1.一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，包括硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽，所述硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽通过管道依次顺序连接，其特征在于，所述输送装置还包括泄压管道，所述泵与所述传输阀之间的管道上设有液位感应器，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述传输阀之间的管道上，或者所述传输阀与所述酸洗槽之间的管道上设有液位感应器，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述酸洗槽之间的管道上，所述泄压管道上设有泄压阀。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，其特征在于所述泵为气动隔膜泵，型号为TREBOR MODEL 110。
3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，其特征在于所述传输阀和泄压阀均为气动隔膜阀，型号为CKD AMD313R-15BUP-00N4F。
4.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，其特征在于所述液位感应器为光电式接近开关，型号为OMRON E2K-L26MC1。