喷管卡盘模块的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备领域，尤其是一种喷管卡盘模块。


背景技术：

2.检测器(chuck dingdang pin)作为chamber工艺的重要组成部分，更换频率较高，现有的一体式柱体喷管受到腔体内部空间的限制，在更换检测器时，会遇到由于喷管柱体过长而需要拆除传感器支架的情况，同时，喷管接头也位于柱体上，造成拆除难度大，耗费时间长，单chamber更换一组的时间长达3小时。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种喷管卡盘模块，以解决现有的喷头一体式柱体受到腔体内部空间的限制，造成的拆除难度大、耗时长等问题。
4.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种喷管卡盘模块，包括：喷管组件以及卡盘组件；
5.所述喷管组件包括接头件、固定件和柔性管件，所述接头件可拆卸地与所述柔性管件连接；
6.所述卡盘组件包括卡盘，所述卡盘具有第一通孔，所述接头件可活动地穿设在所述第一通孔中，且所述接头件通过所述固定件可拆卸地与所述卡盘连接。
7.可选的，所述接头件的外径不大于所述第一通孔的内径。
8.可选的，所述接头件上具有与所述柔性管件相适配的孔道，所述柔性管件可拆卸地穿设于所述孔道中。
9.可选的，所述喷管组件还包括卡合件，所述卡合件设置于所述柔性管件远离所述接头件的一端，所述卡合件用于限制所述柔性管件的位置。
10.可选的，所述卡合件具有第二通孔，所述柔性管件远离所述接头件的一端穿设于所述第二通孔中。
11.可选的，所述固定件与所述接头件一体成型，所述固定件的外径大于所述第一通孔的内径。
12.可选的，所述卡盘组件还包括至少两个检测器，至少两个所述检测器可拆卸地设置于所述卡盘沿轴向远离所述柔性管件的一面。
13.可选的，至少两个所述检测器沿所述卡盘周向分布。
14.可选的，所述卡盘组件还包括固定盘，所述固定盘设置在所述卡盘沿轴向靠近所述柔性管件的一面，所述固定盘与所述卡盘一体成型。
15.可选的，所述固定盘的直径小于所述卡盘的直径，所述固定盘具有第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔同轴设置，用于供所述接头件穿设。
16.综上所述，在本实用新型提供的喷管卡盘模块中，所述喷管卡盘模块包括喷管组件以及卡盘组件；所述喷管组件包括接头件、固定件和柔性管件，所述接头件可拆卸地与所
述柔性管件连接；所述卡盘组件包括卡盘，所述卡盘具有第一通孔，所述接头件可活动地穿设在所述第一通孔中，且所述接头件通过所述固定件可拆卸地与所述卡盘连接。
17.如此配置，由于接头件可拆卸地与柔性管件连接，在拆除喷管组件时，可首先将柔性管件与接头件分离，这样剩下的接头件与固定件的体积较小，能够在狭小的腔体内部空间中实现快速拆卸，加快了更换速度，降低了更换难度的同时，又减少了更换步骤，缩短了更换时间。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例的喷管组件的示意图；
19.图2为本实用新型实施例的喷管卡盘模块的示意图；
20.图3为本实用新型实施例的喷管卡盘模块的侧视图；
21.图4为本实用新型实施例的喷管卡盘模块的俯视图。
22.其中，附图标记为：
23.10-喷管组件；101-柔性管件；102-固定件；103-接头件；104-卡合件；20-卡盘组件；201-卡盘；202-检测器；203-固定盘。
具体实施方式
24.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
25.如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本说明书中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本说明书中的具体含义。
26.本实用新型的目的在于提供一种喷管卡盘模块，以解决现有的喷头一体式柱体受到腔体内部空间的限制，造成的拆除难度大、耗时长等问题。
27.以下参考附图进行描述。
28.发明人发现，现有技术中，检测器(chuck dingdang pin)设置在卡盘上，而对检测
器进行更换时，需要取出卡盘。而卡盘又被喷管组件所限制，故而需先拆离喷管组件。现有主要采用一体式柱体喷管，其受到腔体内部空间的限制，在更换检测器时，会遇到由于喷管的柱体过长而需要拆除传感器支架的情况，同时，喷管接头也位于柱体上，造成拆除难度大，耗费时间长的问题。
29.基于上述研究，请参考图1至图4，本实用新型实施例提供一种喷管卡盘模块，其包括喷管组件10以及卡盘组件20；所述喷管组件10包括接头件103、固定件102和柔性管件101，所述接头件103可拆卸地与所述柔性管件101连接；所述卡盘组件20包括卡盘201，所述卡盘201具有第一通孔，所述接头件103可活动地穿设在所述第一通孔中，且所述接头件103通过所述固定件102可拆卸地与所述卡盘201连接。需要说明的，在图1至图4示出的示范例中，第一通孔并未示出，本领域技术人员可以理解的，第一通孔与接头件103相适配地设置在卡盘201上，其一般设置在卡盘201的中心处。
30.如此配置，由于采用柔性管件101可拆卸地与接头件103连接的方式代替一体式的喷管组件10，柔性管件101能够与接头件103拆离，且柔性管件101自身可以弯曲、拉扯，便于拆卸。在拆除喷管组件10时，可首先将柔性管件101与接头件103分离，这样剩下的接头件103与固定件102的体积较小，能够在狭小的腔体内部空间中实现快速拆卸，加快了更换速度，降低了更换难度的同时，又减少了更换步骤，缩短了更换时间。
31.优选的，所述接头件103可活动地穿设在所述第一通孔中，且所述接头件103通过所述固定件102可拆卸地与所述卡盘201连接，如此配置，使得接头件103在运行过程中不易从第一通孔中滑落，保证了整体装置的稳定运转。在另一些实施例中，接头件103与卡盘201也可以通过其他的连接组件连接，如螺栓组件等，本领域技术人员可根据实际需要对其进行配置，本实用新型对此不限。
32.请参考图1至图2，所述接头件103的外径不大于所述第一通孔的内径，如此配置，使得接头件103能够穿设于第一通孔中，且能够在第一通孔中上下滑动，使用者在更换过程中，能够以较小的力实现接头件103与第一通孔的快速分离。
33.进一步的，所述接头件103上具有与所述柔性管件101相适配的孔道，所述柔性管件101可拆卸地穿设于所述孔道中。需要说明的，在图1至图2示出的示范例中，孔道并未示出，本领域技术人员可以理解的，孔道与接头件103的内部构造相连通，柔性管件101穿设在其中，可实现液体或气体的流通。
34.优选的，所述喷管组件10还包括卡合件104，所述卡合件104设置于所述柔性管件101远离所述接头件103的一端，所述卡合件104用于限制所述柔性管件101的位置。在图1示出的示范例中，卡合件104的截面形状为圆形，当然在一些其他的实施例中，卡合件104的截面形状也可以是矩形或三角形，本实用新型对此不限。
35.可选的，所述卡合件104具有第二通孔，所述柔性管件101远离所述接头件103的一端穿设于所述第二通孔中。需要说明的，在图1示出的示范例中，第二通孔并未示出，本领域技术人员可以理解的，第二通孔与柔性管件101相适配地设置在卡合件104上，柔性管件101通过穿设在第二通孔中以限制其位置，当然在一些其他的实施例中，卡合件的卡合形式也可以是其他形式，诸如通过螺栓组件实现卡合等，本实用新型对此不限。
36.更近一步的，所述固定件102与所述接头件103一体成型，所述固定件102的外径大于所述第一通孔的内径，如此配置，使得固定件102能够套扣在第一通孔外而形成与卡盘的
固定，同时，使用者可以将一体成型的固定件102和接头件103快速从第一通孔中取出，进一步缩短了更换时间。
37.请参考图2至图4，所述卡盘组件20还包括至少两个检测器202，至少两个所述检测器202可拆卸地设置于所述卡盘201沿轴向远离所述柔性管件101的一面。在图2示出的示范例中，检测器202的数量为6个，在另一些实施例中，检测器202的数量也可以更多，本领域技术人员可根据实际需要对其进行配置，本实用新型对此不限。
38.进一步的，至少两个所述检测器202沿所述卡盘201周向分布。需要说明的，检测器202的数量一般为偶数，且两两对称地沿卡盘201周向分布。
39.更进一步的，所述卡盘组件20还包括固定盘203，所述固定盘203设置在所述卡盘201沿轴向靠近所述柔性管件101的一面，所述固定盘203与所述卡盘201一体成型，这样的设置使得使用者将固定件103和接头件103从第一通孔中取出之后，能够直接将卡盘组件20整体取出，而不会造成任何零件的散落。
40.优选的，所述固定盘203的直径小于所述卡盘201的直径，所述固定盘203具有第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔同轴设置，用于供所述接头件103穿设。需要说明的，在图3示出的示范例中，第三通孔并未示出，本领域技术人员可以理解的，第三通孔与第一通孔同轴设置，并一同用于供接头件103穿设，因此第三通孔也应当与接头件103相适配，同时，固定盘203的直径小于卡盘201的直径，如此配置使得卡盘组件20的重心更偏向于固定盘203，在更换完成后，能够更快找到卡盘组件20的平衡状态，更易实现组装。
41.下面结合图1至图4，进一步说明本实施例提供的喷管组件10的使用原理。在未组装之前，柔性管件101与接头件103、柔性管件101与卡合件104均呈现分离状态；在组装过程中，柔性管件101的一端穿设在卡合件104的第二通孔中实现固定，接头件103穿设于第一通孔中，直至固定件102的底部与卡盘201的顶部呈现相贴靠的状态，同时，柔性管件101的另一端穿设在接头件103的孔道中，此时，喷管组件10与卡盘组件20呈现如图2所示的状态；需要替换时，只需将柔性管件101与接头件103相分离，再将固定件102与接头件103一同从卡盘201的第一通孔中取出，即可将卡盘组件20从腔体中取出，并对检测器202进行替换。
42.需要说明的是，在图1至图4示出的示范例中，柔性管件101的数量为两根，且均未呈现弯曲状态，本领域技术人员可以理解的，柔性管件101的数量可以更多，且可以弯曲，本领域技术人员可根据实际情况对柔性管件101的数量以及弯曲程度进行配置，本实用新型对此不限。
43.综上，在本实用新型实施例提供的喷管卡盘模块中，所述喷管卡盘模块包括喷管组件以及卡盘组件；所述喷管组件包括接头件、固定件和柔性管件，所述接头件可拆卸地与所述柔性管件连接；所述卡盘组件包括卡盘，所述卡盘具有第一通孔，所述接头件可活动地穿设在所述第一通孔中，且所述接头件通过所述固定件可拆卸地与所述卡盘连接。
44.如此配置，由于接头件可拆卸地与柔性管件连接，在拆除喷管组件时，可首先将柔性管件与接头件分离，这样剩下的接头件与固定件的体积较小，能够在狭小的腔体内部空间中实现快速拆卸，加快了更换速度，降低了更换难度的同时，又减少了更换步骤，缩短了更换时间。
45.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要
求书的保护范围。