全自动SF6气体回收充放装置的制作方法

技术特征：

1.一种全自动SF6气体回收充放装置，其特征在于，包括深冷罐、过滤器和压缩机，所述深冷罐的侧面设有进液氮口和出液氮口，所述深冷罐上部通过管道与过滤器连接，所述过滤器与深冷罐之间还设有第一真空泵阀，所述过滤器与压缩机连接，所述压缩机与过滤器之间设有第一单向阀，所述深冷罐的下部还设有用于连接回收瓶的回收瓶接口，所述压缩机与第二真空压力表连接，所述第二真空压力表与分子筛的入口连接，所述分子筛出口还连接有第二真空泵阀，所述第二真空泵阀与用于连接应用装置的应用装置接口连接，所述应用装置接口依次并联有第一压力表，真空计和真空泵，所述真空计与所述应用装置接口之间还设有第二单向阀和第三真空泵阀，所述真空泵与应用装置接口之间还设有第三单向阀和第四真空泵阀，

所述深冷罐与第一真空泵阀之间还连接有第三压力表，所述第三压力表通过管道与用于连接新气瓶的新气瓶接口连接，所述新气瓶接口与应用装置接口之间串联一个第五真空泵阀和并联一个第六真空泵阀，所述第六真空泵阀依次还连接有无油泵和第七真空泵阀，所述第七真空泵阀还接有第四单向阀和第八真空泵阀。

2.根据权利要求1所述的全自动SF6气体回收充放装置，其特征在于，所述深冷罐的下部还设有支撑底座。

3.根据权利要求1所述的全自动SF6气体回收充放装置，其特征在于，所述深冷罐的上部还设有安全阀。

4.根据权利要求3所述的全自动SF6气体回收充放装置，其特征在于，所述新气瓶接口与第五真空泵阀之间还设有取样接口，所述取样接口与新气瓶接口之间还连接有取样阀。