧，复位弹簧的一端与阀芯本体的接触部相贴合，且复位弹簧的另一端与垫片相贴合，以实现当膜片组件被抬起时，复位弹簧回复弹性变形，使接触部向阀座方向运动，接触部与垫圈接触后，以实现微压先导阀的自动关闭功能。

具体的，接触部外壁与阀芯本体的轴线呈预定角度，以使接触部与垫圈接触更紧密，以进一步微压先导阀的密闭性。

在上述技术方案中，优选地，活塞组件还包括：活塞本体、第一密封圈、空心锁母和第二密封圈；活塞本体设置有第一通孔，活塞本体周向设置有环形槽，且活塞本体嵌入第二阀盖内；第一密封圈嵌入环形槽内，且第一密封圈与第二盖体的内壁相贴合；空心锁母设有第二通孔，第二通孔与第一通孔相连通，且空心锁母与活塞本体相连接；第二密封圈嵌入活塞本体内，且第二密封圈与空心锁母相贴合。

在该技术方案中，通过在活塞本体周向设置有环形槽，且活塞本体嵌入第二阀盖内，第一密封圈嵌入环形槽内，且第一密封圈与第二盖体的内壁相贴合，以使流体只能从第一通孔流入活塞本体上方；通过使第二通孔与第一通孔相连通，并使空心锁母与活塞本体相连接，且第二密封圈嵌入活塞本体内，第二密封圈与空心锁母相贴合，以通过空心锁母将第二密封圈固定在活塞本体上，以提高活塞本体与第二阀体间的密闭性，以实现当主阀关闭时，流体只能从第二通孔经过第一通孔流入活塞本体上方，避免流体从排气口流出，确保主阀的密闭性。

具体的，空心锁母与活塞本体通过螺纹连接。

在上述技术方案中，优选地，调节组件还包括：调节杆和调节板；调节杆的一端嵌入第一盖体内，且调节杆的一端与第一弹簧的另一端相贴合；调节板与调节杆的一端相连接，且调节板与第一弹簧的另一端相贴合。

在该技术方案中，通过将调节杆的一端嵌入第一盖体内，且调节杆的一端与第一弹簧的另一端相贴合，并使调节板与调节杆的一端相连接，且调节板与第一弹簧的另一端相贴合，以增大调节杆与第一弹簧的接触面接，以使调节杆对第一弹簧所施加的压力更均匀，进而膜片组件受力更均匀，确保微压先导阀的精准度，从而实现精准调控流体压力的技术效果。

在上述技术方案中，优选地，超微压减压阀还包括：调节手轮；调节手轮套设在调节杆另一端的外侧，且调节手轮与调节杆相连接。

在该技术方案中，通过将调节手轮套设在调节杆另一端的外侧，且调节手轮与调节杆相连接，以便于旋拧调节组件，降低操作难度，以使微压先导阀的调节更及时，从而使主阀开启也更及时。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的超微压减压阀的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型超微压减压阀的结构示意图的a处放大图；

图3示出了根据本实用新型超微压减压阀的结构示意图的b处放大图；

其中，图1至图3中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10膜盖，101第一膜盖，102第二膜盖，11膜片组件，111膜片本体，112压片，12第一盖体，13第一弹簧，14调节组件，141调节杆，142调节板，15第一阀体，16阀芯组件，161阀芯本体，162接触部，163垫片，164垫圈，165复位弹簧，17阀座，18第二盖体，19第二阀体，20活塞组件，201活塞本体，202第一通孔，203第一密封圈，204空心锁母，205第二通孔，206第二密封圈，21第二弹簧，22导管，23第三盖体，24密封垫，25调节手轮，26导入口，27导出口，28进气口，29排气口。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图3描述根据本实用新型一些实施例所述超微压减压阀。

在本实用新型的实施例中，如图1至图3所示，本实用新型提供了一种超微压减压阀，超微压减压阀包括：膜盖10、膜片组件11、第一盖体12、第一弹簧13、调节组件14、第一阀体15、阀芯组件16、阀座17、第二盖体18、第二阀体19、活塞组件20、第二弹簧21和导管22；膜盖10包括第一膜盖101和第二膜盖102，且膜盖10为两端具有开口的中空腔体；膜片组件11固定在第一膜盖101和第二膜盖102之间，且膜片组件11与第二膜盖102围设成气室；第一盖体12为两端具有开口的中空腔体，且第一盖体12的一端与第一膜盖101相连接；第一弹簧13嵌入第一盖体12内，且第一弹簧13的一端与膜片组件11相贴合；调节组件14的一端嵌入第一盖体12内，且调节组件14的一端与第一弹簧13的另一端相贴合；第一阀体15上设置有导入口26和导出口27，第一阀体15与第二膜盖102相连接，且导入口26和导出口27均与气室相连通；阀芯组件16嵌入导入口26内；阀座17套设在阀芯组件16的外侧，且阀座17的外壁与第一阀体15相贴合；第二盖体18为两端具有开口的中空腔体，且第二盖体18的一端与导入口26相连通；第二阀体19包括进气口28和排气口19，第二阀体19与第二盖体18的另一端相连接；活塞组件20设置有进气孔，活塞组件20嵌入第二盖体18内，且活塞组件20的下表面与第二阀体19相贴合；第二弹簧21嵌入第二盖体18内，且第二弹簧21与活塞组件20的上表面相贴合；导管22的一端与排气口19相连通，且导管22的另一端与导出口27相连通。

具体的，膜盖10、膜片组件11、第一盖体12、第一弹簧13和调节组件14组成微压先导阀。

在该实施例中，首先，通过将膜片组件11固定在第一膜盖101和第二膜盖102之间，且膜片组件11与第二膜盖102围设成气室，以确保气室的密闭性；其次，通过使调节组件14的一端嵌入第一盖体12内，且调节组件14的一端与第一弹簧13的另一端相贴合，以通过旋转调节组件14来压缩弹簧，进而控制弹簧弹性变形的量，从而调节膜片组件11受到的压力，即先导压力；再次，通过在第一阀体15上设置有导入口26和导出口27，第一阀体15与第二膜盖102相连接，导入口26和导出口27均与气室相连通，并使阀芯组件16嵌入导入口26内，当阀芯组件16与阀座17不接触时，流体就可以从导入口26进入气室后，再从导出口27流出；再次，通过将第二盖体18的一端与导入口26相连通，并将第二阀体19与第二盖体18的另一端相连接，使活塞组件20嵌入第二盖体18内，且活塞组件20的下表面与第二阀体19相贴合，以使从进气口28进入的流体，经过进气孔进入第二盖体18内后，从导入口26流入第一阀体15中；再次，通过使第二弹簧21嵌入第二盖体18内，且第二弹簧21与活塞组件20的上表面相贴合，当活塞组件20上方流体压力减小时，下方气体就会给活塞组件20一个向上的推力，使活塞组件20与第二阀体19脱离，第二阀体19打开，流体从排气口19排出，流入导管22；再次，通过使导管22的一端与排气口19相连通，且导管22的另一端与导出口27相连通，以使从排气口19排出的流体经导管22流入第一阀体15内。采用此种连接方式，结构简单，常态时，微压先导阀关闭，流体从进气口28进入第二阀体19后，从活塞组件20的进气孔进入第一阀体15，由于微压先导阀关闭活塞组件20上方的流体无法流出。需要打开微压先导阀时，先旋拧调节组件14，调节组件14压缩第一弹簧13，第一弹簧13产生弹性变形，将膜片组件11下压膜片组件11，膜片组件11向下运动后顶开阀芯组件16，微压先导阀打开，活塞组件20上方的流体，经过导入口26进入气室后，从导出口27经导管22排出；这时活塞组件20上方压力减小，活塞组件20受其下方流体的压力而向上运动，活塞组件20与第二阀体19脱离，即主阀打开，流体通过主阀从排出口排出。当活塞组件20下方流体的压力达到一定数值时，流体充满气室，微压先导阀的膜片组件11被抬起，与阀芯组件16脱离，微压先导阀关闭；由于流体不断从活塞组件20中间的进气孔流到活塞组件20上方，活塞组件20上方流体压力增大，所以活塞组件20在流体压力作用下向下运动，活塞组件20与第二阀体19接触，流体无法从排气口19排出，主阀关闭。由于微压先导阀的流通能力远大于活塞组件20中间进气孔的流通能力，所以本产品通过微压先导阀的打开和关闭来控制主阀的开启和关闭，从而实现范围内压力调节的技术效果。

具体的，本产品可以通过更换不同尺寸的微压先导阀膜片组件11和膜盖10来达到不同范围内的压力调节。

具体的，压力调节范围可达到200-600pa、600-1500pa和1000-3000pa。

具体的，第一弹簧13采用低刚度加长弹簧。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，超微压减压阀还包括：第三盖体23和密封垫24；第三盖体23与第二阀体19相连接；密封垫24嵌入第二阀体19内，且密封垫24与第三盖体23相贴合。

在该实施例中，通过将第三盖体23与第二阀体19相连接，并使密封垫24嵌入第二阀体19内，且密封垫24与第三盖体23相贴合，以阻挡介质流出，确保产品的精确度。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，膜片组件11还包括：膜片本体111和压片112；膜片本体111固定在第一膜盖101和第二膜盖102之间，且至少部分膜片本体111同时与第一膜盖101和第二膜盖102相贴合；压片112与膜片本体111相连接，且压片112与第一弹簧13的一端相贴合。

在该实施例中，通过将压片112与膜片本体111相连接，且压片112与第一弹簧13的一端相贴合，以增大膜片本体111的受力面积，从而避免膜片本体111受力集中，导致膜片本体111损坏的问题产生，提升产品使用年限。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，阀芯组件16还包括：阀芯本体161、垫片163、垫圈164和复位弹簧165；阀芯本体161包括接触部162，阀芯本体161的一端嵌入第一阀体15内；垫片163套设在阀芯本体161一端的外侧，且垫片163与第一阀体15相贴合；垫圈164与阀座17相连接，且垫圈164与接触部162相贴合；复位弹簧165套设在阀芯本体161的外侧，复位弹簧165的一端与阀芯本体161的接触部162相贴合，且复位弹簧165的另一端与垫片163相贴合。

在该实施例中，通过将垫片163套设在阀芯本体161一端的外侧，且垫片163与第一阀体15相贴合，以实现对阀芯本体161的支撑作用，以提高阀芯本体161的稳定性，避免阀芯本体161受力而倾斜；通过将垫圈164与阀座17相连接，且垫圈164与接触部162相贴合，以实现当微压先导阀关闭时，没有流体可以从导出口27排出，提高产品的密闭性；通过将复位弹簧165套设在阀芯本体161的外侧，复位弹簧165的一端与阀芯本体161的接触部162相贴合，且复位弹簧165的另一端与垫片163相贴合，以实现当膜片组件11被抬起时，复位弹簧165回复弹性变形，使接触部162向阀座17方向运动，接触部162与垫圈164接触后，以实现微压先导阀的自动关闭功能。

具体的，接触部162外壁与阀芯本体161的轴线呈预定角度，以使接触部162与垫圈164接触更紧密，以进一步微压先导阀的密闭性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图3所示，活塞组件20还包括：活塞本体201、第一密封圈203、空心锁母204和第二密封圈206；活塞本体201设置有第一通孔202，活塞本体201周向设置有环形槽，且活塞本体201嵌入第二阀盖内；第一密封圈203嵌入环形槽内，且第一密封圈203与第二盖体18的内壁相贴合；空心锁母204设有第二通孔205，第二通孔205与第一通孔202相连通，且空心锁母204与活塞本体201相连接；第二密封圈206嵌入活塞本体201内，且第二密封圈206与空心锁母204相贴合。

在该实施例中，通过在活塞本体201周向设置有环形槽，且活塞本体201嵌入第二阀盖内，第一密封圈203嵌入环形槽内，且第一密封圈203与第二盖体18的内壁相贴合，以使流体只能从第一通孔202流入活塞本体201上方；通过使第二通孔205与第一通孔202相连通，并使空心锁母204与活塞本体201相连接，且第二密封圈206嵌入活塞本体201内，第二密封圈206与空心锁母204相贴合，以通过空心锁母204将第二密封圈206固定在活塞本体201上，以提高活塞本体201与第二阀体19间的密闭性，以实现当主阀关闭时，流体只能从第二通孔205经过第一通孔202流入活塞本体201上方，避免流体从排气口19流出，确保主阀的密闭性。

具体的，空心锁母204与活塞本体201通过螺纹连接。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，调节组件14还包括：调节杆141和调节板142；调节杆141的一端嵌入第一盖体12内，且调节杆141的一端与第一弹簧13的另一端相贴合；调节板142与调节杆141的一端相连接，且调节板142与第一弹簧13的另一端相贴合。

在该实施例中，通过将调节杆141的一端嵌入第一盖体12内，且调节杆141的一端与第一弹簧13的另一端相贴合，并使调节板142与调节杆141的一端相连接，且调节板142与第一弹簧13的另一端相贴合，以增大调节杆141与第一弹簧13的接触面接，以使调节杆141对第一弹簧13所施加的压力更均匀，进而膜片组件11受力更均匀，确保微压先导阀的精准度，从而实现精准调控流体压力的技术效果。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，超微压减压阀还包括：调节手轮25；调节手轮25套设在调节杆141另一端的外侧，且调节手轮25与调节杆141相连接。

在该实施例中，通过将调节手轮25套设在调节杆141另一端的外侧，且调节手轮25与调节杆141相连接，以便于旋拧调节组件14，降低操作难度，以使微压先导阀的调节更及时，从而使主阀开启也更及时。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。