一种离子注入机用减振装置的制作方法

本实用新型涉及离子注入机的技术领域，具体为一种离子注入机用减振装置。

背景技术：

离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速之后得到几百千电子能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入。

在现有生活中，传统的离子注入机没有减振装置，无法对机器进行缓冲，在离子注入机进行搬运和移动的时候，很容易产生振动，进而可能对设备中的电子元件造成损坏。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子注入机用减振装置，具有减振装置优点，解决了传统的离子注入机没有减振装置的问题。

（二）技术方案

为实现上述具有减振装置的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用减振装置，包括离子注入机主体，所述离子注入机主体底端两侧的中部均固定设有固定块，两个所述固定块的两侧分别开设有四个通口，四个所述通口分别与两个支撑板的外壁穿插连接，两个所述支撑板顶端的中部分别与两个第一固定杆外壁的一侧穿插连接，两个所述第一固定杆的底端分别固定设置在两个第二固定杆的顶端，两个所述第二固定杆的外壁分别与两个固定块的底端穿插连接，两个所述第二固定杆的底端分别固定设有两个第二弹簧，两个所述第二弹簧的底端分别固定设置在底板顶端两侧的中部。

优选的，两个所述支撑板底端的两侧分别固定设有四个第一移动杆，四个所述第一移动杆内壁的两侧分别开设有八个滑槽，八个所述滑槽分别与八个滑轨滑动连接，八个所述滑轨分别固定设置在四个第二移动杆外壁的两边侧，四个所述第二移动杆的外壁分别与四个第一移动杆的底端穿插连接，四个所述第二移动杆的底端分别固定设置在底板顶端两侧的两端。

优选的，两个所述支撑板顶端的两侧均固定设有两个支撑块，四个所述支撑块的顶端分别固定设置在离子注入机主体底端两侧的两端。

优选的，两个所述第一固定杆的顶部分别固定设有两个限位环。

优选的，两个所述第一固定杆的外壁分别套设有两个第一弹簧，两个所述第一弹簧的顶端分别固定设置在两个支撑板底端的中部，两个所述第一弹簧的底端固定设置在两个第二固定杆的顶端。

优选的，四个所述第二移动杆的外壁分别套设有四个第三弹簧，四个所述第三弹簧的底端分别固定设置在四个第一移动杆内部的底端。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种离子注入机用减振装置，具备以下有益效果：

1、该离子注入机用减振装置，通过设有固定块和支撑板，两个支撑块向下移动分别带动两个支撑板向下移动，两个支撑板向下移动分别对两个第一弹簧进行挤压，两个固定块向下移动带动两个第一固定杆向下移动，两个第一固定杆向下移动带动两个第二固定杆向下移动，两个第二固定杆向下移动分别对两个第二弹簧进行挤压，通过这种方式在对离子注入机主体进行搬运和移动造成离子注入机主体振动时，对其进行缓冲，防止振动对设备中电子元件造成损坏。

2、该离子注入机用减振装置，通过设有第一移动杆，四个移动杆内部的两侧分别开设有八个滑槽，八个滑槽分别固定设置在四个第二移动杆外壁的两边侧，四个第二移动杆的外壁套设有四个第三弹簧，通过这种方式在设备受到振动时，进一步对设备进行缓冲，从而保护设备电子元件。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的减振机构结构示意图；

图3为本实用新型的第一固定杆内部结构示意图；

图4为本实用新型的第一移动杆内部结构示意图。

图中：1、离子注入机主体；2、固定块；3、通口；4、支撑板；5、第一固定杆；6、限位环；7、第一弹簧；8、第二固定杆；9、第二弹簧；10、支撑块；11、第一移动杆；12、第二移动杆；13、滑轨；14、第三弹簧；15、底板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供了一种离子注入机用减振装置的技术方案：

根据图1-4所示，包括离子注入机主体1，离子注入机主体1底端两侧的中部均固定设有固定块2，两个固定块2的两侧分别开设有四个通口3，通口3的宽度与支撑板4的宽度相匹配，四个通口3分别与两个支撑板4的外壁穿插连接，两个支撑板4顶端的中部分别与两个第一固定杆5外壁的一侧穿插连接，两个第一固定杆5的底端分别固定设置在两个第二固定杆8的顶端，两个第二固定杆8的外壁分别与两个固定块2的底端穿插连接，两个第二固定杆8的底端分别固定设有两个第二弹簧9，两个第二弹簧9的底端分别固定设置在底板15顶端两侧的中部，两个支撑板4底端的两侧分别固定设有四个第一移动杆11，四个第一移动杆11内壁的两侧分别开设有八个滑槽，八个滑槽分别与八个滑轨13滑动连接，滑轨13为弧形滑轨13，八个滑轨13分别固定设置在四个第二移动杆12外壁的两边侧，四个第二移动杆12的外壁分别与四个第一移动杆11的底端穿插连接，四个第二移动杆12的底端分别固定设置在底板15顶端两侧的两端，两个支撑板4顶端的两侧均固定设有两个支撑块10，四个支撑块10的顶端分别固定设置在离子注入机主体1底端两侧的两端，两个第一固定杆5的顶部分别固定设有两个限位环6，两个第一固定杆5的外壁分别套设有两个第一弹簧7，两个第一弹簧7的顶端分别固定设置在两个支撑板4底端的中部，两个第一弹簧7的底端固定设置在两个第二固定杆8的顶端，四个第二移动杆12的外壁分别套设有四个第三弹簧14，四个第三弹簧14的底端分别固定设置在四个第一移动杆11内部的底端。

在使用时，本实用新型一种离子注入机用减振装置，使用时，在离子注入机主体1振动时，使得离子注入机主体1向下移动，离子注入机主体1向下移动同时带动四个支撑块10和两个固定块2向下移动，四个支撑块10向下移动分别带动两个支撑板4向下移动，两个支撑板4向下移动分别对两个第一弹簧7进行挤压，两个固定块2向下移动带动两个第一固定杆5向下移动，两个第一固定杆5向下移动带动两个第二固定杆8向下移动，两个第二固定杆8向下移动分别对两个第二弹簧9进行挤压，在离子注入机主体1振动后进行反向运动时，四个第一移动杆11向上移动市的八个滑轨13在八个滑槽中滑动，同时，四个第一移动杆11向上移动对四个第三弹簧14进行挤压，进而对向上的作用力进行缓冲。

综上所述，该离子注入机用减振装置在离子注入机主体1受到振动时，通过第一弹簧7、第二弹簧9、第三弹簧14对其进行缓冲，防止振动对设备中电子元件造成损坏。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。