1.本公开涉及一种用于连接例如基于真空的分析系统的系统的联接器，其中一个系统需要与另一系统振动隔离。确切地说，但非排他地，本公开涉及一种用于将例如质谱仪的基于真空的分析系统连接到对振动敏感的分析系统的联接器，所述对振动敏感的分析系统也可在真空下操作，例如电子显微镜。
背景技术：
：：2.人们对复杂分子的非变性状态质谱分析(ms)和电子显微术(em)越来越感兴趣，所述复杂分子例如生物聚合物或大分子，如dna、rna、蛋白质或肽及其复合物。离子软着陆的进展允许在超高真空和任选的低温条件下将完整蛋白质、蛋白质和蛋白质-dna复合物直接沉积到衬底上以便于分析。一种将质谱仪质量选择与用于电子显微镜分析的离子的软着陆结合的系统已描述于2020年6月29日申请的第16/914,924号美国专利申请，所述申请的全部内容以引用的方式并入本文中。然而，将质谱分析系统与成像系统结合的挑战在于如何协调高分辨率成像系统的极高无振动要求和通常由振动密集型涡轮分子泵提供的质谱分析的多端口泵送要求，所述成像系统例如扫描电子显微术(sem)、穿透式电子显微术(tem)和/或电子全息(eh)或质谱成像(msi)系统。通常，当空间分辨率达到低微米级别时，这些振动开始扭曲和涂抹图像，且在纳米级分辨率下变得不可接受。因此，在本公开中，高分辨率成像涉及在此空间分辨率范围内操作的所有技术。3.现代sem/tem/eh/msi振动隔离系统的特殊功能加剧了这个问题。由于此类系统利用主动平台(activeplatform)以及被动空气台(passiveairtable)，因此其中一些系统的激活可能导致成像系统(sem/tem/eh/ms)相当大的竖直位移，例如高达5至7毫米(mm)(例如5mm)。由于质谱仪优选地保持在单独的平台上，因此这种位移会导致连接两个系统的离子光学器件弯曲。结合系统的另一要求是需要避免两个系统之间接地回路的任何干扰。如果上述问题得不到解决，那么它们可能会显著影响成像系统的分析性能。4.已针对电子显微镜的振动隔离提出了解决方案。例如，在us5,376,799中，通过使用o形环径向密封件和竖直弹性隔离支架避免了泵与电子显微镜系统之间的金属到金属接触。根据us7,993,113中提出的另一种方法，隔振器包括金属波纹管，所述金属波纹管被弹性环构件包围并与弹性环构件分开，其中振动阻尼被调谐以在涡轮分子泵的振动频率下产生陷波滤波器。在us8,961,106中提出了使用波纹管的另一种类似实施方式，其中额外地围绕连接泵管的外周安置环形重物，其中粘弹性构件插入于管与重物之间以形成减震器。虽然设计用于具有单个涡轮分子泵的系统，但所提出的方法与通常伴随现代质谱仪的多个振动频率并不兼容，且并未解决两个分析系统之间的相对移动问题，尤其是在两个系统水平连接时。5.针对以上背景提供了本公开。技术实现要素：6.本公开的各方面解决了需要在例如质谱仪系统和成像系统的分析系统之间对振动进行解耦的问题。本公开的各方面涉及一种用于连接基于真空的分析系统的联接器。本公开的各方面解决了在使用中两个分析系统之间可能会发生竖直位移的问题。本公开的各方面与离子光学设计兼容，其中离子光学器件和(超)高真空需要在一个分析系统(例如，质谱仪)和另一分析系统(例如，成像系统)之间连续跨越，通常沿着大体上水平的路径或线。本公开的各方面涉及用于连接质谱仪与其它基于真空的仪器，确切地说是对振动敏感的分析仪器的联接器，例如呈混合ms/tem或ms/sem配置的扫描和透射电子显微镜(sem/tem)。本公开的各方面使得能够保持系统的离子光学质量，同时提供振动隔离并允许系统之间的相对位移。7.本公开在系统之间无金属对金属接触的情况下实现了两个系统之间的振动解耦。本公开的实施例提供振动解耦，同时能够利用现有ms系统或基础设施并且能够提供从ms系统到成像系统的(超)高真空离子路径。8.在一个方面中，本公开提供根据技术方案1所述的联接器。根据从属权利要求提供本公开的其它特征。9.一般来说，本公开提供用于连接分析系统的联接器。分析系统在其操作期间通常保持在真空下。可提供真空泵系统，例如包括至少一个涡轮分子泵，以泵送一个或优选地为两个的分析系统并使它们保持在真空下。优选地，分析系统包括在不同压力下的多级真空，如在us8,529,218和us10,422,338中例示的。联接器包括管状连接器，所述管状连接器通常为圆柱形、具有纵向轴线且具有柔性部分(本文中为“第一柔性部分”)。连接器具有用于连接到第一分析系统的第一端。柔性部分位于沿着连接器长度的位置处，且通常位于连接器的第一端处或附近以连接到第一分析系统。柔性部分通常为环形部分，其围绕纵向轴线径向或周向延伸。柔性部分优选地为波纹管。如果第一系统为振动源，那么柔性部分可耗散振动且因此减少或防止振动传递到第一分析系统或从第一分析系统传递。柔性部分可准许分析系统在横向于连接器的纵向轴线的方向上相对移位。在实施例中，柔性部分可准许第一分析系统在横向于连接器的纵向轴线的方向上移位。例如，可在竖直方向上移位，其中连接器的纵向轴线在使用时是水平的。柔性部分还可准许分析系统在连接器的纵向轴线的方向上相对移位。10.联接器优选地进一步包括密封件，所述密封件优选地为与柔性部分分离(即，纵向分离)且用于连接器与第二分析系统之间的真空密封的径向密封件。第一分析系统和第二分析系统需要彼此振动隔离(其中一个分析系统需要与另一系统产生的振动隔离)，即，其中一个系统是另一系统需要与之隔离的振动源。例如，第一分析系统需要与第二分析系统的振动隔离，反之亦然。11.密封件优选地为位于连接器外表面上的径向密封件。密封件优选地密封到第二分析系统上的开口或端口的内表面。密封件优选地位于连接器的与第一端相对的第二(远)端处或附近。连接器的第二(远)端用于连接到第二分析系统。密封件优选地密封大气压，即在分析系统外部。密封件优选地在分析系统外部的大气压与分析系统内部的真空(例如hv或uhv)之间密封。柔性部分和任选的密封件准许第一分析系统和第二分析系统在横向于连接器的纵向轴线的方向上相对移位。例如，可在竖直方向上移位，其中连接器的纵向轴线是水平的。第一分析系统的移位可引起连接器的与第一分析系统连接的第一端的相应位移，确切地说是其柔性部分的相应位移。12.密封件优选地包括第一密封件和第二密封件，优选地为第一径向密封件和第二径向密封件。第一密封件和第二密封件优选地位于连接器的与第一端相对的第二端处或附近。与柔性部分分离的第一密封件为用于在连接器与第二分析系统之间进行密封的第一密封件。第一密封件优选地位于连接器的远离第一端的第二(远)端处或附近。第一密封件优选地用于密封大气压，即在分析系统外部。任选地，第一密封件还可准许第一分析系统在横向于所描述的连接器的纵向轴线的方向上移位。例如，例如为o形环型的第一密封件优选地允许连接器进行某一旋转以减小在伸长时第一柔性部分或波纹管上的应力，否则这种应力会开始传递振动。优选地，优选地为径向密封件的第二密封件设置为与第一密封件分离，优选地比第一密封件更远离(在纵向上)第一柔性部分，第二密封件还用于在连接器与第二分析系统之间进行密封。第二密封件优选地用于密封高真空(如本文所使用的术语包含超高真空(uhv))，即分析系统内部的真空。高真空的压力可为10-3mbar或更低、10-4mbar或更低、10-5mbar或更低、10-6mbar或更低、优选地为10-7mbar或更低、10-8mbar或更低、10-9mbar或更低或10-10mbar或更低(10-9mbar或更低为uhv)。13.在一些实施例中，第一密封件与第二密封件之间的空间或体积可通过真空泵差动泵送。在一些实施例中，第一密封件与第二密封件之间的空间可由与分析系统用来提供其真空的泵相同的泵(例如，涡轮分子泵)泵送。分析系统的内部体积及第一密封件与第二密封件之间的空间可分别连接到多级真空(涡轮分子)泵的单独泵送端口。通常，空间或体积被泵送到处于大气压与分析系统内部的真空压力中间的压力。有利地，通过使用配置有差动泵送的两个密封布置，联接器可在分析系统外部的大气压到分析系统内部的uhv(10-9mbar或更低)之间进行密封。如果需要，可使用多于两个的密封件。14.优选地，连接器具有位于第一密封件与第二密封件之间的第二柔性部分。第二柔性部分优选地为波纹管(即，在第一柔性部分为波纹管的实施例中的第二波纹管)。第二柔性部分可耗散振动且将第二密封件与第一分析系统振动隔离，同时维持密封件之间的密封泵送空间。此第二柔性部分的存在可允许在不对第二密封件施加应力的情况下在第一密封件处发生旋转。以此方式，分析系统或连接器的竖直位移并不影响第二密封件，且并不增加传递到另一系统的振动。15.第一密封件和第二密封件优选地不使用金属对金属密封件，尤其是法兰(conflat)型的刀刃式密封件。第一密封件和第二密封件彼此可具有不同硬度。优选地，第一密封件(最接近大气)具有比第二或其它密封件(最接近/更接近真空)更高的硬度。至少一个密封件为弹性体密封件。第一密封件可以是弹性体密封件，更优选地为氟弹性体密封件，且更优选地为fkm氟弹性体，例如vitontm密封件。第二或其它密封件可以是弹性体或聚合物密封件，优选地为含氟聚合物密封件，更优选地为聚四氟乙烯(ptfe)密封件。第一密封件和第二密封件可以是o形环。16.优选地，分析系统用于分析离子，例如已从待分析的样品中产生的离子。离子可从一个分析系统传递到另一分析系统，例如从质谱仪系统传递到电子显微镜系统。优选地，离子在分析系统之间沿着其行进的离子光轴通过连接器，优选地通过连接器的中心且进一步优选地在连接器的纵向轴线上。优选地，离子光轴和连接器的纵向轴线大体上重合。17.在一些实施例中，例如其中一个分析系统(如第二分析系统)为质谱仪，连接器含有用于引导和/或聚焦通过其中的离子以减少离子损失的离子光学器件。连接器可容纳多极杆离子引导件以用于引导离子。连接器还可或替代地含有用于聚焦离子的一个或多个离子透镜。在一些实施例中，多极杆的一端连接到连接器，即支撑在连接器内部，且多极杆的另一端连接到一个分析系统，即由所述一个分析系统支撑(例如，支撑在第一分析系统内部)，使得多极杆的另一端可通过分析系统横向于连接器的纵向轴线移位而移位。以此方式，多极杆可以最小的损失将离子引导到第一分析系统中。优选地，连接到连接器，即支撑在连接器内部的多极杆的末端可旋转地支撑在连接器内部。优选地，多极杆的一端在第一(最硬的)密封件处或附近，优选地靠近或在与第一密封件相同的平面中(即，大体上在与第一密封件相同的平面中)的纵向位置处支撑在连接器内部。多极杆的此末端优选地可旋转地支撑，即支撑成准许旋转。18.多极杆的棒电极优选地保持在介电支撑件中。支撑件(通常为一对支撑件)优选地将棒固持在多极杆的每一端(棒的每一端)附近。介电支撑件可例如由陶瓷、石英或塑胶材料制成。19.在一个优选实施例中，多极杆的至少一个介电支撑件安放在连接器内部的支座上，且所述支撑件可在支座上旋转。支座可固定到连接器的内部，例如连接器的内壁或与其成一体。支座优选地可位于第一(最硬的)密封件处或附近，优选地在与第一密封件相同的平面中的纵向位置。为此，与支座接触的介电支撑件的一部分可被倒圆和/或抛光。在一些实施例中，多极杆的另一介电支撑件连接到(振动隔离的)第一分析系统。以此方式，另一介电支撑件且因此多极杆的另一端随着第一分析系统的移位而移动。优选地，至少处于或最靠近由分析系统的(竖直)位移引起的多极杆的旋转的中心的多极杆的介电支撑件是可旋转的(例如，倒圆和/或抛光的)。20.优选地，在位移期间多极杆的旋转中心位于连接器的纵向轴线上。旋转中心优选地还位于第一(最硬的)密封件处或附近，优选地接近第一密封件或在与第一密封件相同的平面中(即，大体上在与第一密封件相同的平面中)的纵向位置处。旋转中心优选地接近离子进入多极杆的入口以最小化系统移位时的未对准。在一些实施例中，容纳于连接器中的多极杆接收来自上游多极杆的离子，所述上游多极杆固定在例如质谱仪的第二分析系统内部。21.尽管系统会发生相对移动，但实现多极杆对准的替代实施例包括使用万向(cardan或universal)接头，所述万向接头允许相邻多极杆围绕两个正交轴线旋转而不会失去对准。在一个此类实施例中，连接器内部的多极杆的一端可连接到万向接头，例如可通过万向接头连接到另一多极杆。在此类实施例中，轴杆，优选地为中空圆柱形轴杆可分别附接到两个多极杆的相邻末端。一个多极杆可以是包含在连接器内部的多极杆，在此情况下，其轴杆可安装在连接器内部。另一多极杆可以是诸如质谱仪的分析系统的多极杆。轴杆可位于多极杆的介电支撑件周围，进而支撑多极杆的末端。轴杆可例如通过使球居中，优选地为陶瓷球或金属球而连接到中心轭，优选地具有不超过数十微米的公差。每一正交旋转轴线上可定位两个定心球，因此总共有四个球。每一轴杆可通过两个球(即，同一轴线上的两个球)连接到轭。轴杆由此能够借助于定心球而相对于彼此围绕正交轴线且相对于轭移动。在一些实施例中，离子透镜可位于多极杆的相邻末端之间。可使用其它限定旋转轴线的方式来代替定心球，例如销或微型波纹管。然而，由于操作中的应力较低，因此首选定心球。优选地，在此情况下，两个旋转轴线都通过离子透镜的孔隙的中心以最小化多极杆末端之间的未对准。22.为允许多极杆的纵向移位，由于联接器的柔性部分的移动(压缩和伸展)，支撑在第一分析系统内部的多极杆的末端可通过滑动配合定位在第一分析系统的外壳内部。例如，包含在连接器内部的多极杆的一端可连接到万向接头，且另一端通过滑动配合位于相应分析系统的外壳内部。在一个实施例中，多极杆中的一个可以构造为两个部分，其中一个多极杆部分稳固地固定到相应分析系统，另一多极杆部分连接到万向接头并可相对于第一多极杆部分纵向移动。例如，第一多极杆部分可固定在外壳内部，例如通过将其介电支撑件固定到外壳的内壁。第二多极杆部分可布置为其末端邻近于通过滑动配合位于外壳内部的第一部分。尽管两个多极杆部分可具有相同的rf电源，但可改变两个多极杆部分之间的间隙(g)以适应系统之间的移位。只要此移位的大小显著小于多极杆的内接直径d0，就不应预期发生离子损失或离子散射。23.由于连接器具有允许纵向移动的柔性部分，因此在一些实施例中需要避免可移动的多极杆与连接器内部的透镜之间的碰撞的装置。在一些实施例中，分析系统之间在纵向方向上的相对移动通过一个或多个止动件和/或一个或多个接近传感器来控制。例如，可提供一个或多个止动件(即，阻挡块)。这些止动件可布置成限制柔性部分的最大压缩和/或最大伸展。在一些实施例中，一个或多个止动件可连接到一个不移动的分析系统，例如第二系统。如果所述系统的移动超过柔性部分的预定压缩和/或伸展，则止动件布置成接合，即接触另一分析系统上的相应部分。可在系统的安装期间设置多极杆与透镜之间的最佳距离。在一些实施例中，可使用一个或多个接近传感器来控制距离，所述传感器例如弹簧触点或电容性、电感、磁性、光学和/或其它传感件。传感器优选地不允许系统之间的接触，或至少不超过低力弹簧加载的接触，使得不提供用于振动的路径。24.优选地，连接器的第一柔性部分的中心与第一密封件之间的距离l使得由连接器的第一端在横向于纵向轴线的方向上的位移(且因此其中的多极杆的位移)引起的离子的任何径向能量扩散(从而在连接器和上游分析系统中的离子光学器件(多极杆)之间产生角度偏差)小于进入连接器/多极杆的离子的径向能量扩散。例如，由位移或角度偏差引起的任何额外的离子径向能量扩散优选地小于进入连接器/多极杆的离子束的径向能量扩散的50％、40％、30％、20％、10％、5％。在一些实施例中，可通过使用一个或多个离子偏转器来补偿由位移引起的离子光学器件之间的角度偏差。25.在一些实施例中，可以是电子显微镜的第一分析系统可能需要与振动隔离。在一些实施例中，第二分析系统为振动(例如，泵产生的振动)源。在一些实施例中，第二分析系统为质谱仪。然而，配置可交换，使得在一些实施例中，第二分析系统可能需要与振动隔离。在一些此类实施例中，第二分析系统可以是电子显微镜，第一分析系统可以是振动(例如，泵产生的振动)源和/或第一分析系统可以是质谱仪。26.在一些实施例中，分析系统可分析离子。例如，质谱仪可根据传递到例如电子显微镜的成像系统的离子的质荷比来产生和选择离子。在另一实施例中，可例如使用使样品成像的扫描离子束或激光束在样品上的多个连续位置处从样品产生离子。在后一实施例中，样品可位于需要振动隔离的分析系统中，特别是在需要微米和亚微米级图像分辨率的情况下，且离子将通过本公开的联接器传递到质谱仪系统中以用于质量分析。离子可以是例如dna、rna、带有或不带有翻译后修饰的蛋白质、肽、蛋白质和dna/rna/蛋白质复合物、完整病毒等生物聚合物的离子。27.在质谱仪中，可通过(纳米)电喷雾电离、入口电离、基质辅助激光解吸电离(matrix-assistedlaserdesorption/ionization，maldi)、解吸电喷雾电离、环境离子源等从分析物产生离子。质谱仪可包括离子质量选择器或过滤器，优选地为四极杆滤质器，以基于离子的质荷比过滤离子。质谱仪可以是以下类型中的一种或多种：带有四极杆滤质器的轨道捕获分析器(如orbitraptm混合或tribridtm质谱仪)、三重四极杆质谱仪、四极杆飞行时间(q-tof)质谱仪等。成像系统可以是以下一种或多种类型的电子显微镜：sem、tem、电子全息显微镜、衍射仪或可以是使用二次离子或激光离子源的成像质谱仪。例如电子显微镜的分析系统可包括用于从质谱仪接收离子以用于样品制备的软着陆衬底。衬底可包括石墨烯支撑件。可以在分析系统的一个或多个分析阶段利用低温冷却，例如对电子显微术(cryo-em)的衬底或样品进行低温冷却。28.在一些实施例中，一个分析系统为质谱仪，且另一分析系统为利用带电粒子(例如，离子)的成像系统，例如电子显微镜或成像ms。成像系统可选自：tem、sem、电子全息(eh)显微镜、使用二次离子质谱法(sims)的成像质谱仪(msi)以及使用激光的成像质谱仪(msi)，例如maldi或maldi2。本公开因此在特定方面提供包括质谱仪和成像系统的分析系统，其中质谱仪和成像系统通过根据本公开的联接器而连接。附图说明29.图1示意性地展示两个分析系统的组合或混合体。30.图2示意性地展示可用以将离子提供到另一分析系统的质谱仪系统的实施例。31.图3示意性地展示用于联接基于真空的分析系统从而实现系统的振动隔离和相对移动的实施例。32.图4示意性地展示由分析系统的相对竖直位移引起的离子光学器件的角度偏差α。33.图5示意性地展示用于校正离子束位置的透镜的实施例。34.图6示意性地展示用于校正离子束位置的偏转器系统的另一实施例。35.图7示意性地展示用于联接基于真空的分析系统从而实现系统的振动隔离和相对移动的另一实施例。36.图8示意性地展示用于联接基于真空的分析系统从而实现系统的振动隔离和相对移动的又一实施例。具体实施方式37.现在将参考图式描述各种实施例。实施例意图说明本公开的各种特征，且并不意图限制本公开的范围。应了解，可对这些实施例作出变化，但这些变化仍属于随附权利要求的范围内。38.图1示意性地展示两个分析系统(100、300)的组合或混合体(1)。分析系统(100)接收并制备待由分析系统(300)分析的样品(2)。本文中被称作第一分析系统的分析系统(300)为至少在分析期间需要与振动隔离的分析系统。第一分析系统(300)在使用中通常保持在真空下。第一分析系统(300)可以是例如电子显微术(em)系统或任何其它高分辨率成像系统。第一分析系统(300)在使用中通常保持在真空下。在本文中被称作第二分析系统分析系统(100)为例如为振动源的分析系统，因为分析系统连接到产生剧烈振动的一个或多个真空泵且由所述真空泵泵送。第二分析系统(100)可以是例如质谱(ms)系统。尽管系统(100)可为将离子传递到成像系统(300)的质谱系统，但在另一实施例中，系统(100)可为从精确限定的点产生离子(例如，使用扫描离子束或激光束)且将离子传递到质谱系统(300)的成像系统。取决于应用，可将离子从系统(100)传送到系统(300)或从系统(300)传送到系统(100)。例如，可例如使用离子束或激光束在成像系统(300)中产生离子，并将其传递到质谱系统(100)。39.一般来说，本公开的联接器适用于第一分析系统和第二分析系统中的一者需要与由另一系统产生的振动隔离的情况。例如，如实例中所示，第一分析系统需要与第二分析系统的振动隔离。然而，在其它实施例中，第二分析系统可能需要与由第一分析系统产生的振动隔离。40.第二分析系统(100)可通过在离子源中产生离子且使用例如四极杆滤质器或质量选择离子阱的质量选择器针对质量选择所关注的离子来制备样品。以此方式，特定质荷比或特定质荷比范围内的样品离子在第二分析系统(100)中被选中且可由离子光学器件引导到分析系统(300)中。样品可例如通过离子软着陆技术从第二分析系统(300)接收在第一分析系统(300)中，当第一分析系统(300)为电子显微(em)系统时，所述离子软着陆技术适用。41.分析系统(100、300)通过联接器(200)连接，所述联接器是本公开的主题且在下文更详细地描述。42.图2示意性地展示可用以将离子提供到另一分析系统的质谱仪系统(100)的配置。系统尤其适用于在其它分析系统(例如，电子显微系统)中为软着陆提供离子。质谱仪(100)基于利用四极杆滤质器与呈轨道离子阱质量分析器形式的静电阱质量分析器的混合配置的thermoscientifictmqexactivetm系列仪器(赛默飞世尔科技公司)中使用的布局。43.质谱仪(100)包括大气压电喷雾离子源(102)以从所供应的样品形成离子。样品可含有如上文所描述的生物聚合物(dna、蛋白质等)。样品可以是提供为随时间而变的液体样品，例如通过从色谱分离系统(未展示)或其它液相分离中洗脱。例如，样品可以是通过尺寸排阻色谱、毛细电泳法、固相萃取、液相色谱、亲和分离或其它液相分离提供的液体样品。应了解，取决于样品的类型，可使用其它离子源。例如，本发明还可用于分析由基质辅助激光解吸/电离(maldi)、激光喷雾或任何其它入口电离，或实际上任何其它能够产生高m/z离子的技术产生的离子，例如所描述的生物聚合物的离子。44.来自电喷雾的离子通过加热的离子转移毛细管(104)到达堆叠式环形离子引导件(srig或s-lens)(106)，且接着通过注射扁平杆(110)和弯曲扁平杆(114)。s-lens区域由真空泵泵送且通常为1至10mbar。压力梯度将离子吸入大气压区域的离子转移毛细管并将其传送到s-lens区域。rf电压被施加到s-lens(106)的电极以朝出射透镜(108)的开口聚焦离子。来自s-lens(106)的离子通过出射透镜(108)且朝注射扁平杆(110)移动，所述注射扁平杆是充当离子聚焦装置的扁平金属电极的阵列。聚焦rf和dc偏移电压被施加到注射扁平杆。通过第一涡轮分子泵(tmp)(未展示)的第一段泵送注射扁平杆(110)。离子接着通过扁平杆间透镜(112)，所述扁平杆间透镜为具有小孔的金属板，离子束可通过所述小孔。向透镜施加dc电势以帮助离子传递。离子进入弯曲扁平杆(114)，所述弯曲扁平杆充当离子传递装置。所述弯曲扁平杆将离子从注射扁平杆(110)引导通过90°弧到达四极杆滤质器(130)，且去除通过s-lens和注射扁平杆的惰性气体射流和溶剂液滴。由于扁平杆(114)的弯曲形状，中性粒子无法沿循扁平杆的弯曲路径。通过第一tmp的第二段泵送弯曲扁平杆。出射透镜116将离子束聚焦到四极杆滤质器(130)中。45.四极杆(130)为充当电极的精密加工且精密对准的双曲线轮廓圆形棒的正方形阵列。四极杆(130)可以(仅rf)全传输模式操作以允许全范围质荷比的离子通过，或作为具有施加到棒的rf和dc电压的滤质器，所述棒作为多对相对棒连接。将相同振幅和正负号的电压施加到每一对棒。然而，施加到不同棒对的电压振幅相等但正负相反。选择电压以使得四极杆(130)选择所要质荷比或质荷比范围的离子通过。通过第一tmp的另一段泵送四极杆(130)。46.从四极杆(130)开始，选定的离子通过对切透镜(118)和转移多极杆(120)并进入弯曲的线性离子阱(c-trap)(140)，所述弯曲的线性离子阱包括通常处于(0.1-1)x10-3mbar的压力下的rf电极。可在c-trap(140)中收集并冷却离子。任选地，可传递离子以进一步冷却到通常包括rf多极杆的充气碰撞池(150)中。可使用轴向电场将离子从池(150)传递回到c-trap(140)中。c-trap的末端孔隙(分别为入口和出口孔隙122、124)上的电压升高以沿着其轴线提供电势阱。c-trap(140)中的离子在与例如氮气的浴气碰撞时失去动能，并聚集在c-trap的中间部分附近。如果需要，由电压偏移提供的轴向场可施加到碰撞池(150)以在其中提供离子碎裂。如果不需要碰撞池(150)来冷却或碎裂离子，那么可在较低压力(例如，3x10-6mbar)下泵送离子。47.通过断开rf且将dc电压脉冲施加到c-trap，离子可通过c-trap中的槽从c-trap(140)垂直(径向)注入到静电轨道捕获质量分析器(轨道离子阱质量分析器)(160)中。c-trap(z-lens144)之间的透镜充当差动泵送槽且使离子束在空间上聚焦到轨道离子阱质量分析器的入口中。离子通过透镜(144)静电偏转远离气体射流，由此消除进入轨道离子阱质量分析器的残留气体。轨道离子阱隔室中的真空优选地低于1x10-9mbar(例如，低于7x10-10mbar)以用于质量分析。c-trap(140)到轨道离子阱(160)的区域可由第一tmp的其它段或由第二tmp的各段泵送。轨道离子阱质量分析器(160)包括由一对钟形外部电极包围的纺锤形中心电极的轴向对称布置，且采用中心电极与外部电极之间的电场来捕获和限制离子。受限离子以取决于离子质荷比的频率进行相干轴向振荡。轨道离子阱分析器的外部电极的两个半部检测由振荡离子产生的镜像电流。通过放大镜像电流的快速傅立叶变换(fft)，质谱仪获得轴向振荡的频率，且由此获得离子的质荷比。以此方式，质谱仪可利用轨道离子阱质量分析器(160)检查或验证供应到另一分析系统(电子显微镜)的离子的质荷比，如下文进一步描述。48.替代地，为了在c-trap(140)中捕获离子，离子可通过c-trap和碰撞池(150)到达第一多极杆离子引导件(quad1，170)，所述第一多极杆离子引导件为四极杆离子引导件但可为较高多极杆离子引导件(例如，六极或八极)。第一多极杆离子引导件(170)通过连接到另一涡轮分子泵(tmp)的泵送端口(171)而保持在泵送到高真空，例如《1x10-6mbar的腔室中。离子到达第二多极杆离子引导件(quad2，172)，所述第二多极杆离子引导件为四极杆离子引导件但可为较高多极杆离子引导件，其通过连接到另一tmp的泵送端口(173)而保持在泵送到高真空，例如4x10-8mbar的腔室中。最后，离子到达第三多极杆离子引导件(quad3，174)，所述第三多极杆离子引导件可为较高多极杆离子引导件，其通过连接到另一tmp的另一泵送端口(175)而保持在泵送到超高真空(uhv)，例如1x10-10mbar的腔室中。施加到多极杆的rf电压会在离子通过时聚焦离子。高真空泵送端口(171、173)可配置成用于比uhv泵送端口(175)(例如，300l/s)更低的泵送速度(例如，50l/s)。被称为差动泵送孔隙(dpa)的孔隙(178)位于第一多极杆与第二多极杆的腔室之间以及第二多极杆与第三多极杆之间以分隔真空级。容纳第一、第二和第三多极杆的高真空和超高真空腔室中的每一者还可容纳相应离子计(180、182、184)。第三多极杆(174)将离子传递到另一分析系统。在所示实施例中，第三多极杆(174)将离子传递到离子光学器件(188)以用于将离子软着陆到衬底(190)上以用于通过电子显微镜或电子全息术(300)分析。离子光学器件(188)可包括减速电压光学器件，例如减速透镜，其被偏置以减少用于软着陆的离子能量。衬底(190)可在平移台(未展示)上移动到电子显微镜的分析位置。可操作闸阀(186)以将质谱仪和电子显微镜环境彼此隔离，例如，在使用电子显微镜分析期间，或当执行需要破坏真空的任一系统的维护时。49.图3示意性地展示用于将质谱仪100联接到电子显微镜300的实施例。展示了适用于连接第一分析系统和第二分析系统的联接器200，所述第一分析系统和第二分析系统在其操作期间通常保持在真空下且一个系统需要振动隔离。因此，联接器与维持分析系统内部的真空条件兼容。连接某些分析系统，例如图1和图2中展示的系统的问题在于需要在系统之间对振动进行解耦。例如，质谱仪系统通常由产生振动的涡轮分子泵泵送，所述振动足够强烈而影响到电子显微镜系统，尤其是高分辨率电子显微镜的性能。另一个问题在于，在使用中，两个分析系统之间可能需要发生竖直位移。这对于其中离子光学器件沿着大体上水平的路径或从第一分析系统(例如，质谱仪)到第二分析系统(例如，电子显微镜系统)的线提供离子光学路径的离子光学设计尤其成问题，因为位移可引起离子光学器件的弯曲和离子光学器件(多极杆)的过度角度偏差，从而导致离子束的不可接受的增加的径向能量扩散。本公开解决了这些需要。50.联接器(200)包括具有纵向轴线(x)的管状圆柱形连接器(202)。轴线纵向延伸(即，端到端)穿过连接器的中心。连接器202在连接器的第一端处具有呈波纹管(206)形式的柔性部分，所述柔性部分连接到需要与振动隔离的分析系统(电子显微镜)的真空管(209)的开口或端口(208)。波纹管可由在真空中焊接在一起的薄不锈钢片制成。51.波纹管(206)可连接到第一分析系统上的端口(208)，例如通过可(例如，利用螺栓)固定到端口上的凸缘(例如，其间具有真空密封件，如uhv金属密封件)的凸缘(未展示)。例如，波纹管与端口的连接可通过法兰(cf)凸缘进行。在更持久的连接实施例中，波纹管(206)可焊接到系统的端口(208)。应了解，其它连接是可能的，前提是其为与真空兼容的连接(真空密封)，优选地与hv或uhv兼容。52.波纹管(206)耗散来自质谱仪的振动且减少或防止其传递到电子显微镜系统。来自质谱仪的振动源是一个或多个真空泵，其中一个真空泵展示为多端口涡轮分子泵(210)。还展示了泵的多个泵送端口(212、214、216)，其泵送不同的真空级。波纹管(206)允许连接器在纵向轴线(x)的方向上移位。波纹管(206)还允许连接器的第一端在横向于纵向轴线(x)的方向(y)上移位，所述移位由真空管(209)为其一部分的分析系统(例如，电子显微镜)在此方向上的位移引起。53.呈o形环形式的第一径向密封件(220)位于连接器202的外表面中的周向(径向)凹槽(222)中。第一密封件(220)设置于与波纹管(206)分离的连接器上的位置处以用于在连接器(202)与第二分析系统(例如，质谱仪)的开口或端口(224)之间进行密封。开口或端口(224)优选地为圆柱形且具有大于连接器(202)的外径的内径，使得密封件(220)在其间提供密封。第一密封件(220)提供针对分析系统外部的大气压(a)的密封。第一密封件(220)和定位凹槽(222)定位于连接器的与具有波纹管(206)的第一端相对(远端)的第二端处或附近。第一径向密封件(220)允许连接器的第一端在横向于纵向轴线(x)的方向(y)上移位，例如当波纹管上的应力超出极限时。54.在比第一密封件(220)更远离波纹管(206)的连接器上的位置处设置与第一密封件(220)分离的呈o形环(或替代地呈c形环)形式的第二径向密封件(230)。第二径向密封件(230)位于连接器202的外表面中的周向(径向)凹槽(232)中。第二密封件在连接器(202)与第二分析系统(质谱仪)的开口或端口(224)之间提供密封。第二密封件(230)密封分析系统的内部真空。如果需要，可提供其它密封件。至少两个密封件提供从大气到分析系统的高(hv)或超高(uhv)真空区域的密封。55.连接器(202)包括呈第一密封件(220)与第二密封件(230)之间的第二波纹管(236)形式的第二柔性部分。因此，第二密封件(230)进一步与系统的振动隔离侧振动隔离。在所示实施例中，第二波纹管(236)占据第一密封件(220)与第二密封件(230)之间的连接器的大部分长度。波纹管(236)可由在真空中焊接在一起的薄不锈钢制成。56.第一密封件(220)和第二密封件(230)优选地不含金属，即非金属密封件。第一密封件和第二密封件优选地不产生金属对金属接触，即在系统之间。优选地，密封件(例如，第一密封件和第二密封件)在连接系统之间提供电绝缘以避免接地回路。因此，优选地，在联接中，两个密封件都不导电。57.第一密封件和第二密封件彼此具有不同硬度。最接近于大气的第一密封件(220)具有比第二密封件(更接近于真空)高的硬度，因为其需要承受最高压差。在所示实施例中，第一密封件(220)为呈氟橡胶o形环形式的弹性体密封件，而第二密封件(230)为呈聚四氟乙烯(ptfe)o形环密封件或c形环密封件形式的低释气聚合物密封件。聚合物密封件具有较低压缩/变形且主要用以阻挡密封间空间与(超)高真空侧之间的视线。在面向uhv区的区域较小的情况下，已知例如ptfe密封的聚合物密封与低至10-9至10-10mbar的压力兼容，这对于大多数应用是足够的，包含离子的软着陆和/或电子显微法。第一密封件与第二密封件之间的密封间空间或体积(238)由涡轮泵(210)的一个端口(212)差动泵送，例如在压力10-5mbar下。58.图3中展示的实施例展示分别含有离子光学系统的两个多极杆的两个真空级。在此实施例中被称作输入多极杆(240)的一个多极杆存在于hv(例如，10-8mbar)中，且在此实施例中被称作输出多极杆(250)的另一多极杆存在于uhv(《10-9mbar)中。输入多极杆和输出多极杆(240和250)可例如为图2中展示的系统的quad2(172)和quad3(174)，或可为quad1(170)和quad2(172)。在此实施例中，多极杆(240、250)为四极杆，但可实施为例如四极杆、六极杆、八极杆，一般为2*n极杆(n为整数，通常为2、3或4)，其中rf电压的一个相位施加到所有奇数极杆，且rf的另一相位施加到所有偶数极杆。59.多极杆(240、250)确保将离子从质谱仪传送到振动隔离系统，同时将离子损失降至最低。多极杆(240、250)的离子光学系统提供穿过多极杆的中心轴线的水平离子光轴，所述水平离子光轴大体上与连接器(202)的纵向轴线(x)对准。因此，在方向x/上行进的离子的离子光轴在分析系统之间穿过连接器(202)的中心。连接器(202)除容纳用于引导离子的离子光学器件(例如，所示多极杆)之外，连接器还可任选地容纳用于聚焦离子的额外离子光学器件，例如位于多极杆之间的一个或多个离子透镜(242)。60.多极杆(240)包括作为极或电极的棒(244)，所述棒通过呈在其末端附近支撑棒的环形式的介电支撑件(246)保持分开且(平行)对准。介电支撑件由电绝缘材料制成，例如陶瓷或石英或塑料。介电支撑件(246)安装在外壳(248)内部，所述外壳自身安装在质谱仪的高真空级内部。输出多极杆(250)安装在连接器(202)内部。多极杆(250)同样包括作为电极的棒(254)，所述棒通过呈在其末端附近支撑棒的环形式的介电支撑件(256)保持分开且对准。介电支撑件(256)安装或安置在支座(258)上，其中一个支座固定到连接器(202)的内部，或与其成一体，或以其它方式连接到所述连接器的内部，另一支座固定到振动隔离分析系统(电子显微镜或msi)的端口(208)。如上所述，多极杆(240、250)确保以最小的损失传送离子。然而，应了解，在其它实施例中，可存在不同离子光学系统，或离子光学系统可不存在于联接器中。61.对于振动隔离的分析系统，例如电子显微镜系统，可能有必要采用主动平台和/或被动空气台，这会导致系统相对于其它系统竖直地移动，即上下移动。此可达若干毫米(mm)的位移将使第一密封件(220)两侧上的联接器的波纹管变形且使输出多极杆(250)相对于其接近第一密封件(氟橡胶o形环)的支座(258)旋转。未严格要求第一密封件(220)与旋转中心和/或多极杆支座(258)处于同一平面，但这是优选的，以便最小化振动隔离侧上的真空管(209)上的弯曲应力。对输出多极杆介电支撑件(256)中的至少一个，即最靠近第一密封件(220)的一个在其接触其支座(258)的表面(257)上进行圆化并优选地进行抛光，使得多极杆的旋转平稳地进行。介电支撑件(256)也靠近输出多极杆的末端定位以最小化棒末端的移位，优选地位于多极杆和/或第一密封件(220)的旋转中心附近或在与所述旋转中心相同的平面内)(即大体上与多极杆和/或第一密封件的旋转中心在同一平面内)。62.第一密封件和第二密封件(220、230)之间的差动泵送允许将氟橡胶o形环的压缩从通常的20％至30％降低到例如10％至15％。这使得氟橡胶o形环更软且更可变形，由此增加从另一侧(质谱仪)到达的振动的阻尼。优选地，选择尺寸略微过大的第一密封件的o形环绳，例如具有6至10mm的od。63.第一密封件的o形环确保粗略对准离子光学器件，但可通过使用用于校正离子束的校正离子光学器件实现离子光学路径的较精细对准。在图5中所示的一个实施例中，多极杆之间的透镜(242)可由四象限偏转器电极制成：用于离子的垂直位移的顶部/底部对(243、243')，以及用于通过轴线x的方向的离子的横向位移的左/右对。在一些情况下，离子束的独立调整件可布置在仪器的两侧上。例如，输入多极杆(240)和/或输出多极杆(250)的棒可具有施加到其的独立dc电压以在调谐期间按需要使离子轴移位。优选地将离子偏转能力并入位于输入多极杆和输出多极杆(240、250)之间的透镜(242)中。对于具有四分体的薄透镜，电极上只能施加几伏特的电压。64.如图4中所示，如果由于偏差，额外径向能量扩散与传入离子束的径向能量扩散相比较小，那么输出多极杆到输入多极杆的角度偏差α(输出多极杆与输入多极杆之间的角偏差)将不会显著影响具有电荷状态z的传入离子束的参数。由于后者在kt处具有下限(k为玻尔兹曼常数)，则[0065][0066]其中v为输出多极杆的电压偏移与最后一个充气多极杆发射离子(即，传入输出多极杆的离子的加速电压)之间的电压差，且e为元电荷。例如在图2中，最后一个充气多极杆可以是hcd池(150)。举例来说，对于具有z＝25的蛋白质且对于室温(t＝300k)和v＝10v的典型条件，我们获得要求α《10mrad。因此，对于仪器的两个系统之间的最大竖直偏差或位移h，在振动隔离侧上的波纹管(206)的中心与旋转介电支撑件(256)之间的长度l，应为l》h/α。对于以上实例，h＝1mm，l》100mm(即，l》100*h)。因此，一般而言，长度l使得对于系统的最大横向位移(例如，用于水平光轴的竖直位移)，多极杆的所得角度偏差使离子的额外径向能量扩散比传入离子束(进入输出多极杆)的所添加的径向能量扩散更小，且优选地小得多的，例如小于入射离子束的径向能量扩散的50％、40％、30％、20％、10％、5％。[0067]同时，如果多极杆之间的竖直偏差h小于，确切地说显著小于离子束的径向大小(r)，那么可忽略所述竖直偏差，所述径向大小对于四极杆离子引导件可估计为[0068][0069]其中mmin为四极杆引导件的低质量截止值，vrf为rf电压的振幅，且m/z为所关注的离子的质荷比。例如，如果多极杆之间的竖直偏差h小于离子束径向大小(r)的50％、40％、30％、20％、10％、5％，则可以忽略所述竖直偏差。因此，由于分析系统的位移而导致的多极杆之间的竖直偏差h通常需要小于这些限值。[0070]可例如在透镜(242)内使用多极杆(240、250)之间的单个偏转器补偿h或h，但这两者的补偿将需要在多极杆之间的至少两个偏转器。这可如图5中所示布置，其中具有竖直和横向偏转器，此为最短系统。另一可能的偏转器系统在图6中示出，且包括一对竖直偏转器(263)和一对横向偏转器(265)，所述偏转器纵向分离使得在多对(263、265)之间存在间隙，从而允许例如闸阀(270)定位在其间(还示出闸阀密封支座(272))。尽管从增加的损失的角度来看这是不合需要的，但如果无论如何都需要多极杆之间的间隙，例如以容纳用于分离相应分析系统的真空系统的闸阀，那么此类实施例可为适当的。[0071]尽管系统相对移动，但仍能实现多极杆的一致对准的替代方法可使用如us10,460,920和us10,720,315中所述的柔性基于pcb的离子隧道。然而，在hv和uhv条件下使用如此多的pcb并不总是可接受的。[0072]对于hv和uhv条件的情况，在图7中示意性地展示能够实现多极杆精确对准而不管系统相对移动的另一实施例。图7展示侧横截面图(i)及顶部横截面图(ii)。在使用与图3中相同的部分处使用相同的参考数字。图7的设计体现了万向(cardan或universal)接头(300)(https://en.wikipedia.org/wiki/universal_joint)的原理，并允许多极杆围绕两个正交轴线相互旋转而不会失准。在此实施例中，呈第一中空圆柱形轴杆(340)和第二中空圆柱形轴杆(350)形式的两个轴杆分别附接到输入多极杆和输出多极杆(240和250)的相邻末端。轴杆位于多极杆的介电支撑件(246)周围，由此支撑多极杆的末端。第二轴杆(350)装配在连接器(202)内部。例如通过优选地为陶瓷球或金属球的定心球(320)，轴杆(340和350)精确对准且连接到中心轭环(310)，优选地具有不超过数十微米的公差。两个定心球位于每个正交旋转轴(y轴和z轴)上，因此总共有四个球。轴杆(340、350)能够借助于定心球(320)相对于彼此围绕正交轴线移动且相对于轭(310)移动。为了辅助振动隔离，轭和/或轴杆可由ptfe、peek或其它真空兼容的塑料制成。并且，可实施轴杆以将轴杆横截面(例如，凹槽)的急剧变化特征化为减少振动传递的额外措施。优选地，两个旋转轴都穿过透镜(330)的透镜孔隙(325)的中心以最小化h。为了允许双头箭头a所示的纵向(x方向)移位，由于波纹管(206)的移动，输出多极杆(250)可构造为两个部分，其中一个部分(250')稳固地固定到对应的分析系统，且另一部分(250")连接到万向接头且可相对于第一部分纵向移动。例如，多极杆(250')的第一部分可固定在例如圆柱形外壳的外壳(309)内，例如通过将多极杆的介电支撑件固定到外壳的壁。第二部分(250")可布置为使其末端邻近于以抛光滑动配合定位于外壳(309)内的第一部分(250')。尽管其可具有同一rf电源，但可改变两个多极杆部分(250'、250")之间的间隙(g)以适应系统之间的移位。只要此移位显著小于内接多极杆直径d0，就预期无离子损失或散射。[0073]另一实施例示意性地展示于图8中。实施例类似于图3中展示的实施例，其中具有许多相同组件但具有以下修改。由于连接器(202)具有柔性部分(206)，这允许相当大的纵向(x)移动，因此需要预防措施以避免多极杆(250)与透镜(242)的碰撞。实际上，这可借助于图8中展示的一个或多个硬止动件(410、420)实施。这些止动件可布置成限制柔性部分(206)的最大压缩(止动件410)或最大延伸(止动件420)或这两者。在此实施例中，径向突出部或凸缘(430)布置在连接有连接器或柔性部分的分析系统的末端上。径向突出部或凸缘(430)物理地接合抵靠着布置在径向突出部或凸缘(430)的两侧的硬止动件(410、420)，所述硬止动件在此情况下通过连接构件(440)连接到另一分析系统。可在系统的安装期间设置多极杆(250)与透镜(242)之间的最佳距离，且随后使用一个或多个接近传感器(450)控制所述最佳距离，如图8所示。一个或多个接近传感器(450)可包括弹簧触点或电容性、电感、磁性、光学和/或其它传感件。主要要求为一个或多个传感器不产生振动路径，即，其优选地不在系统之间产生接触或不超过低力弹簧加载的接触。当一个或多个接近传感器感测到系统接触或将要接触时，信号可从一个或多个传感器发送到控制器，所述控制器可停止分析测量和/或发起系统中的至少一个的位置调整(在一些实施例中，还可手动地执行位置调整)，以避免在分析测量期间系统之间的不利的振动传递。硬止动件和/或接近传感器的特征还可与图7中展示的实施例一起使用。应了解，系统总体可并有减小振动的其它已知方式，例如在分析系统的真空泵端口与真空腔室之间使用波纹管。[0074]尽管本公开已大体上提及成像系统为第一分析系统且质谱仪为第二分析系统的实例，但在其它实施例中，质谱仪可为第一分析系统且成像系统可为第二分析系统。[0075]应了解，分析系统可包括：[0076]-作为前端以产生且选择离子的现有质谱仪系统或架构例如基于以下各者的那些系统：轨道阱质量分析器(例如，轨道离子阱质量分析器)、混合四极杆轨道阱质量分析器、三元四极杆轨道阱线性离子阱质量分析器、三元四极杆轨道阱飞行时间(tof)质量分析器、三元四极杆质量分析器、四极杆飞行时间(q-tof)质量分析器等。[0077]-作为后端接收离子且使其成像的现有电子显微系统例如：sem、tem、电子全息术、衍射测定法等，包含设计成利用离子软着陆进行样品制备的此类系统，例如使用石墨烯样品支撑件进行软着陆[0078]-作为前端以产生离子的成像质谱(即接收样品的系统)，以用于其它分析系统中的质谱分析。此类系统可利用离子或电子束以在使用或部使用基质的情况下产生二次离子或激光解吸附或烧蚀。例如使用激光或电子后电离的多级电离方法也是可能的。[0079]-在一个或多个分析阶段(质谱和/或电子显微阶段)进行低温冷却。[0080]一般来说，用于离子软着陆的衬底或支撑件优选地应为电子透明的(例如，对于电子全息，在小于200ev的能量下是电子透明的，而对于em，在50到300kev的能量下是电子透明的)、超清洁的、非反应性的和导电的。在一些实施例中，用于衬底的材料是二维(2d)材料。用于衬底的实例(2d)材料包含单层或双层石墨烯、六方氮化硼(hbn)、二硫化钼、二硒化钨和二硫化铪。[0081]应了解，分析系统可适用于分析生物聚合物分析物，例如dna、rna、肽、带有或不带有翻译后修饰的蛋白质、蛋白质、dna、rna复合物或其组合(例如，天然状态的核糖体)，以及更复杂的排列，例如脂筏、胶束、细胞膜区域等、完整病毒等。在一些实施例中，样品是蛋白质，例如溶菌酶、钙调蛋白、蛋白a/g、ompf孔蛋白(大肠杆菌的外膜蛋白)、单克隆抗体免疫球蛋白(igg)、c反应蛋白(crp)、抗生蛋白链菌素和人血清白蛋白，仅举几例。在其中样品为蛋白质的实施例中，可能需要蛋白质在制备和质量过滤之后处于所要的类似天然的状态。系统优选地产生一个或多个前述类型的生物聚合物的离子。分析物的属性可由系统的质量分析器(例如，轨道离子阱质量分析器、tof质量分析器等)或额外的光谱法验证。仅包含前述样品类型列表作为说明，并不限制本公开。离子可通过任何合适的离子源从质谱仪中的分析物产生，例如(纳米)电喷雾、入口电离、maldi、解吸附电喷雾电离、环境离子源等。[0082]从前述描述将了解，本公开实现两个系统之间的振动解耦，而系统之间无金属对金属接触。本公开的实施例涉及用于连接质谱仪与其它基于真空的仪器，确切地说是对振动敏感的分析仪器的联接器，例如呈混合ms/tem或ms/sem配置的扫描和透射电子显微镜(sem/tem)。然而，应了解，联接器可适用于连接需要振动隔离的任何分析系统，且确切地说是基于真空和/或在使用期间需要相对位移的系统。本公开的实施例提供振动解耦，同时还适应系统之间的相对位移。由系统之间的相对位移引起的离子光学器件之间的偏差被最小化，以最小化离子束的能量扩散。联接器允许通过允许例如从ms系统到em系统的(超)高真空离子路径来利用现有ms系统或基础设施。[0083]如本文所使用(包含在权利要求书中)，除非上下文另外指示，否则本文中的术语的单数形式应被解释为包含复数形式，且反之亦然。例如，除非上下文另外指示，否则本文中(包含权利要求书中)的单数形式，如“一个(a)”或“一种(an)”，是指“一个或多个”。[0084]遍及本说明书的描述和权利要求书，词“包括(comprise)”、“包含(including)”、“具有(having)”和“含有(contain)”和这些词的变化(例如“包括(comprising、comprises)”等)意味着“包含(但不限于)”，且并不意图(且并不)排除其它组件。[0085]应了解，可对本公开的上述实施例作出变化，但这些变化仍落入由权利要求所限定的本公开的范围内。除非另外说明，否则本说明书中所公开的每个特征都可以替换为用于相同、同等或类似目的的替代特征。因此，除非另外说明，否则所公开的每个特征仅是一系列的等价或相似的属性特征的一个示例。[0086]本文中提供的任何和所有实例或示例性语言(“举例来说”、“诸如”、“例如”以及类似语言)的使用意图仅更好地说明本公开，且除非另外要求，否则并不指示本公开的范围上的限制。本说明书中的任何语言都不应被解释为指示实践本公开所必需的任何未要求的要素。当前第1页12当前第1页12