一种真空阀门的制作方法

1.本实用新型涉及一种阀门，尤其涉及一种真空阀门。


背景技术：

2.真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。
3.现在大多数镀膜设备上各腔室的连接通常采用阀门形式用的都是长方形插板阀，用来隔断各腔室的真空联通。现在进行阀门隔断腔室时，需要大部分设备关闭，停止后才能进行。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种真空阀门，从而可以在不间断整机工作的情况下，完成部分特殊腔室对大气侧的真空隔断。
5.一种真空阀门，包括：阀门腔体、阀板组件和气缸装置；
6.所述阀门腔体包括第一腔体和第二腔体；所述第一腔体和所述第二腔体气密连接；
7.所述第一腔体包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁围成四边形框体；所述第一侧壁上开设有阀口；所述第一腔体的底部侧由第一底部封闭，在所述第一底部相对的另一侧与所述第二腔体的一侧气密连接；所述第二腔体的另一侧设有气缸装置；
8.所述阀门腔体包括长度方向、宽度方向及厚度方向；所述第一腔体和所述第二腔体沿所述宽度方向连接；所述气缸装置沿所述宽度方向与所述第二腔体连接；所述阀口沿所述长度方向设置；
9.所述阀板组件设置于阀门腔体内，其包括密封板、支撑板、连杆装置、拉伸杆；所述密封板与所述支撑板通过所述连杆装置沿所述厚度方向互相连接，所述密封板更靠近所述阀口和所述第一底部；所述支撑板与所述气缸装置通过所述拉伸杆连接；
10.当所述阀门腔体关闭时，所述密封板先抵到所述阀口的内侧腔壁，支撑板继续前移，前移过程中，逐步压紧所述密封板与所述阀口的内侧腔壁；直到所述支撑板也顶住所述内侧腔壁；使所述阀门腔体处于密封状态。
11.进一步地，连杆装置包括位移组件、弹性组件；所述位移组件沿所述宽度方向与所述密封板、所述支撑板连接，并设置为两组；所述弹性组件设置于所述位移组件中间，并与
所述密封板、所述支撑板连接；所述位移组件包括第一双耳铰链座、第二双耳铰链座以及连接杆；所述第一双耳铰链座与所述第二双耳铰链座通过所述连接杆铰接连接；所述第一双耳铰链座与所述密封板固定连接，所述第二双耳铰链座与所述支撑板固定连接；
12.所述弹性组件包括第一底座、第二底座以及弹性连接件；所述弹性连接件两端分别与所述第一底座、所述第二底座连接，所述第一底座与所述密封板固定连接，所述第二底座与所述支撑板固定连接。
13.进一步地，所述阀门腔体两侧内部沿所述宽度方向设有滑轮导轨；所述支撑板的两侧设有与之相匹配的滑轮组件；所述滑轮组件可使所述支撑板在所述阀门腔体内，沿着所述宽度方向滑动。
14.进一步地，所述支撑板靠近所述第一底部的一侧并排设有万向轮。
15.进一步地，所述第一侧壁上设置有第一法兰圈，所述第一法兰圈架与所述阀口密封连接。
16.本方案的有益效果是：
17.本实用新型通过利用密封板与支撑板联合使用，并通过连杆装置浮动连接，充分利用气缸的工作原理与两块阀板的联动关系，与阀门腔室充分气密连接，从而达到将不同腔室气密隔离的功能。
附图说明
18.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
19.图1为本实用新型实施例的真空阀门的结构示意图；
20.图2为本实用新型实施例的阀门腔体内的结构示意图；
21.图3为本实用新型实施例的支撑板的结构示意图；
22.图4为本实用新型实施例的位移组件的结构示意图；
23.图5为本实用新型实施例的弹性组件的结构示意图；
24.图6为本实用新型实施例的滑轮导轨和滑轮组件的结构示意图；
25.图7为本实用新型实施例的阀板组件移至第二腔体内的侧剖视图；
26.图8为本实用新型实施例的坐标体系的方向示意图；
27.图9为本实用新型实施例的阀板组件的侧视图；
28.附图标记说明：1.阀门腔体；11.第一腔体；111.第一侧壁；1111.阀口；112.第二侧壁；113.第三侧壁；114.第四侧壁；115.第一底部；116.滑轮导轨；117.内侧腔壁；12.第二腔体；2.阀板组件；21.密封板；211.万向轮；22.支撑板；221.滑轮组件；23.连杆装置；231.位移组件；2311.第一双耳铰链座；2312.第二双耳铰链座；2313.连接杆；232.弹性组件；2321.第一底座；2322.第二底座；2323.弹性连接件；24.拉伸杆；3.气缸装置；4.第一法兰圈。
29.长度方向：l；宽度方向：w；厚度方向：h。
具体实施方式
30.下面结合附图对本实用新型作进一步详细描述。
31.如图1所示，一种真空阀门，包括：阀门腔体1、阀板组件2和气缸装置3；所述阀门腔
体1包括第一腔体11和第二腔体12；所述第一腔体11和所述第二腔体12气密连接；所述第一腔体11包括第一侧壁111、第二侧壁112、第三侧壁113和第四侧壁114；所述第一侧壁111、所述第二侧壁112、所述第三侧壁113和所述第四侧壁114围成四边形框体；所述第一侧壁111上开设有阀口1111；所述第一腔体11的底部由第一底部115封闭，在所述第一底部115相对的另一侧与所述第二腔体12的一侧气密连接；所述第二腔体12的另一侧设有气缸装置3；如图8所示，所述阀门腔体1包括长度方向l、宽度方向w及厚度方向h；所述第一腔体11和所述第二腔体12沿所述宽度方向w气密连接；所述气缸装置3沿所述宽度方向w与所述第二腔体12气密连接；所述阀口1111沿所述长度方向l设置；如图3、9所示，所述阀板组件2设置于阀门腔体1内，其包括密封板21、支撑板22、连杆装置23、拉伸杆24；所述密封板21与所述支撑板22通过所述连杆装置23沿所述厚度方向h互相连接，所述密封板21更靠近所述阀口1111和所述第一底部115；所述支撑板22与所述气缸装置3通过所述拉伸杆24连接；当所述阀门腔体1关闭时，所述密封板21在关闭过程，先抵到所述阀口1111的内侧腔壁117，支撑板22继续前移，前移过程中，逐步压紧所述密封板21与所述阀口1111的内侧腔壁117；直到所述支撑板22也顶住所述内侧腔壁117；使所述阀门腔体1处于密封状态。本实施例中，所述阀板组件2利用翻板的开关切断阀门两侧的腔室，保证达到互不干扰独立的状态；所述密封板21和所述支撑板22采用两块不锈钢材质板，所述支撑板22由于要起到刚性支撑作用，选用的板材厚度要大于所述密封板21的板材厚度；采用连杆组件连接两块板材，使所述密封板21和所述支撑板22处于上下浮动连接的状态。关门过程中，控制气缸顶出，推动所述支撑板22，密封板21先抵达所述第一底部115的腔壁，靠前端并列设置的牛眼万向轮211接触腔壁后，并在位移组件231的带动下向斜上方靠近所述阀口1111，所述支撑板22在所述拉伸杆24的作用下继续朝所述第一底部115前移，前移过程中，通过所述支撑板22上的位移装置和所述弹性装置，使所述密封板21压紧所述阀口1111使其密封，支撑板22紧靠所述密封板21下方，起到支撑作用，增强密封效果，整个真空阀门处于密封状态时，气缸一直处于顶出状态。与阴极腔室联用时，在打开阀门前，阴极门内抽真空保证两侧压力差在50pa以内，推动气缸收缩，密封板21靠中间收缩弹簧收缩靠拢，再通过收缩杆拉出至第二腔室，如图7所示，直至门室处于全开状态。
32.进一步地，如图4、5所示，连杆装置23包括位移组件231、弹性组件232；所述位移组件231沿所述宽度方向w与所述密封板21、所述支撑板22连接，并设置为两组；所述弹性组件232设置于所述位移组件231中间，并与所述密封板21、所述支撑板22连接；所述位移组件231包括第一双耳铰链座2311、第二双耳铰链座2312以及连接杆2313；所述第一双耳铰链座2311与所述第二双耳铰链座2312通过所述连接杆2313铰接连接；所述第一双耳铰链座2311与所述密封板21固定连接，所述第二双耳铰链座2312与所述支撑板22固定连接；所述弹性组件232包括第一底座2321、第二底座2322以及弹性连接件2323；所述弹性连接件2323两端分别与所述第一底座2321、所述第二底座2322连接，所述第一底座2321与所述密封板21固定连接，所述第二底座2322与所述支撑板22固定连接。本实施例中，所述弹性组件232主要保证所述密封板21相对于所述支撑板22在所述厚度方向h作垂直运动；位移组件231采用铰链结构，控制所述密封板21在首先碰触所述第一底部115时，可以根据内壁的反作用力，朝所述阀口1111和所述第二腔体12方向运动；所以连杆装置23采用铰链形式的位移组件231和弹性组件232可以更有效的控制所述密封板21相对于所述支撑板22的相对运动，更好地
完成密封阀门的功能。
33.进一步地，所述阀门腔体1两侧内部沿所述宽度方向w设有滑轮导轨116；所述支撑板22的两侧设有与之相匹配的滑轮组件221；所述滑轮组件221可使所述支撑板22在所述阀门腔体1内，沿着所述宽度方向w滑动。本实施例中，在所述支撑板22的两侧设有3组滑轮组件221与所述滑轮导轨116互相匹配；如图2、3、6所示，所述滑轮导轨116是贯穿于所述第一腔体11和所述第二腔体12两侧内壁的，可以在阀门处于打开时，将所述阀板组件2收纳于所述第二腔体12内。
34.进一步地，所述支撑板22靠近所述第一底部115的一侧并排设有万向轮211。本实施例中，在支撑板22上设置数个牛眼万向轮211，数量与所述支撑板22的长度相对应，利用牛眼万向轮211的滚珠减少所述支撑板22与腔体内壁的摩擦力，从而可以减少支撑板22和腔体的损耗，增加设备的使用寿命。
35.进一步地，所述第一侧壁111上设置有第一法兰圈4，所述第一法兰圈4与所述阀口密封连接。本实施例中，在所述密封板21向上移至阀口处，与所述第一法兰圈4内侧连接处用o圈密封，保证设备处于稳定的真空状态。
36.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本技术旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
37.应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。