管道修复装置和管道封堵装置的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种管道修复装置和管道封堵装置。

背景技术：

软管是半导体设备中应用最广泛的管道，例如有真空管道、高纯工艺管道、特供供气管道、供水管道等，对这种管道的质量要求通常很高，如需要耐高温、耐高压、耐腐蚀等，为此，使用成本也高。不管软管所传输的介质是液体还是气体，在半导体设备的内部和外部都有应用。

然而在实际生产中，软管不可避免地会出现破损。当软管破损时，通常有这些处理方式：一种是短接，即去除管道破损的部分，并接入新的管路；另一种是更换破损的管道。不管采用哪种方法，都需要较长的维修时间。例如，对于半导体设备外部的管道一般选择更换，但是成本也很高。如果对半导体设备内部的管道进行更换，则需要更长维修时间，严重降低了机台产能。

当前为了减少软管的磨损，还曾采用采用固化磨损部位的方式，如在易磨损的部位外套一个管子，或者增加易磨损部位的管壁厚度，甚至于更换更高质量的软管，或者定期更换软管，这样做的成本依然很高。此外，在一些情况下，也曾用绑带捆绑破损部位，该做法虽然简单，但密封效果不好。因此，当前处理管路破损的方式大多存在维修时间长，保养成本高的问题，从而降低了产能，也提高了生产成本。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种管道修复装置和管道封堵装置，以解决半导体领域中管道，尤其是软管出现破损时存在的维修成本高和维修时间长的问题。

为实现上述目的，根据本实用新型的第一个方面，提供一种管道修复装置，其特征在于，包括胶带、保护膜、撕膜部件、滑动部件、锁紧部件、中心杆和支撑架；

所述胶带用于设置在管道内并与所述管道的内壁粘接，以封堵所述管道上的泄漏位置；所述保护膜覆盖在所述胶带具有粘性的一侧上；

所述撕膜部件与所述保护膜连接，用于将所述保护膜撕离所述胶带；

所述锁紧部件或所述中心杆与所述胶带连接，所述锁紧部件与所述中心杆连接；

所述滑动部件可活动地设置在所述中心杆上；所述支撑架的一端与所述滑动部件连接，另一端与所述锁紧部件可分离的连接；所述滑动部件用于驱动所述支撑架移动，使所述支撑架的所述另一端脱离所述锁紧部件；

当所述支撑架的所述另一端脱离所述锁紧部件后，所述支撑架从收拢状态转变为张开状态，且所述胶带受到所述支撑架对其施加的作用力后也从收拢状态转变为张开状态；

当所述胶带处于所述张开状态后，所述中心杆拉动所述胶带与所述管道的内壁粘接。

可选地，所述胶带为中间厚、两边薄的结构。

可选地，所述锁紧部件包括锁块，所述锁块套设在所述中心杆上，所述锁块包括至少一个锁紧部，所述锁紧部用于与所述支撑架的所述另一端可分离的连接。

可选地，所述锁块为橡胶件，且所述锁块的尺寸被配置为与所述泄漏位置处的破口相匹配，所述锁块用于封堵所述破口。

可选地，所述支撑架包括多个支撑臂，多个所述支撑臂围绕所述中心杆均匀或不均匀地布置；多个所述支撑臂的一端与所述锁紧部件可分离的连接，另一端与所述滑动部件连接。

可选地，每个所述支撑臂为弯折形状。

可选地，所述中心杆为橡胶件，且所述中心杆的一部分用于与所述泄漏位置处的破口相匹配，所述中心杆的所述一部分用于封堵所述破口。

可选地，所述胶带的一侧设置有凹槽，所述中心杆的一端插入所述凹槽并热熔连接。

可选地，所述滑动部件包括滑块，所述滑块可移动地套设在所述中心杆上。

可选地，所述管道修复装置还包括：

限位部件，所述限位部件设置在所述中心杆上，用于限定所述滑块向第一方向和/或第二方向移动的距离，所述第一方向与所述第二方向相反。

可选地，所述限位部件包括两个插销，分别设置在所述滑块的两侧；

当所述滑块移动至其中一个所述插销时，所述支撑架的所述另一端脱离所述锁紧部件；

当所述滑块移动至另一个所述插销时，所述支撑架的所述另一端与所述锁紧部件连接。

可选地，所述撕膜部件包括杆状件或线状件，所述撕膜部件还包括手柄，所述杆状件或线状件的一端与所述保护膜连接，另一端与所述手柄连接。

可选地，所述管道修复装置还包括：

捆绑带，用于绑扎所述胶带，使所述胶带处于所述收拢状态。

为实现上述目的，根据本实用新型的第二个方面，提供一种用于任一项所述的管道修复装置的管道封堵装置，包括胶带，所述胶带用于设置在所述管道内并与所述管道的内壁粘接，以封堵所述管道上的泄漏位置；

所述管道封堵装置还包括锁紧部件和/或中心杆；所述锁紧部件和所述中心杆中的一个与所述胶带连接，所述锁紧部件与所述中心杆连接；

所述锁紧部件用于设置在所述泄漏位置处的破口内，以封堵所述破口，和/或，所述中心杆的一部分用于设置在所述泄漏位置处的破口内，所述中心杆的所述一部分用于封堵所述破口。

上述管道修复装置和管道封堵装置具有如下优点：

当管道出现破损时，通过上述管道修复装置和管道封堵装置进行修复，保证管道的密封性而能够继续使用，这样的修复方式可避免对管道做短接处理，也不必更换破损的管道，且不用固化管道易磨损的部位，也无需选用管壁更厚或质量更高的管道，从而可以达到维修时间短，维修成本低的目的，由此减少机台停机时间，提高机台产能，降低生产成本。而且该管道封堵装置中的至少所述胶带在管道内部进行封堵，相比于在管道外部进行绑扎，耐压强度高，密封效果更好，使用寿命也更长。而且上述管道修复装置的结构简单，操作也方便，便于在产线上实施。

附图说明

附图用于更好地理解本实用新型，不构成对本实用新型的不当限定。其中：

图1为本实用新型优选实施中管道修复装置的结构示意图，其中管道修复装置处于第一使用状态；

图2为本实用新型优选实施中管道修复装置的结构示意图，其中管道修复装置处于第二使用状态；

图3为本实用新型优选实施中管道修复装置的结构示意图，其中管道修复装置处于第三使用状态；

图4为本实用新型优选实施中管道修复装置的结构示意图，其中管道修复装置处于第四使用状态。

附图标记说明如下：

10-管道修复装置；

1-撕膜部件；11-拉线；12-手柄；2-滑动部件；21-滑块；3-中心杆；4-支撑架；41-支撑臂；5-锁紧部件；51-锁块；6-保护膜；7-胶带；71-凹槽；8-插销；9-捆绑带；20-管道；21-破口。

附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1示出了本实用新型优选实施例提供的管道修复装置10处于第一使用状态的结构示意图，图2示出了本实用新型优选实施例提供的管道修复装置10处于第二使用状态的结构示意图，图3示出了本实用新型优选实施例提供的管道修复装置10处于第三使用状态的结构示意图，图4示出了本实用新型优选实施例提供的管道修复装置10处于第四使用状态的结构示意图。

参阅图1，本实施例提供一种管道修复装置10，主要用于对半导体领域中使用的内部管道或外部管道进行修复，以解决管道破损而出现泄漏的问题。本实用新型对所修复的管道的种类不作限定，例如可以是真空管道、供液管道、供气管道等。而且所适用的管道可以是软管或硬管，较优的为软管。当管道出现破损时，可通过管道修复装置10进行修复，保证管道的密封性而能够继续使用，这样的维修方式可避免管道短接，也不必更换破损的管道，且不必固化管道来增强磨损部位的强度，也无需选用管壁更厚或质量更高的管道，因此，可以减少维修时间，降低维修成本，且由于机台停机时间短，机台的产能也得到显著提高，有效降低了生产成本。特别的，该管道修复装置10在管道内部进行破口封堵，耐压强度高，密封效果好，使用寿命长。应理解，该管道修复装置10为一次性使用产品，当遇到管道破损泄漏时，由于各种原因无法及时处理或是处理过程较长时，可以应用此管道修复装置10。

如图1所示，所述管道修复装置10包括撕膜部件1、滑动部件2、中心杆3、支撑架4、锁紧部件5、保护膜6和胶带7。当所述管道修复装置10处于第一使用状态时：所述中心杆3的一端与胶带7或锁紧部件5连接；所述滑动部件2可活动地设置在中心杆3上；所述支撑架4的一端与滑动部件2连接，所述支撑架4的另一端与锁紧部件5可分离的连接；所述锁紧部件5与中心杆3或胶带7连接；所述保护膜6覆盖在胶带7具有胶水的一侧，以保护胶带7，避免胶带7在使用之前发生粘性失效或下降的问题；所述撕膜部件1与保护膜6连接，用于在使用时将保护膜6撕离胶带7。其中，所述支撑架4具有锁紧状态和解锁状态；当所述支撑架4处于所述锁紧状态时，所述支撑架4的另一端与锁紧部件5锁紧(即连接)，以使支撑架4处于未张开状态(定义为收拢状态，参阅图1)；当所述支撑架4处于所述解锁状态时，所述支撑架4的另一端与锁紧部件5解除锁定(即分离)，以使支撑架4从收拢状态转变为张开状态(参阅图2)。

在实际使用时，在将管道修复装置10插入破损的管道之前，该装置处于第一使用状态，在第一使用状态下，所述支撑架4处于收拢，且所述胶带7也处于收拢，以便缩小整个装置的体积而能够顺利从破口插入管道内。之后，将第一使用状态下的管道修复装置10从破口处插入管道，主要是将收拢的胶带7从破口处插入管道，到位后，手动操作撕膜部件1将保护膜6撕离胶带7，此后，再手动移动滑动部件2，使支撑架4在滑动部件2的带动下其另一端脱离锁紧部件5。当支撑架4的另一端脱离锁紧部件5后，所述支撑架4利用自身弹性向外撑开或张开，在支撑架4张开的过程中，一旦支撑架4接触到胶带7，即可使胶带7也受力从收拢状态转变为张开状态(参阅图2)，此时，该管道修复装置10从第一使用状态转变为第二使用状态(参阅图2)。进一步的，当胶带7处于张开状态后，再移除滑动部件2、撕膜部件1和支撑架4，得到图3所示的第三使用状态。然后手动向外拉动中心杆3，使胶带7在中心杆3的拉动下与管道20的内壁牢固且紧密地粘接，以此将管道20的泄漏位置进行封堵，即得到图4所示的第四使用状态。应理解，本实用新型对移除撕膜部件1的时间没有要求，撕膜部件1可在将保护膜6撕离胶带7后即刻移除，也可在支撑架4和胶带7张开后与滑动部件2和支撑架4一起移除，或其他合适的时间移除。还应理解，在封堵管道20时，至少保留胶带7对泄漏位置进行封堵。

因此，在管道20存在破损时，只需要将管道修复装置10从管道20的破损处插入，当其中胶带7全部进入管道20后，只要先撕去保护膜6，然后拉到滑动部件2，使支撑架4打开而令胶带7也像伞一样撑开，之后，去除滑动部件2和支撑架4，再拉动中心杆3，使胶带7的一侧紧密贴合在管道20的内壁上，粘贴牢固后，可去除或减短中心杆3，使中心杆3不凸出管道20的外表面。这种管路维修方法具有维修时间短，维护成本低的优点，可有效降低生产成本，提高生产效率。

进一步优选的，如图4所示，在封堵管道20时，还保留锁紧部件5和/或中心杆3的一部分在管道20的破口21内进行封堵，一方面增强胶带7在破口21处的耐压强度，另一方面进一步对破口21进行封堵，封堵效果更好。在另外的实施方式中，可在中心杆3和/或锁紧部件5外另套一根管子来封堵破口21，该管子通常为橡胶管。

进一步为了增强胶带7在破口21处的强度，所述胶带7优选为具有不同的厚度，即中间厚、两边薄的结构。如此构造，增大了胶带7中间部位的强度，使其能够承受更大的压力而不容易破损，提高修复的可靠性。进一步的，为了确保修复的美观性，所述中心杆3不凸出管道20的外表面，为此，可在封堵后，截断部分中心杆3，使一部分中心杆3保留在破口21内，或者，也可将整根中心杆3去除，例如将中心杆3与胶带7或锁紧部件5可拆卸地连接或其他可解脱的连接，便可快速、方便地分离中心杆3同其连接的部件。因此，所述中心杆3可与胶带7或锁紧部件5可拆卸地连接或不可拆卸地连接，可拆卸的连接包括但不限于卡扣、螺纹等，不可拆卸的连接包括但不限于胶水粘接、热熔连接等。在示出的实施例中，所述中心杆3的一端与胶带7连接，且所述锁紧部件5固定设置在中心杆3上。在另一实施方式中，所述锁紧部件5与胶带7连接，且所述中心杆3的一端与锁紧部件5连接。

所述胶带7的大小和形状不作限定，其大小需要根据管道破损的大小进行设计，且其形状包括但不限于图示的劣弧形状，其形状只要能够与管道内壁紧密贴合并封堵管道破口即可。应知晓，所述胶带7也不限于带状，还可以是块状、条状等，或者其他不规则形状。所述胶带7的材料主要为软质材料，尤其是弹性和柔软性较好的材料，但不能太软，否则容易破裂，通常胶带7可选用橡胶制成的胶带，成本低，使用方便，强度也能满足要求。所述胶带7的一侧具有粘性，用于粘接在管道20的内壁上。应理解，虽然胶带7为橡胶胶带，本身也具有弹性，能够在插入管道20后从收拢状态转变为张开状态，但有可能存在不能充分张开或不能张开的情况，为此，还需要借助于支撑架4的推动来确保胶带7在任何情况下都能够有效的打开，以保证装置使用的可靠性。此外，本实用新型对保护膜6的大小和形状也没有要求，只要其能够完全覆盖胶带7具有粘性的一侧即可。所述保护膜6的材料可以是薄膜、薄纸片或其他合适的结构。

所述锁紧部件5的大小、形状和材料也不加限定。可选的，如图2所示，所述锁紧部件5包括长方形或圆柱形的锁块51，所述锁块51套设在中心杆3上。所述锁块51的材料可以是金属材料或橡胶材料，优选为橡胶材料，且所述锁块51的尺寸小于张开的胶带7，优选的，所述锁块51的尺寸被配置为与破口21相匹配以封堵破口21。所述锁块51上设置有一个或多个锁紧部(未图示)，所述锁紧部用于与支撑架4可分离的连接，所述锁紧部在锁块51上的位置不作限定，例如图1所示，可在锁块51的一端沿周向布置多个锁紧部。本实用新型对锁紧部的结构没有限制，只要能够实现支撑架4的一端与锁紧部在连接后又分离的效果即可。在一实施例中，所述锁紧部为锁孔，所述锁孔可以是一个或多个，优选为多个，多个锁块围绕中心杆3的轴线均匀或不均匀地布置，且每个锁孔用于与支撑架4上对应的一根支撑臂41的一端可分离的连接，例如只要简单地将支撑臂41的一端插入锁块即可。在其他实施例中，所述锁紧部可为卡扣，所述卡扣可以是一个或多个，优选为多个，多个所述卡扣围绕中心杆3的轴线均匀或不均匀地布置，且每个卡扣与支撑架4上对应的一根支撑臂41的一端卡接，例如卡扣为卡槽，支撑臂41的一端设有与卡槽配合的凸起。

所述支撑架4的结构没有特别的限制，例如可设计为网状支架或伞骨型支架。此外，所述支撑架4具有弹性，即在外力的约束下处于收拢状态，但在解除外力的约束后，所述支撑架4自动膨胀而恢复原有的形状。进一步的为了简化结构，降低制作难度，所述支撑架4选用伞骨型支架。如图2所示，所述支撑架4包括多根支撑臂41，多根支撑臂41围绕中心杆3均匀或不均匀地布置。多根支撑臂41的一端与锁紧部件5可分离的连接，另一端与滑动部件2连接。所述支撑臂41由弹性材料制成，如形状记忆合金材料制成，以赋予支撑臂41良好的弹性，从而当其一端脱离锁紧部件5后，所述支撑架4即可自行弹开或撑开。为了进一步提高弹性形变能力，所述支撑臂41优选为弯折形状，例如由两段成夹角的结构组成，或者由一段为弧形的结构组成，使得支撑臂41的一端脱离锁紧部件5后能够自动弹开而恢复原先形状，弹性更好。此外，应知晓，由于支撑架4在后续需要被去除，故而所述支撑架4与胶带7之间是不连接的，而仅通过支撑架4在胶带7的内侧与胶带7的物理接触来推动胶带7打开。此处，内侧是指靠近中心杆3的轴线的一侧。

所述中心杆3的材料可以是金属材料或软质材料，优选为橡胶材料，方便截断中心杆3后剩余一部分结构来封堵坡口21，且橡胶能够更好的封堵破口21。更优选的，所述中心杆3用于封堵破口21的部分的结构的尺寸与破口21相匹配，以更好的封堵破口21。本实施例中，所述中心杆3的一端与胶带7连接，连接方式不作限定，如胶水粘接、热熔连接或其他可拆卸的连接方式。较佳的，在胶带7上设置凹槽71，所述中心杆3的一端插入凹槽71并优选热熔连接。例如图2所示，所述凹槽71可以为锥形槽，且所述中心杆3的一端被设计为与锥形槽相匹配，同时所述中心杆3的材料为橡胶并与凹槽71热熔连接。

所述滑动部件2的材料不作限定，一般选用金属材料，操作更方便。进一步的，所述滑动部件2包括滑块21，所述滑块21可移动地套设在中心杆3上。在另外的实施例中，亦可在中心杆3的一侧设置滑块21，而非套接的方式。或者通过其他合适的结构来实现滑动部件2相对于中心杆3的移动，例如螺纹传动等。相较而言，滑块21的结构更简单，操作也更方便。

进一步的，所述管道修复装置10还包括限位部件，用于限定滑块21向第一方向和/或第二方向移动的距离，所述第一方向与所述第二方向相反。此处，第一方向是指向管道20的外部移动的方向，第二方向是指向管道20的内部移动的方向。通过限定滑块21向第二方向移动的距离，可限定支撑架4的锁定位置，可以避免支撑臂41在与锁紧部件5锁紧时产生过大的变形，防止其因形变过大而损坏。通过限定滑块21向第一方向移动的距离，可限定支撑架4的解锁位置。如图1所示，所述限位部件优选包括两个插销8，均设置在中心杆3上，每个插销8的轴线与中心杆3的轴线垂直。两个插销8分别位于滑块21的两侧。当滑块21向第一方向移动至其中一个插销8的位置时，即支撑臂41脱离锁紧部件5；当滑块21向第二方向移动至另一个插销8的位置时，即支撑臂41与锁紧部件5锁紧。此外，当需要去除滑动部件2时，应事先拔除外侧的插销8，方可将滑动部件2连同支撑架4一起去除。应理解，本实用新型对限位部件的结构不作限定，包括但不限于插销的方式。

所述撕膜部件1可包括杆状件或线状件，所述杆状件或线状件可以是一个或多个。所述杆状件或线状件的一端与保护膜6连接。在示出的实施例中，所述撕膜部件1包括多根拉线11，多根拉线11与保护膜6连接，两者的连接方式没有限定，如粘接或穿线绑扎等。所述撕膜部件1优选还包括手柄12，多根拉线11的一端均与手柄12连接，另一端与保护膜6的边缘的不同位置连接。因此，当操作人员只要拉动手柄，即可拉动拉线11，将保护膜6快速去除。

所述管道修复装置10进一步还包括捆绑带9，用于绑扎胶带7，使胶带7在插入管道20之前即被收拢，这样做便于保存和运输，避免胶带7受到损坏。于是，在将胶带7插入管道时解除捆绑带9即可。或者其他合适的保护方式来保护胶带7。

进一步如图4所示，本实施例还提供一种管道封堵装置，包括胶带7，所述胶带7用于设置在管道20内并与管道20的内壁粘接，以封堵管道20上的泄漏位置。所述管道封堵装置还包括锁紧部件5和/或中心杆3。所述锁紧部件5用于设置在破口21内，和/或，所述中心杆3的一部分用于设置在破口21内。此时，该管道封堵装置相当于处于第四使用状态的管道修复装置10。

所应理解，上述实施例具体公开了本实用新型优选实施例的特征，使得本领域技术人员可以更好地理解本实用新型。本领域技术人员应当理解，在本申请文件公开内容的基础上，容易将本实用新型做适当修改，以实现与本实用新型所公开的实施例相同的目的和/或实现相同的优点。本领域技术人员还应该认识到，这样的相似构造不脱离本实用新型公开的范围，并且在不脱离本实用新型公开范围的情况下，它们可以进行各种改变、替换和变更。