技术特征：
1.一种阀，包括：壳体，具有至少一个入口和至少一个出口；阀构件，所述阀构件位于所述壳体内并且能够在不同位置之间移动，以用于在使用中控制流体从所述阀的入口到出口的流动；至少两个间隔开的阀座，所述阀构件位于所述阀座中，以便形成由所述阀座、所述阀构件的外表面和所述壳体的内表面界定的腔；第一导管，所述第一导管在所述壳体的外部与所述腔之间延伸；以及第二导管，所述第二导管在所述腔与所述阀构件的孔之间延伸，在使用中，吹扫气体能够通过这些导管被引入到所述腔和所述孔中。2.根据权利要求1所述的阀，其中，加压吹扫气体能够被引入所述腔和所述孔中。3.根据权利要求1或权利要求2所述的阀，其中，所述阀构件能够在第一位置与第二位置之间旋转，使得所述孔在所述第一位置中与入口和出口对准。4.根据权利要求1、2或3中任一项所述的阀，其中，所述阀构件能够在第一位置和第二位置之间旋转，使得所述孔在所述第二位置中不与入口或出口对准，优选地，其中，当所述阀构件处于所述第二位置中时，所述吹扫气体是停滞的。5.根据权利要求1或权利要求2所述的阀，其中，所述阀构件能够在第一位置和第二位置之间旋转，使得所述孔在所述第一位置中与入口和第一出口对准，并且在所述第二位置中与入口和第二出口对准。6.根据任何前述权利要求所述的阀，还包括用于抑制或防止吹扫气体经由所述第一导管从所述壳体中流出的止回阀，优选地其中所述止回阀包括由具有高镍含量的合金制造的弹簧。7.根据任何前述权利要求所述的阀，还包括歧管，所述吹扫气体在使用中通过所述歧管从所述壳体的外部被引入到吹扫气体导管中，优选地所述阀还包括加热器，用于在所述吹扫气体进入所述腔之前加热所述歧管内的所述吹扫气体，优选地其中所述加热器包括筒式加热器，和/或其中所述加热器的尺寸被设计成使所述腔内的冷凝最小化。8.根据权利要求7所述的阀，其中，所述歧管包括用于增加流过所述歧管的所述吹扫气体的湍流的装置；和/或其中所述歧管包括用于使吹扫气体流过所述歧管的曲折流动路径；和/或其中所述歧管包括用于使吹扫气体流过所述歧管的流动路径，所述流动路径包括挡板；和/或其中所述歧管包括用于使吹扫气体流过所述歧管的流动路径，所述流动路径包括填充材料；和/或还包括连接到歧管的入口的吹扫气体供应。9.根据任何前述权利要求所述的阀，还包括用于监测所述腔中和/或所述第一导管中和/或所述第二导管中和/或所述歧管中的吹扫气体的压力或流量的装置。10.根据权利要求9所述的阀，还包括用于监测所述吹扫气体供应中的吹扫气体的压力或流量的装置，优选地，其中用于监测所述吹扫气体的压力的装置包括压力传感器。11.根据当从属于权利要求9时的权利要求10所述的阀，其中，所述压力传感器定位在所述吹扫气体供应内，并且其中，阀和压力调节器连同用于隔离所述腔和所述歧管内的所述吹扫气体的阀一起设置在所述压力传感器的上游，所述压力传感器适于监测被隔离的吹扫气体的压力。12.根据权利要求9至11中任一项所述的阀，其中，用于监测所述吹扫气体的流量的所
述装置包括流量传感器。13.根据权利要求12所述的阀，其中所述流量传感器定位在所述吹扫气体供应内，用于监测所述吹扫气体的流率。14.根据任何前述权利要求所述的阀，其中润湿部件与选自由以下各项组成的组的气体相容：氟；氯；和溴化氢。15.一种系统，包括：具有排气装置的真空泵；以及一对消减系统，所述消减系统t形连接到所述排气装置中；其中，如任何前述权利要求所述的阀定位在每个所述消减系统的上游。
技术总结
一种阀(100)，包括：壳体(102)，其具有至少一个入口(104a)和至少一个出口(104b)；阀构件(108)，其位于所述壳体(102)内并且能够在不同位置之间移动，以用于在使用中控制流体从所述阀(100)的入口(104a)到出口(104b)的流动；其中，所述阀(100)还包括：至少两个间隔开的阀座(110a、110b)，所述阀构件(108)位于所述阀座中，以便形成由所述阀座(110a、110b)、所述阀构件(108)的外表面和所述壳体(102)的内表面界定的腔(112)；第一导管(118)，其在所述壳体(102)的外部与所述腔(112)之间延伸；以及在所述腔(112)与所述阀构件(108)的孔(114)之间延伸的第二导管(125)，在使用中，吹扫气体能够通过所述导管(112、125)被引入到所述腔(112)和孔(114)中。优选地，吹扫气体被加压，并可选地使用筒式加热器(126)加热，以分别抑制工艺气体的逸出和冷凝。体的逸出和冷凝。体的逸出和冷凝。
技术研发人员：A
受保护的技术使用者：爱德华兹有限公司
技术研发日：2020.11.12
技术公布日：2022/6/17