一种多道真空密封、水冷结构保护的真空气缸的制作方法

1.本实用新型涉及气缸设备的技术领域，尤其是一种多道真空密封、水冷结构保护的真空气缸。


背景技术：

2.现有的气缸一般只能在常规条件（常温常压）下工作，而当处于加热真空的环境下时，普通的气缸无法在该恶劣环境中正常运行，气缸的动态及静态密封性能都比较差，容易出现气缸缸室气体泄漏的情况，气缸无法满足自身的工作需求，容易对工业生产产生不利的影响。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种多道真空密封、水冷结构保护的真空气缸，通过在气缸连杆外围设置多道动密封圈和环绕动密封圈布设冷却水道，使得该气缸在加热真空的条件下，仍可以长时间保持自身良好的动态及静态密封性能。
4.本实用新型目的实现由以下技术方案完成：
5.一种多道真空密封、水冷结构保护的真空气缸，包括气缸缸体、气缸活塞和气缸连杆，所述气缸活塞设于所述气缸缸体的缸筒内并与所述气缸连杆相连接，所述气缸连杆的一端延伸至所述气缸缸体外，并且所述气缸连杆可在所述气缸活塞的作用下往复运动，其特征在于：所述气缸缸体前端内壁设有若干均匀布置的凹槽，每一所述凹槽均放置有与其配合的动密封圈，所述动密封圈布设于所述气缸连杆外围形成动密封结构；所述气缸缸体上设置有环绕所述动密封圈布置的冷却水道。
6.所述冷却水道上设有冷却水接头，所述冷却水接头包括冷却水进口接头和冷却水出口接头，所述冷却水接头伸出于所述气缸缸体的表面。
7.所述气缸缸体上设置有呼吸孔和/或注油脂孔。
8.所述气缸缸体的缸筒位置设有第一气缸进出气口接头和第二气缸进出气口接头。
9.所述气缸缸体的前端面上设置有静密封圈。
10.本实用新型的优点是：采用了动密封圈配置气缸水冷结构，可直接装配在高温真空系统稳定使用；气缸动作过程，动密封状态气密性好，真空度变化小，对制层工艺影响小；导向及重复性好；耐用性好。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构示意图；
12.图2为本实用新型中冷却水道的流向示意图。
具体实施方式
13.以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，
以便于同行业技术人员的理解：
14.如图1
‑
2所示，图中1
‑
15标记分别表示为：气缸缸体1、气缸活塞2、气缸连杆3、气缸缸室4、气缸缸体前端5、气缸连杆安装孔6、动密封圈7、冷却水道8、冷却水接头9、冷却水进口接头10、冷却水出口接头11、呼吸孔12、第一气缸进出气口接头13、第二气缸进出气口接头14、静密封圈15。
15.实施例：本实施例中的多道真空密封、水冷结构保护的真空气缸，该气缸在加热真空的条件下，仍可以长时间保持自身良好的动态及静态密封性能。如图1和图2所示，真空气缸主要包括气缸缸体1、气缸活塞2、气缸连杆3、动密封圈7和冷却水道8，气缸缸体1主要由气缸缸筒4和气缸缸体前端5两部分组成，气缸活塞2设于气缸缸筒4内并连接于气缸连杆3，气缸连杆3经设置于气缸缸体前端5中部的气缸连杆安装孔6延伸至气缸缸体1外。
16.如图1所示，气缸缸筒4上设有第一气缸进出气口接头13和第二气缸进出气口接头14。当压缩气体由第一气缸进出气口接头13进入气缸缸筒4时，压缩气体推动气缸活塞2运动，接着靠近第二气缸进出气口接头14的气缸缸筒4内的气体就从第二气缸进出气口接头14排出，最后气缸活塞2带动气缸连杆3向气缸缸筒4外运动；当压缩气体由第二气缸进出气口接头14进入气缸缸筒4时，压缩气体推动气缸活塞2运动，接着靠近第一气缸进出气口接头13的气缸缸筒4内的气体就从第一气缸进出气口接头13排出，最后气缸活塞2带动气缸连杆3向气缸缸筒4内运动。因此，气缸连杆3可沿气缸连杆安装孔6的长度方向作往复运动。
17.如图1所示，气缸连杆安装孔6的内壁设有多组均匀间隔布置的凹槽，每一凹槽均放置有与其配合的动密封圈7，动密封圈7套设于气缸连杆3外壁并与气缸连杆3形成动密封结构。通过设置多道动密封圈7，当气缸连杆3处于运动状态时，可以保持本气缸自身良好的动态密封性能，从而使真空镀膜时真空度变化小，对制层工艺影响小。
18.如图1和图2所示，气缸缸体前端5沿动密封圈7的外围设置有环形的冷却水道8，该冷却水道8环绕动密封圈7布置，且可沿多道动密封圈7的延伸方向呈螺旋状布置。冷却水道8上设有冷却水接头9，冷却水接头9包括冷却水进口接头10和冷却水出口接头11。在使用时，冷却水可由冷却水进口接头10进入冷却水道8，经由冷却水道8带走气缸缸体前端5、动密封圈7和气缸连杆3的热量，最后通过冷却水出口接头11流出至外，从而实现对动密封圈7的保护，进一步保障了真空气缸在高温条件下长时间保持良好的静态及动态密封性能。
19.如图1所示，气缸缸体前端5上设有呼吸孔12，呼吸孔12贯穿气缸缸体1并延伸至气缸连杆3。同时，由于气缸连杆3在气缸连杆安装孔6内运动，容易产生摩擦，此时可以往呼吸孔12注入油脂或润滑剂，起润滑的作用。也就是说，开设在气缸缸体前端5上的该孔既可以作为呼吸孔，也可以作为注油脂孔使用。
20.如图1所示，气缸缸体前端5上安装有静密封圈15，以保证真空气缸在整体安装时的密封性，例如真空气缸安装至真空镀膜设备内时的密封性。
21.本实施例在具体实施时：动密封圈7采用氟橡胶o型圈，并且配置气缸水冷结构，可直接装配在在高温真空系统稳定使用；气缸动作过程，动密封状态气密性好，真空度变化小，对制层工艺影响小；导向及重复性好；耐用性好。
22.虽然以上实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。