一种传动机构及其换料装置的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜技术领域，具体是一种传动机构及其换料装置。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括真空电阻加热蒸发、离子束溅射、mbe分子束外延等。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
3.在真空镀膜机中需要设置换料机构，换料机构中需要用到传动机构，而目前的传动机构主要通过齿轮传动。
4.现有的齿轮传动机构由于真空炉内空间的限制，影响了动力输入轴的设置，影响了sio2环的自动换料。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种传动机构及其换料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种传动机构，包括：
8.支撑组件；
9.主动组件，一端与所述支撑组件转动连接；
10.从动组件，一端与所述支撑组件转动连接；
11.传动组件，传动组件，一端与所述主动组件相连，另一端与所述从动组件相连，用于驱动所述从动组件，且所述从动组件的转动角度小于所述主动组件的转动角度。
12.本实用新型还公开了一种换料装置，包括换料本体，所述换料本体内安装有上述的传动机构。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置传动组件将主动组件与从动组件连接，实现了主动组件顺时针转动90
°
带着从动组件逆时针转动60
°
，克服了空间的限制，避免影响动力输入轴的设置。
附图说明
14.图1为传动机构的结构示意图；
15.图2为传动机构中传动组件的结构示意图；
16.图3为传动机构中传动组件的剖视图。
17.图中：1
‑
罩壳、2
‑
动力输入轴、3
‑
第一滑臂、4
‑
夹板、5
‑
滑销、6
‑
止动螺钉、7
‑
坩埚从动轴、8
‑
调节螺钉、9
‑
第二滑臂、10
‑
转轴、11
‑
销片、12
‑
转轴孔、13
‑
螺纹孔。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
19.在本实用新型的一个实施例中，如图1所示的传动机构，包括：
20.支撑组件；
21.主动组件，一端与所述支撑组件转动连接；
22.从动组件，一端与所述支撑组件转动连接；
23.传动组件，一端与所述主动组件相连，另一端与所述从动组件相连，用于驱动所述从动组件，且所述从动组件的转动角度小于所述主动组件的转动角度。
24.在本实施例中，工作时通过主动组件进行驱动，在传动组件的配合下，当主动组件顺时针转动时，从动组件逆时针转动，且所述从动组件的转动角度小于所述主动组件的转动角度，从而克服了空间的限制。
25.在本实用新型的一个实施例中，所述支撑组件包括：
26.罩壳1，设有与主动组件相配合的第一转动槽和与从动组件相配合的第二转动槽。
27.在本实用新型的实施例中，罩壳1用于整体结构的支撑，为方便将其固定，可以在罩体1上设置相应的固定螺栓，便于拆装，第一转动槽和第二转动槽设置在罩壳1的两侧，保证传动组件可以稳定设置在罩壳1内并进行稳定传动。
28.在本实用新型的一个实施例中，支撑组件为相互配合的上壳和下壳，两者配合，便于提高主动组件和从动组件的转动稳定性，在本实施例的一种情况中，支撑组件实际上就是主动组件和从动组件的安装载体，其可以有多种结构或者表现形式，只需要其具备安装载体的功能即可，本实施例在此不进行具体的限定。
29.请参阅图1，在本实用新型的一个实施例中，所述主动组件包括:
30.驱动件，一端设置在所述第一转动槽内并与其转动连接，另一端与驱动设备相连；
31.第一随动件，套设在所述驱动件外部并与其固定连接，所述第一随动件上设有与所述传动组件相配合的第一滑动通道；
32.所述从动组件包括：
33.从动件，一端设置在所述第二转动槽内并与其转动连接，另一端与坩埚组件相连；
34.第二随动件，套设在所述从动件外部并与其固定连接，所述第二随动件上设有与所述传动组件相配合的第二滑动通道。
35.在本实用新型的实施例中，驱动件为动力输入轴2，通过驱动设备带着动力收入轴2进行转动，优选的，转动角度为0
‑
300
°
，第一随动件为第一滑臂3，可以通过夹板4固定在动力输入轴2上，也可以采用焊接或螺栓固定的方式，保证第一滑臂3可以随动力输入轴2稳定转动即可，第一滑动通道为与传动组件相配合的第一滑槽；在本实施例中，驱动件还可以是与驱动设备连接的驱动杆，第一随动件为套设在驱动杆外部并与其固定连接的第一滑杆，当驱动设备驱动驱动杆转动时，第一滑杆在罩壳1内进行稳定转动；从动件为坩埚从动轴7，一端与现有的坩埚组件相连，另一端设置在第二转动槽内并与其转动连接，第二随动件为第二滑臂9，第二滑臂9一端套设在坩埚从动轴7外部并与其固定连接，当第二滑臂9转动时，带着坩埚从动轴7同步转动，第二滑动通道为与传动组件相配合的第二滑槽；作为备选方案，从动件为从动杆，第二随动件为第二滑杆，在传动组件的作用下通过第二滑杆带着从动
杆进行稳定转动，且第二滑杆的转动角度小于第一滑杆的转动角度。
36.在本实用新型的一个实施例中，所述主动组件包括主动轴，主动轴与主动电机连接，通过主动电机驱动主动轴进行转动，为实现稳定驱动，在罩壳1内安装第一滑板，第一滑板的一端套设在主动轴外部并与其固定连接，通过主动轴带着第一滑板转动进行稳定驱动；所述从动组件包括坩埚轴，坩埚轴的一端设置在第二转动槽内并与其转动连接，另一端贯穿罩壳1并与其转动连接，罩壳1内还安装有第二滑板，第二滑板的一端套设在坩埚轴外部并与其固定连接，通过第二滑板的转动带着坩埚轴稳定转动。
37.请参阅图1
‑
3，在本实用新型的一个实施例中，所述传动组件包括：
38.连接件，一端设置在所述第一随动件内，另一端设置在所述第二随动件内，当所述第一随动件随所述驱动件逆时针转动时，所述连接件在所述第二随动件内滑动并带着第二随动件和从动件一起逆时针，优选的，当驱动件顺时针转动90
°
时，从动件逆时针转动60
°
。
39.在本实用新型的实施例中，连接件为滑销5，滑销5一端固定安装在第一随动件内，另一端转动设置在第二随动件内并与其滑动连接，为方便安装，所述第一随动件内开设有与滑销5相配合第一限位滑槽，在第二随动件内开设有与其滑销5相配合的第二限位滑槽，第一限位滑槽用于将滑销5固定在合适的位置，第二限位滑槽供滑销5滑动并进行转动，这样在第一随动件转动时，通过滑销5在第二限位滑槽内活动来带着第二随动件进行转动，从而使得在第一随动件顺时针转动90
°
时，第二随动件逆时针转动60
°
。
40.请参阅图2、3，在本实用新型的一个实施例中，所述传动组件还包括：
41.调节件，用于调节所述连接件在第一随动件内的位置；
42.固定件，用于固定所述连接件在第一随动件内的位置。
43.在本实用新型的实施例中，调节件为调节螺钉8，为方便进行调节，调节螺钉8固定安装在第一随动件上，滑销5套设在调节螺钉8外部并与其滑动连接，为方便安装，调节螺钉8设置在第一限位滑槽内的一端固定安装有转轴10，滑销5内开设有与转轴10相配合的转轴孔12，为对滑销5进行限制，在滑销5外的转轴10上安装销片11进行固定；固定件为止动螺钉6，为方便安装，在滑销5上开设与转轴孔12相连通的螺纹孔13，将止动螺钉6安装在螺纹孔13内，通过止动螺钉6与转轴10接触，将滑销5与调节螺钉8连接固定；作为备选方案，调节件为与第一随动件转动连接的螺纹杆，固定件套设在螺纹杆外部并与螺纹连接的螺帽，滑销5套设在所述螺纹杆外部，当调节时转动螺纹杆，滑销5由于受到第一限位滑槽的限制，从而在第一限位滑槽内滑动进行调节，调节完成后通过旋转螺母进行固定。
44.在本实用新型的一个实施例中，所述传动组件包括传动杆，传动杆固定安装在第一随动件上，第二随动件转动套设在传动杆外部并与其滑动连接，这样也可以保证在第一随动件顺时针转动90
°
时，第二随动件可以逆时针转动60
°
，完成稳定传动；优选的，传动杆滑动设置在第一随动件内，其内部安装有与其转动连接的螺杆，螺杆一端贯穿第一随动件并与其螺纹连接，这样可以通过转动螺杆来调节传动杆在第一转动件内的位置，操作方便。
45.在本实用新型的一个实施例中，提供了一种换料装置，包括本体，所述本体内安装有上述实施例中的传动机构。
46.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新
型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
47.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。