狭缝阀的制作方法

本公开涉及用于半导体或显示器制造设施的狭缝阀(slit valve)。更具体地，本公开涉及一种狭缝阀，其中驱动打开/关闭叶片以使阀的闸门打开和关闭的驱动单元具有简单配置，从而降低了驱动单元在使闸门打开和关闭中的故障概率，并且提高了产品精度和可靠性。

背景技术：

1、通常，在半导体或显示器等的制造工艺中，需要工艺精度。因此，需要高清洁度和特殊的制造技术。

2、因此，在真空中执行了许多工艺，以防止空气中含有的异物与工艺目标接触。在这方面，在制造设施中，真空工作区域与大气之间的密封技术也极大地影响产品的质量。

3、此外，在执行半导体或显示器的制造工艺中，安装和使用了各种阀，这些阀包括负责打开/关闭功能的狭缝阀，用于输入和阻挡工艺气体等。

4、作为重要的半导体制造工艺，蚀刻工艺或沉积工艺中的步骤数量正在增加，因此高自由基和有毒大气气体的使用正在增加。因此，需要具有高性能和耐久性的狭缝阀。

5、特别地，在制造工艺中，狭缝阀位于传送腔室与处理腔室之间。因此，由于狭缝阀的位置的性质，所以需要具有高性能和耐久性的狭缝阀。

6、在常规狭缝阀中，包括许多致动连杆的驱动结构用于阀的打开和关闭操作。如上所述，在蚀刻工艺或沉积工艺中的步骤数量正在增加，并且因此增加了高自由基和有毒大气气体的使用。在这方面，具有包括多个致动连杆的驱动结构的常规狭缝阀由于3至6个连杆以及它们之间的联接(coupling)关系而具有复杂的结构。因此，在阀的打开和关闭操作期间，可能发生高概率的驱动结构故障。

7、此外，由于常规狭缝阀包括许多部件，因此难以降低其价格，其寿命短，并且在减小打开/关闭操作中的泄漏和响应速度方面存在技术限制。

8、韩国专利第10-2228429号公开了一种狭缝阀，该狭缝阀包括上壳体，其中移动路径形成在其前面中；联接到上壳体的底部的主壳体；定位在上壳体内部以使移动路径打开和关闭的打开/关闭叶片；主轴，其联接到打开/关闭叶片的底部；一对垂直移动气缸，其位于主壳体内部并且包括用于在上下方向上移动主轴的垂直可移动轴；一对推压气缸，其定位在主壳体内部并且包括用于在前后方向上移动主轴的推压活塞；水平移动引导块，其连接到垂直移动气缸和推压气缸，以在由垂直移动气缸提升主轴之后由推压气缸以与垂直移动气缸分离的方式引导主轴的向前或向后移动；以及设置在主壳体内部的空气块，其用于向垂直运动气缸和推压气缸供应空气并且从垂直移动气缸和推压气缸排出空气，以控制气动压力。

9、此外，韩国专利第10-1846005号公开了一种狭缝阀，该狭缝阀包括：板单元，该板单元包括用于使腔室密封的密封板、用于移动密封板的中间块、可拆卸地联接到中间块的顶部以调节压力的空气管线单元以及可拆卸地联接到中间块的底部的通风管线单元，其中板单元使腔室密封；壳体，其中容纳有板单元并且包括在其一侧处与腔室连通的闸门；驱动单元，其联接到壳体的底部并且使板单元上下移动；以及控制单元，其用于控制板单元和驱动单元。

10、【现有技术文献】

11、【专利文献】

12、专利文件1：韩国专利第10-2228429号

13、专利文件2：韩国专利第10-1846005号

技术实现思路

1、本公开是考虑并解决上述常规问题而设计的。因此，本公开的目的是提供一种狭缝阀，其中驱动打开/关闭叶片以使阀的闸门打开和关闭的驱动单元具有简单配置，从而降低了驱动单元在使闸门打开和关闭中的故障概率，并且提高了产品精度和可靠性。

2、此外，本公开的目的是提供一种狭缝阀，其中在狭缝阀的使用中确保了高性能和耐久性，并且实现了稳定的操作。

3、此外，本公开的目的是提供一种狭缝阀，与常规狭缝阀相比，该狭缝阀中的部件数量减少，从而降低了制造成本并且延长了使用寿命，并且在更快地控制打开/关闭操作的同时降低了泄漏率。

4、本公开的一个方面提供了一种狭缝阀，该狭缝阀包括：阀体，其具有限定在其中的闸门；主体，其联接到阀体的底部；设置在阀体内部的打开/关闭叶片，其中打开/关闭叶片垂直移动以使闸门打开或关闭；以及驱动器单元，其设置在主体内部并且联接到打开/关闭叶片，其中驱动器单元在垂直方向上移动打开和关闭叶片以使闸门打开或关闭，其中驱动器单元包括：致动连杆，其垂直延伸并且定位在主体的中央处，其中致动连杆能够在左方向和右方向上摆动；以及垂直可移动支架，其联接到打开/关闭叶片，其中当致动连杆在左方向和右方向上摆动时，垂直可移动支架在垂直lm(线性运动)引导件的引导下垂直移动，使得打开/关闭叶片使闸门打开或关闭。

5、在狭缝阀的一种实现方式中，驱动器单元包括：位于主体的内部空间的下部的水平可移动结构，其中水平可移动结构通过气动压力的供应或释放在左方向和右方向上移动；垂直lm引导件，其包括分别定位在主体的内部空间的中部的左侧和右侧处的一对垂直lm引导件，其中垂直lm引导件中的每个垂直延伸；垂直可移动支架，其具有两个水平相对端部，该两个水平相对端部分别支撑在一对垂直lm引导件上并且联接到该一对垂直lm引导件上以便在垂直方向上可滑动地移动；致动连杆，其具有铰链联接到水平可移动结构的两个水平相对端部中的一个的下端部，以及铰链联接到垂直可移动支架的上端部；以及一对连接轴，其具有分别联接到垂直可移动支架的两个水平相对部分的下端部，以及分别联接到打开/关闭叶片的两个水平相对部分的上端部。

6、在狭缝阀的一种实现方式中，狭缝阀还包括：气缸空间限定部分，该气缸空间限定部分限定其中容纳有水平可移动结构的气缸空间，其中水平可移动结构的两个水平相对端部中的一个穿过气缸空间限定部分并且定位在气缸空间之外，其中气缸空间限定部分支撑水平可移动结构并且限制水平可移动结构在其水平移动中的位置；水平lm(线性运动)引导件，其定位在与气缸空间限定部分相对的一侧处并且水平延伸；水平lm块，其支撑在水平lm引导件上并且联接到水平lm引导件以便以滑动方式移动；以及紧固支架，其被紧固到水平lm块的顶面，其中紧固支架包括：致动连杆紧固部分，其用于将致动连杆铰链联接到致动连杆紧固部分；以及水平可移动结构紧固部分，其用于将定位在气缸空间之外的水平可移动结构的端部进行支撑和固定，其中致动连杆紧固部分定位在水平可移动结构紧固部分上方并且与水平可移动结构紧固部分成一体，其中由于气缸空间限定部分、水平lm(线性运动)引导件、水平lm块和紧固支架，所以水平可移动结构的水平移动和致动连杆的摆动运动同时被引导并且以平滑和稳定的方式被执行。

7、在狭缝阀的一种实现方式中，狭缝阀还包括：波纹管，其中容纳有连接轴中的每个；间隔件，其定位成支撑波纹管的底面；支撑管道，其定位成覆盖间隔件和波纹管的下端部；第一o形环，其介于间隔件与连接轴中的每个之间；第二o形环，其介于间隔件与支撑管道之间；以及第三o形环，其设置在支撑管道的顶面上。

8、在狭缝阀的一种实现方式中，狭缝阀还包括：位置传感器，其用于基于打开/关闭叶片的位置的检测结果来确定闸门当前处于打开状态还是关闭状态；以及led显示器，其用于显示位置传感器的确定结果。

9、在狭缝阀的一种实现方式中，狭缝阀展现的性能包括在1.4巴大气压下1×10-9毫巴的压力范围、低于或等于230℃的可允许温度范围、低于1×10-9pa·m3/s的泄漏、在打开/关闭操作中低于或等于0.5秒的响应速度。

10、本公开的效果如下。

11、根据本公开，一个致动连杆和多个垂直lm引导件用作驱动单元的组件，该驱动单元驱动打开/关闭叶片以使阀的闸门打开和关闭。因此，可以实现狭缝阀的简单配置。特别地，可以降低驱动单元在阀的闸门的打开和关闭操作中发生故障的概率。因此，与常规狭缝阀相比，可以提高根据狭缝阀的打开和关闭操作的精度和可靠性。

12、根据本公开，可以在使用狭缝阀时确保阀的高性能和耐久性。可以实现狭缝阀的稳定操作。

13、根据本公开，与常规狭缝阀相比，狭缝阀的部件数量可以减少。因此，可以在延长阀的使用寿命的同时降低阀的制造成本。在可以改善响应速度的同时可以最小化工艺气体的泄漏，使得可以更快地控制打开/关闭操作。