一种限流结构及碰撞池设备的制作方法

1.本实用新型涉及碰撞池技术领域，特别是涉及一种限流结构及碰撞池设备。


背景技术：

2.碰撞池是设置在离子通路中的一种桶状装置，碰撞池内部充入惰性或反应性气体，维持碰撞池比周围真空腔压力稍高的增压状态。当离子束穿过碰撞池时，多原子干扰离子与气体发生碰撞或反应，动能降低或质量数发生变化，通过动能区分(ked)或质量区分(md)与分析离子分开。碰撞池体内通过物理碰撞来消除多原子离子干扰。碰撞池一般池体增压较小，而离子动能稍大。
3.现有技术中碰撞池充入气体主要使用流量计或者是针阀进行限流控制。能进行这种极低流速控制的流量计往往价格昂贵，而针阀容易损坏，存在阀头掉落的风险，并且因为结构小，通道小，所以容易被堵塞。因此，需要一种新的方案来解决上述问题。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种限流结构及碰撞池设备，用于解决现有技术中限流结构价格高昂、易损且流体不能一次性限流到位的问题。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种限流结构，具体是这样设置的：包括阀体和阀芯组件，所述阀体内设置有贯通两端的介质流道，所述阀芯组件嵌设在所述介质流道内，其中，所述介质流道内设置有第一限位台阶孔，所述阀芯组件位于所述第一限位台阶孔处；所述阀芯组件设置有流体介质进口与流体介质出口，所述流体介质进口的尺寸能够调节。
6.可选地，所述阀芯组件包括第一阀芯和第二阀芯，所述第一阀芯外部设置有台阶部，所述第一阀芯通过所述台阶部卡设在所述第一限位台阶孔内，所述第二阀芯设置在所述第一阀芯内。
7.可选地，所述第一阀芯和第二阀芯同轴设置。
8.可选地，所述第一阀芯内部沿自身轴向设置有贯通的第二限位台阶孔，所述第二限位台阶孔包括相连接的大径段和小径段，所述流体介质进口位于所述大径段，所述第二阀芯卡设在所述第二限位台阶孔内。
9.可选地，所述第二阀芯内部设置有贯通两端的限流孔。
10.可选地，所述限流孔与第二限位台阶孔同轴设置。
11.可选地，所述阀芯组件的材质为非金属材料。
12.可选地，所述阀体外壁设置有拆装部。
13.可选地，所述阀体两端设置有连接部，用于与外部气路接头连接。
14.本实用新型还提供一种碰撞池设备，所述碰撞池设备包括上述任一项所述的限流结构。
15.如上所述，本实用新型提供的一种限流结构及碰撞池设备，具有以下有益效果：
16.阀体内设置有阀芯组件，通过控制阀芯组件的流体介质进口的大小达到对流体限流的作用，结构简单、紧凑、不易损坏，且能一次性对流体限流到位。
17.阀芯组件的流体介质进口的孔径可以根据需要更换为确定的大小，能够为后续的气体限流调节提供参考，提高了气体限流调节效率。进一步的，阀芯组件为非金属材料，加工简单，造价低廉。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例的限流结构的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例的第一阀芯结构示意图；
20.图3为本实用新型实施例的第二阀芯结构示意图。
21.零件标号说明
22.1-阀体；11-第一限位台阶孔；12-拆装部；
23.2-第一阀芯；21-第二限位台阶孔；
24.3-第二阀芯；31-限流孔。
具体实施方式
25.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
26.请参阅图1至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意的方式说明本实用新型的基本构想，遂图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种限流结构随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。本说明书所附图示所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
27.如图1所示，本技术的一些实施例提供了一种限流结构，包括阀体1和阀芯组件，阀体1内设置有贯通两端的介质流道，阀芯组件嵌设在介质流道内，且阀体1和阀芯组件同轴设置，便于加工和安装。
28.在一些实施例中，阀体1和阀芯组件不同轴设置，只要保证流体能够通过介质流道即可。
29.在一些实施例中，介质流道路径可以设置为直线、折线或曲线。
30.在一些实施例中，介质流道内设置有第一限位台阶孔11，阀芯组件位于第一限位台阶孔11处。阀芯组件设置有流体介质进口与流体介质出口，流体介质进口的尺寸能够调
节，进而控制流体进入碰撞池的流量大小。
31.在一些实施例中，流体介质是气体。在其他一些实施例中，流体介质是液体。
32.在一些实施例中，阀芯组件包括第一阀芯2和第二阀芯3，第一阀芯2外部设置有台阶部，台阶部棱边设置有倒角，便于安装。第一阀芯2通过台阶部卡设在第一限位台阶孔11内，第一阀芯2与第一限位台阶孔11过盈配合，避免流体介质泄露。第二阀芯3设置在第一阀芯2内。
33.在一些实施例中，第一阀芯2和第二阀芯3同轴设置，便于加工与安装。
34.图2是根据本技术的一些实施例所示的第一阀芯2的示意结构图。如图2所示，在一些实施例中，第一阀芯2内部沿自身轴向设置有贯通的第二限位台阶孔21，第二限位台阶孔21包括相连接的大径段和小径段，流体介质进口位于大径段。
35.在一些实施例中，第二阀芯3卡设在第二限位台阶孔21内，第二阀芯3的棱边设置有倒角，便于与第二限位台阶孔21进行安装。
36.图3是根据本技术的一些实施例所示的第二阀芯3的示意结构图。如图3所示，在一些实施例中，第二阀芯3内部设置有贯通两端的限流孔31，通过更改限流孔31的大小达到对流体进行限流的作用。当充入碰撞池的流体流量不满足需求时，通过更换第二阀芯3即可。且，限流孔31的孔径大小是确定值，能够为后续的气体限流调节提供参考值，提高气体限流调节效率。
37.在一些实施例中，限流孔31与第二限位台阶孔21同轴设置，避免限流孔31被第二限位台阶孔21遮挡，导致流体不能进入碰撞池。
38.在一些实施例中，阀芯组件的材质为非金属材料，避免阀芯组件长时间使用过程氧化生锈，且降低生产成本。阀芯组件材质可以是特氟龙、聚甲醛、酚醛、聚酰胺等。
39.在一些实施例中，阀体1外壁设置有拆装部12，拆装部12的外形呈六角形，便于阀体1与外部连接件的安装与拆卸。在其他一些实施例中，拆装部12的外形呈四边形、圆角矩形等。
40.在一些实施例中，阀体1两端设置有连接部，用于与外部气路接头连接。连接部可设置为外螺纹或内螺纹，外螺纹或内螺纹的型号大小根据外部气路接头的螺纹型号大小进行匹配设计。且阀体1两端棱边均设置有倒角，便于与外部气路接头进行安装。
41.在一些实施例中，本技术的限流结构可应用于碰撞池设备中。
42.综上所述，本实用新型提供的一种限流结构及碰撞池设备，阀体内设置有阀芯组件，通过控制阀芯组件的流体介质进口的大小达到对流体限流的作用，结构简单、紧凑、不易损坏，且能一次性对流体限流到位。阀芯组件的流体介质进口的孔径可以根据需要更换为确定的大小，能够为后续的气体限流调节提供参考，提高了气体限流调节效率。进一步的，阀芯组件为非金属材料，加工简单，造价低廉。
43.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。