一种基于气浮的主被动防微振基座的制作方法

1.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种基于气浮的主被动防微振基座。


背景技术：

2.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
3.由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。
4.隔振器能够直接当作是低通的滤波器，这种滤波器能够有效地滤除其固有频率以上的环境振动干扰，但是对于其固有频率附近的振动干扰的抑制效果较弱，甚至有时会出现因为共振现象而放大该振动幅值的现象。因此，为了系统在低频段获得更好的隔振效果，通常采用降低其固有频率的方法，从而避免在某些频率处发生共振。气浮隔振装置能够较好的低频隔离振动，但是多是单一的低频领域，隔振带较窄，且承重能力差，不适合于大型的精密仪器，适用范围较小。


技术实现要素：

5.实用新型的目的在于提供一种基于气浮的主被动防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
6.本实用新型的技术方案是这样实现的：
7.一种基于气浮的主被动防微振基座，包括顶板和支架，所述顶板底部四个角分别连接有主动气浮减振装置，所述顶板底部前后两侧中间部位分别连接有被动空气弹簧，所述主动气浮减振装置、被动空气弹簧底部与支架顶部连接，所述支架包括支腿、上框架和下框架，所述上框架中间连接有上横梁，所述下框架中间连接有下横梁，所述上框架自左往右依次连接有第一上纵梁、第二上纵梁、第三上纵梁，所述下框架自左往右依次连接有第一下纵梁、第二下纵梁、第三下纵梁，所述第一上纵梁、第三上纵梁与上框架之间分别连接有第一支撑梁，所述第二上纵梁两端两侧垂直连接有第三支撑梁，所述第三支撑梁与上框架之间连接有第三支撑梁，所述顶板上连接有位移传感器，所述下框架上连接有控制器。
8.进一步地，所述顶板由不锈钢板制成矩形框体，内部浇筑有混凝土。
9.进一步地，所述支架由不锈钢方钢管制成。
10.进一步地，所述上框架、下框架均呈矩形结构。
11.进一步地，所述第一支撑梁分别布设在上横梁两侧。
12.进一步地，所述第二上纵梁布设在上框架的中间位置。
13.进一步地，所述第二下纵梁布设在下框架的中间位置。
14.进一步地，所述主动气浮减振装置与顶板之间安装有第一支撑板，所述主动气浮
减振装置与支架之间连接有第一底座，所述第一底座分别安装在第一支撑梁、第一上纵梁与上框架围成的矩形结构上及第一支撑梁、第三上纵梁与上框架围成的矩形结构上。
15.进一步地，所述被动空气弹簧与顶板之间安装有第二支撑板，所述主动气浮减振装置与支架之间连接有第二底座，所述第二底座安装在第二支撑梁、第三支撑梁、第二上纵梁与上框架围成的结构上。
16.进一步地，所述控制器通过电缆与主动气浮减振装置、位移传感器连接。
17.本实用新型的有益效果为：
18.本实用新型通过顶板、支架和被动空气弹簧实现承重，可以满足大型设备的承重要求，被动空气弹簧的使用降低了系统的固有频率，系统固有频率可小于0.5hz并实现高频隔振，通过主动气浮减振装置进行低频隔振；本实用新型具有较大的隔振带宽，能够实现三个自由度的0.5hz~150hz隔振，可满足≤4t重设备承重要求，适用范围广。
附图说明
19.图1为本实用新型的结构示意图。
20.图2为本实用新型支架的结构示意图。
21.图中1-顶板，2-支架，201-支腿，202-上框架，203-下框架，204-上横梁，205-下横梁，206-第一上纵梁，207-第二上纵梁，208-第三上纵梁，209-第一下横梁，210-第二下纵梁，211-第三下纵梁，212-第一支撑梁，213-第二支撑梁，214-第三支撑梁， 3-主动气浮减振装置，301-第一支撑板，302-第一底座，4-被动空气弹簧，401-第二支撑板，402-第二底座，5-位移传感器，6-控制器。
具体实施方式
22.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.如图1-2所示，一种基于气浮的主被动防微振基座，包括顶板1和支架2，所述顶板1底部四个角分别连接有主动气浮减振装置3，所述顶板1底部前后两侧中间部位分别连接有被动空气弹簧4，所述主动气浮减振装置3、被动空气弹簧4底部与支架2顶部连接，所述支架2包括支腿201、上框架202和下框架203，所述上框架202中间连接有上横梁204，所述下框架203中间连接有下横梁205，所述上框架202自左往右依次连接有第一上纵梁206、第二上纵梁207、第三上纵梁208，所述下框架203自左往右依次连接有第一下纵梁209、第二下纵梁210、第三下纵梁211，所述第一上纵梁206、第三上纵梁208与上框架202之间分别连接有第一支撑梁212，所述第二上纵梁207两端两侧垂直连接有第三支撑梁213，所述第三支撑梁213与上框架202之间连接有第三支撑梁214，所述顶板1上连接有位移传感器5，所述下框架203上连接有控制器6。
24.所述顶板1由不锈钢板制成矩形框体，内部浇筑有混凝土。
25.所述支架2由不锈钢方钢管制成。
26.所述上框架202、下框架203均呈矩形结构。
27.所述第一支撑梁212分别布设在上横梁204两侧。
28.所述第二上纵梁207布设在上框架202的中间位置。
29.所述第二下纵梁210布设在下框架203的中间位置。
30.所述主动气浮减振装置3与顶板1之间安装有第一支撑板301，所述主动气浮减振装置3与支架2之间连接有第一底座302，所述第一底座302分别安装在第一支撑梁212、第一上纵梁206与上框架202围成的矩形结构上及第一支撑梁212、第三上纵梁208与上框架202围成的矩形结构上。
31.所述被动空气弹簧4与顶板1之间安装有第二支撑板401，所述主动气浮减振装置4与支架2之间连接有第二底座402，所述第二底座402安装在第二支撑梁213、第三支撑梁214、第二上纵梁207与上框架202围成的结构上。
32.所述控制器6通过电缆与主动气浮减振装置3、位移传感器5连接。
33.工作时，精密仪器安装在顶板1上，垂向通过顶板1、支架2和被动空气弹簧4 实现承重和高频隔振，并通过位移传感器5采集振动信号，并将采集的信号输送给控制器6，由控制器6控制主动气浮减振装置3驱动在垂向上实现低频隔振。
34.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。