一种电镀机注油装置的制作方法

1.本实用新型涉及电镀机技术领域，特别涉及一种电镀机注油装置。


背景技术：

2.电镀机在各个行业应用尤其是在半导体领域中使用广泛，可对8英寸晶圆及12英寸晶圆等进行电镀操作生产，在晶圆表面附着一层金属膜防止氧化，提高耐磨性、导电性、抗腐蚀性使晶圆的使用寿命更加长久。
3.注油装置是配合电镀机使用的重要部分，现有的注油装置上通常设有压力表，通过压力表来对注油装置内部的压力进行实时检测，以此来确保注油装置的工作效率，但是现有注油装置上的压力表只通过一根管道与注油装置进行连接，在管道出现损坏或需要对管道进行维护时，压力表不能进行正常的工作，严重影响注油装置的工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种高效率电镀机注油装置。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种电镀机注油装置，包括：
7.储油桶、安装于储油桶顶部的进油管和与电镀机连接的出油管、安装于储油桶内部的油泵、油泵与出油管连接、储油桶顶部设有压力表、压力表通过管道机构连接在储油桶顶部；
8.管道机构，管道机构包括安装于储油桶顶部的管道一、安装于管道一顶部的u型管一、u型管二、安装于u型管一、u型管二外壁的管道二、其中压力表安装于管道二的一端。
9.作为本实用新型的进一步方案，所述u型管一、u型管二相互连通，所述u型管一、u型管二分别与管道一、管道二连通。
10.作为本实用新型的进一步方案，所述u型管一外壁上安装有阀门一、阀门二，所述u型管二外壁上安装有阀门三、阀门四。
11.作为本实用新型的进一步方案，所述防护机构包括对称固定于储油桶外壁的连接条，两个所述连接条正相对的一端均开设有滑槽，所述滑槽内安装有滑块，两个所述滑块正相对的一端固定有防撞条。
12.作为本实用新型的进一步方案，所述滑槽一侧内壁固定有压缩弹簧，所述压缩弹簧远离滑槽一侧内壁的一端与滑块固定。
13.作为本实用新型的进一步方案，所述防撞条设有多个，多个所述防撞条沿储油桶外围圆周等距分布。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.本实用新型通过采用u型管一、u型管二将压力表与储油桶进行连接，当u型管一发生损坏或需要维护时，此时可以启用u型管二，同理，当u型管二发生损坏或需要维护时，此时可启用u型管一，相比较现有的，u型管一、u型管二同时损坏或维护的几率较小，所以当u
型管一、u型管二其中一个发生损坏时，另一个u型管一或u型管二还可以保证压力表能够进行正常的工作，从而提高压力表、储油桶工作的连续性以及工作效率。
16.本实用新型通过设置有防撞条，当防撞条受到撞击时，此时防撞条会在滑槽和滑块的配合下在连接条上进行移动，并且此时压缩弹簧会进行相应的收缩运动，在压缩弹簧收缩时会对防撞条所受到撞击力进行缓冲和吸收，最终在防撞条与压缩弹簧的共同配合下可以对储油桶进行保护，避免储油桶受到撞击损坏，进而提高了储油桶的使用寿命。
附图说明
17.图1为本实用新型的立体结构示意图；
18.图2为本实用新型的正面结构示意图；
19.图3为本实用新型的部分结构示意图；
20.图4为本实用新型图3中a放大结构示意图。
21.图中：101、储油桶；102、进油管；103、出油管；104、压力表；200、管道机构；201、管道一；202、u型管一；203、u型管二；204、管道二；205、阀门一；206、阀门二；207、阀门三；208、阀门四；300、防护机构；301、连接条；302、滑槽；303、滑块；304、防撞条；305、压缩弹簧。
具体实施方式
22.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
23.实施例1
24.请参阅图1-3，本实用新型提供了一种技术方案：一种电镀机注油装置，包括储油桶101、安装于储油桶101顶部的进油管102和与电镀机连接的出油管103、安装于储油桶101内部的油泵、油泵与出油管103连接、储油桶101顶部设有压力表104、压力表104通过管道机构200连接在储油桶101顶部；管道机构200，管道机构200包括安装于储油桶101顶部的管道一201、安装于管道一201顶部的u型管一202、u型管二203、安装于u型管一202、u型管二203外壁的管道二204、其中压力表104安装于管道二204的一端，u型管一202、u型管二203相互连通，u型管一202、u型管二203分别与管道一201、管道二204连通，u型管一202外壁上安装有阀门一205、阀门二206，u型管二203外壁上安装有阀门三207、阀门四208。
25.具体的，本实用新型通过采用u型管一202、u型管二203将压力表104与储油桶101进行连接，当u型管一202发生损坏或需要维护时，此时可以启用u型管二203，同理，当u型管二203发生损坏或需要维护时，此时可启用u型管一202，相比较现有的，u型管一202、u型管二203同时损坏或维护的几率较小，所以当u型管一202、u型管二203其中一个发生损坏时，另一个u型管一202或u型管二203还可以保证压力表104能够进行正常的工作，从而提高压力表104、储油桶101工作的连续性以及工作效率。
26.实施例2
27.请参阅图1-4，本实用新型提供了一种技术方案：一种电镀机注油装置，防护机构300包括对称固定于储油桶101外壁的连接条301，两个连接条301正相对的一端均开设有滑
槽302，滑槽302内安装有滑块303，两个滑块303正相对的一端固定有防撞条304，滑槽302一侧内壁固定有压缩弹簧305，压缩弹簧305远离滑槽302一侧内壁的一端与滑块303固定，防撞条304设有多个，多个防撞条304沿储油桶101外围圆周等距分布。
28.具体的，通过设置有防撞条304，当防撞条304受到撞击时，此时防撞条304会在滑槽302和滑块303的配合下在连接条301上进行移动，并且此时压缩弹簧305会进行相应的收缩运动，在压缩弹簧305收缩时会对防撞条304所受到撞击力进行缓冲和吸收，最终在防撞条304与压缩弹簧305的共同配合下可以对储油桶101进行保护，避免储油桶101受到撞击损坏，进而提高了储油桶101的使用寿命。
29.工作原理：
30.首先使用者需要通过进油管102将硅油倒入至储油桶101内，再将出油管103与电镀机进行连接，在电镀机启动的同时启动油泵，油泵将储油桶101内部的硅油通过出油管103输送至电镀机中，从而完成注油工作；
31.其次通过采用u型管一202、u型管二203将压力表104与储油桶101进行连接，当u型管一202发生损坏或需要维护时，此时可以启用u型管二203(关闭阀门一205、阀门二206)，同理，当u型管二203发生损坏或需要维护时，此时可启用u型管一202(关闭阀门三207、阀门四208)，相比较现有的，u型管一202、u型管二203同时损坏或维护的几率较小，所以当u型管一202、u型管二203其中一个发生损坏时，另一个u型管一202或u型管二203还可以保证压力表104能够进行正常的工作，从而提高压力表104、储油桶101工作的连续性以及工作效率；
32.最后通过设置有防撞条304，当防撞条304受到撞击时，此时防撞条304会在滑槽302和滑块303的配合下在连接条301上进行移动，并且此时压缩弹簧305会进行相应的收缩运动，在压缩弹簧305收缩时会对防撞条304所受到撞击力进行缓冲和吸收，最终在防撞条304与压缩弹簧305的共同配合下可以对储油桶101进行保护，避免储油桶101受到撞击损坏，进而提高了储油桶101的使用寿命。
33.以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。