流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于半导体制造装置等的流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，尤其涉及多个流体控制器集成化而形成的流体控制装置及这种流体控制装置上的热传感器设置结构。
【背景技术】
[0002]在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，通过将多个流体控制器相邻配置并安装在支承部件上的管路在基体部件上设置成并列状，不用借助于管子或接头就构成流体控制装置的集成化正在发展，并且，有时也设置加热装置(专利文献I)。
[0003]在这种流体控制装置中需要进行温度管理，为此，作为优选的传感器有热传感器。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本专利公开2006-349075号公报
【发明内容】
[0007](一 )要解决的技术问题
[0008]根据集成化的流体控制装置，由于相邻配置有多个流体控制器，因此没有用于设置热传感器的充足的空间，存在设置困难的问题。
[0009]本发明的目的在于提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，其能够有效利用流体控制装置上的空间，通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。
[0010](二)技术方案
[0011]本发明的流体控制装置具备彼此相邻的第I流体控制器及第2流体控制器，以及测定在第I流体控制器的流体通路中流动的流体的温度的热传感器，其特征在于，还具备安装在第I流体控制器及第2流体控制器中任意一个上，支承热传感器的支承部件。
[0012]流体控制装置通常做成多个管路配置成并列状，所述管路由呈串联状相邻的第I流体控制器及第2流体控制器，以及呈串联状配置的第3、第4等多个流体控制器形成。
[0013]热传感器例如是利用了由不同种金属间的温度梯度产生的温差电动势(塞贝克效应)的传感器。热传感器有时设置在流体控制装置的所有管路上，有时设置在一部分管路上O
[0014]支承热传感器的支承部件安装在第I流体控制器及第2流体控制器中任意一个上。在热传感器安装在第I流体控制器上的情况下，支承部件可以利用第2流体控制器进行安装，但在安装在第I流体控制器上较容易的情况下，支承部件也可以利用第I流体控制器进行安装。由此，能够有效利用流体控制装置上的空间，并且通过简单的施工来设置热传感器。
[0015]利用热传感器测定的第I流体控制器例如为流量控制器，但并不限定于此，开闭阀、调节器，过滤器、通路块等可以适当作为利用热传感器测定的第I流体控制器。并且，与该利用热传感器测定的第I流体控制器相邻的第2流体控制器例如为开闭阀，但流量控制器、调节器、过滤器，通路块等可以适当作为与第I流体控制器相邻的第2流体控制器。
[0016]优选地，第I流体控制器用来控制流量(质量流量控制器或流体可变式流量控制装置等)，第2流体控制器是进行第I流体控制器的流体通路的断流开放的开闭阀。
[0017]优选地，第2流体控制器(开闭阀)具有内置开闭机构的外壳，支承部件可从外壳上方装卸地安装在外壳上。
[0018]控制流量的流体控制器(即，质量流量控制器、流体可变式流量控制装置等)是在一个管路上配置一个的主要的流体控制器，必须配置与之相邻的开闭阀。因此，通过测定在控制流量的流体控制器中流动的流体的温度，同时利用开闭阀设置热传感器的支承部件，即使在构成一个管路的流体控制器的数量或种类发生变化的情况下，也可以不改变热传感器的设置结构。
[0019]优选地，第I流体控制器(即，质量流量控制器、流体可变式流量控制装置等)具有漏泄口，热传感器的检测端部插入该漏泄口。
[0020]漏泄口在进行有无漏泄的测试时使用，通过利用该漏泄口，不需要进行追加的加工，能够在接近流体的位置测定流体温度，能够正确测定流体温度。
[0021]热传感器只要能够将其检测端部插入漏泄口来计测温度即可，可以使用各种形式的热传感器。
[0022]优选地，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与外壳顶壁的外周面对应的形状。
[0023]这样，能够容易地进行支承部件向流体控制器的安装。
[0024]优选地，在一个突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。
[0025]这样，通过紧固支承部件用螺钉，狭缝的宽度变窄，支承部件固定在流体控制器上，因此能够容易地进行支承部件向流体控制器的安装。
[0026]优选地，以外壳顶壁的上表面为基准，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。
[0027]在集成化的流体控制装置中，由于多条管路设置成并联状，因此难以确保作业空间，但通过使螺钉插通孔(还有与此相伴的内螺纹部)倾斜，可以利用外壳顶壁上方的空间，能够避免与外壳或支承部件等的干涉来安装支承部件。
[0028]本发明的流体控制装置上的热传感器设置结构用于在流体控制装置上设置热传感器，所述流体控制装置具备流量控制器和开闭阀，所述流量控制器控制流量，所述开闭阀与流量控制器相邻配置，具有内置开闭机构的外壳，进行流量控制器的流体通路的断流开放，所述热传感器测定在流体控制器的流体通路中流动的流体的温度，其特征在于，具备支承热传感器的支承部件，支承部件可从开闭阀的外壳上方装卸地安装在外壳上。
[0029]优选地，热传感器的检测端部能够插入流量控制器上设置的漏泄口。
[0030]优选地，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与开闭阀的外壳顶壁的外周面对应的形状。
[0031]优选地，在一个突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。
[0032]优选地，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。
[0033](三)有益效果
[0034]根据本发明的流体控制装置，由于还具备安装在第I流体控制器及第2流体控制器中任意一个上，支承热传感器的支承部件，因此，在将热传感器安装在第I流体控制器上的同时，将支承热传感器的支承部件安装在任意一个流体控制器(安装较为容易的流体控制器)上即可，能够有效利用流体控制装置上的空间，并且通过简单的施工设置热传感器。
[0035]根据本发明的流体控制装置上的热传感器设置结构，由于支承热传感器的支承部件可从开闭阀的外壳上方装卸地安装在外壳上，因此，能够有效利用流体控制装置上的空间，并且通过简单的施工设置热传感器。
【附图说明】
[0036]图1是本发明的流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构的一个实施方式的立体图。
[0037]图2是图1的主要部分的俯视图。
[0038]图3是图2沿II1-1II线的剖面图。
[0039]图4是热传感器单元的分解立体图。
[0040]附图标记说明
[0041]1:流体控制装置，3:流量控制器(第I流体控制器)，4:开闭阀(第2流体控制器)，12a:漏泄口，15:外壳，15a:顶壁，17:热传感器，17a:检测端部，19:支承部件，21:主体，21b:内周面，22:狭缝，23:第I突出部，24:第2突出部，25:支承部件用螺钉，26:螺钉插通孔，27:内螺纹部。
【具体实施方式】
[0042]参照以下附图对本发明的实施方式进行说明。在以下说明中，将图1的上下设为上下。并且，将图1中开闭阀一侧设为前方，将流量控制器一侧设为后方。该上下/前后仅为了便于说明，有时也会前后颠倒，或上下变为左右来使用。
[0043]图1中示出由多条管路构成的集成化流体控制装置I中的2条管路2的一部分。
[0044]各管路2具备流量控制器(第I流体控制器)3、进行流量控制器3的流体通路(省略图示)的断流开放的开闭阀(第2流体控制器)4、省略图示的多个流体控制器(其他的开闭阀、调节器、过滤器等)、用于管理在流量控制器3的流体通路中流动的流体的温度的热传感器单元5。
[0045]流量控制器3是被称为质量流量控制器的流量控制器，由内置流量调整功能的主体11和支承该主体11的前后的伸出通路块12、13构成。在伸出通路块12上，在流量控制器3的漏泄试验中使用的漏泄口 12a设置成向上方开口。
[0046]开闭阀4为气动阀，具备主体