技术特征：
1.一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：包括x向移动组件、y向移动组件和z向移动组件；所述y向移动组件设于x向移动组件上，x向移动组件被一环形的密封带机构密封于耐腐蚀的塑料箱体内；所述塑料箱体的前面板上开设方形镂空，以供y向移动组件沿x轴做往复运动；所述z向移动组件设置于y向移动组件上，且通过y向移动组件带动z向移动组件沿y轴做往复运动。2.根据权利要求1所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述x向移动组件包括x向直线滑台、x向驱动电机和x向滑块；所述x向直线滑台固定于安装底板上，x向直线滑台上设置x向同步带，x向滑块设置于x向同步带上，x向驱动电机固定于x向直线滑台的一端，用以驱动x向同步带和x向滑块沿x轴向做往复运动。3.根据权利要求2所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述y向移动组件包括y向直线滑台、y向固定密封盒和y向驱动电机；所述y向固定密封盒固定于x向滑块上，y向驱动电机与y向直线滑台上的y向同步带连接，y向同步带上设有y向同步带连接压块；y向驱动电机的出轴设置有电机防腐机构；所述电机防腐机构包括堵头，堵头盖在同步带轮一端，同步带轮适配在电机出轴上，所述电机出轴上套设塑料防腐管，且电机出轴穿过第一骨架油封，第一骨架油封固定在y向固定密封盒侧面的穿孔内，y向驱动电机固定于穿孔面的外表面上。4.根据权利要求3所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述y向固定密封盒为中空的六面体，其前表面与y向滑台连接座连接，y向固定密封盒前表面的y向挡板与y向滑台连接座上均开设有方形的镂空，用以过y向直线滑台和y向同步带；y向固定密封盒右侧面设置有圆形过孔，围绕圆形过孔在y向固定密封盒外表面设置有螺纹孔，用以固定y向驱动电机。5.根据权利要求4所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述z向移动组件包括z向移动滑台、密封盒和舵机；所述z向移动滑台固定于y向同步带连接压块上，z向移动滑台内设有z向同步带，z向同步带两端分别套设于z向同步带主动轮和z向同步带从动轮上；所述舵机密封于塑料盒内，舵机出轴圆口采用第二骨架油封密封，z向同步带主动轮适配于舵机出轴上。6.根据权利要求1所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述塑料箱体呈长方体状，其包括前面板、安装底板、后板、左侧板、右侧板和上盖板。7.根据权利要求6所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述密封带机构包括耐腐蚀的密封带和用于将密封带紧压在塑料箱体前面板内表面的密封带自适应紧贴机构；所述密封带在塑料箱体内围绕成一个环形，并紧贴于塑料箱体前面板方形镂空的内表面，以隔绝箱体内部与外部环境；所述前面板的内表面围绕方形镂空设置有凸起的棱和若干个螺纹孔；所述密封带上开设有密封带镂空。8.根据权利要求7所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：还包括四根导向光轴，四根导向光轴分布于长方体矩形腔体内的四个边角上；所述密封带缠绕于四根导向光轴上，每根光轴两端均有轴承，用以密封带围绕导向光轴做环形往复运动。9.根据权利要求8所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述密封带的
两端均开设过孔，采用一对压片与密封带的两端连接，再通过螺钉与孔的配合将两对压片之间连接，以将密封带的两端相连接，形成一个闭环。10.根据权利要求9所述的耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其特征在于：所述密封带自适应紧贴机构包括弹簧压板和定位螺钉；所述弹簧压板边框上设置过孔，以适配定位螺钉；所述定位螺钉上套设弹簧，定位螺钉前端穿过弹簧压板上的过孔并固定于前面板的螺纹孔上，密封带位于前面板与弹簧压板之间。
技术总结
本发明公开了一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，包括X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件；Y向移动组件设于X向移动组件上，X向移动组件被一环形的密封带机构密封于耐腐蚀的塑料箱体内；塑料箱体的前面板上开设方形镂空，以供Y向移动组件沿X轴做往复运动；Z向移动组件设置于Y向移动组件上，且通过Y向移动组件带动Z向移动组件沿Y轴做往复运动。本发明基于X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件的配合运动，可实现平台在三维方向的精密移动；除此，本发明无任何暴露的金属部件，密封性能好，能满足各种强化学腐蚀的工作环境；在选材上，本发明具有超痕量金属杂质，满足半导体、地球化学等领域超低痕量金属杂质要求。化学等领域超低痕量金属杂质要求。化学等领域超低痕量金属杂质要求。
技术研发人员：徐进勇 彭德义 余鑫 李昕雨 王彤 贺新怡
受保护的技术使用者：成都理工大学
技术研发日：2022.04.08
技术公布日：2022/5/6