1.一种膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,包括:
支撑座(1),所述支撑座(1)上至少开设有两个减震孔(11);
减震件(2),所述减震件(2)形成卡槽(21)和通孔(22),所述卡槽(21)与所述减震孔(11)卡合;
减震杆,所述减震杆穿过所述通孔(22)与所述减震件(2)相配合,且其一端与膜片式真空泵相连接。
2.根据权利要求1所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,还包括真空泵支架(4),所述膜片式真空泵安装在所述真空泵支架(4)上;同时,所述减震杆与所述真空泵支架(4)相连接。
3.根据权利要求2所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述真空泵支架(4)上形成支架固定孔(41);所述减震杆为一端为螺帽且另一端部设置为螺纹结构的减震螺栓(3);所述减震螺栓(3)依次穿过所述通孔(22)、所述支架固定孔(41)使用第一螺母(33)将所述真空泵支架(4)固定。
4.根据权利要求3所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述支架固定孔(41)与所述通孔(22)之间的减震螺栓(3)上还安装有第二螺母(34)。
5.根据权利要求4所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述减震螺栓(3)的螺纹结构包括第一螺纹(31)和第二螺纹(32),其分别与所述第一螺母(33)和第二螺母(34)相配合,且所述第二螺纹(32)的直径大于所述第一螺纹(31)的直径。
6.根据权利要求5所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述减震件(2)的上端部或下端部或上下两端部外延形成凸环(24);所述减震螺栓(3)的主体部形成与所述凸环(24)对应的凸起(35);所述凸起(35)以所述减震螺栓(3)的中轴为基轴的径向上的最大长度等于或者略大于所述凸环(24)的内径。
7.根据权利要求6所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述减震件(2)以所述卡槽(21)为界分为上部和下部,所述上部的外径尺寸小于所述下部的外径尺寸。
8.根据权利要求7所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述减震件(2)的端部形成凹槽结构(23);所述凸环(24)的外径小尺寸于所述减震件(2)的外径尺寸。
9.根据权利要求8所述的膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述膜片式电子真空泵的质心到各个所述减震孔(11)的距离相等。
10.根据权利要求9所述的一种膜片式电子真空泵减震机构,其特征在于,所述真空泵支架开设有第一电机通孔(42);所述支撑座上开设有第二电机通孔(13);所述膜片式电子真空泵安装好后,其电机依次穿过所述第一电机通孔(42)和第二电机通孔(13);所述支撑座(1)上还形成有数个安装腿(12),所述安装腿(12)上还形成有固定安装孔(14)。