一种特殊气体供气的手动装置的制作方法

本实用新型涉及供气控制设备技术领域，特别涉及一种特殊气体供气的手动装置。

背景技术：

特殊气体如h2即氢气、c2h2即乙炔、ch4即甲烷、c2h4即乙烯等属于易燃易爆性气体，高危特殊气体如sih4即硅烷、ph3即磷烷等是自燃性气体。越来越多的特气使用在ic芯片、新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业中。各行各业由于工艺的差异，有些设备同时还会使用到诸如nh3即氨气、hcl即氯化氢、n2o即笑气、cl2即氯气等毒性、腐蚀性的气体。

很多工业和生活，尤其是高校实验室，要用以上特殊气体，会对实验室的安全埋下隐患；所以需要一套完善的供气系统设备。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种特殊气体供气的手动装置，其采用左供气模块、右吹扫模块，所有控制模块为机械式，安全便捷，维护成本低廉。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种特殊气体供气的手动装置，包括左供气模块、右吹扫模块；所述左供气模块设有左气管、大转接头、左小转接头、左高压手动隔膜阀、左高压调压阀、左低压气动隔膜阀；所述右吹扫模块设有右气管、右小转接头、右高压手动隔膜阀、右高压调压阀、高压球阀、单向阀、真空发生器；所述左气管设有左高压盘管、第一左气管、第二左气管、第三左气管；所述左小转接头设有第一左小转接头、第二左小转接头、第三左小转接头、第四左小转接头、第五左小转接头、第六左小转接头；所述左高压调压阀设有左高压压力表、左低压压力表；所述右气管设有右高压盘管、第一右气管、第二右气管、第三右气管、第四右气管、第五右气管、第六右气管、第七右气管、第八右气管、第九右气管、第十右气管、第十一右气管第十二右气管；所述右小转接头设有第一右小转接头、第二右小转接头；所述右高压调压阀设有右高压压力表、右低压压力表；所述高压球阀设有第一高压球阀、第二高压球阀、第三高压球阀、第四高压球阀。

进一步说，所述左高压盘管连接大转接头，所述大转接头连接第一左气管，所述第一左气管连接第一左小转接头，所述第一左小转接头连接左高压手动隔膜阀，所述左高压手动隔膜阀连接第二左小转接头，所述第二左小转接头连接第二左气管，所述第二左气管连接第三左小转接头，所述第三左小转接头连接左高压调压阀，所述左高压调压阀连接第四左小转接头，所述第四左小转接头连接第三左气管，所述第三左气管连接第五左小转接头，所述第五左小转接头连接左低压气动隔膜阀，所述左低压气动隔膜阀连接第六左小转接头。

进一步说，所述右高压盘管连接第一高压球阀，所述第一高压球阀连接第一右气管，所述第一右气管连接右高压调压阀，所述右高压调压阀连接第二右气管，所述第二右气管分连接第二高压球阀、第三右气管，所述第三右气管分连接第四右气管、第五右气管，所述第五右气管连接第三高压球阀，所述第三高压球阀连接第六右气管，所述第四右气管连接第四高压球阀，所述第四高压球阀连接第七右气管，所述第七右气管连接单向阀，所述单向阀连接第八右气管，所述第八右气管分连接第九右气管、第十右气管，所述第九右气管连接第一左气管，所述第十右气管连接第一右小转接头，所述第一右小转接头连接右高压手动隔膜阀，所述右高压手动隔膜阀连接第二右小转接头，所述第二右小转接头连接第十一右气管，所述第十一右气管连接真空发生器，所述真空发生器分连接第六右气管、第十二右气管。

进一步说，所述左高压盘管连接f2即氟气进气管，所述右高压盘管连接he即氦气进气管。

进一步说，所述第六左小转接头、第十二右气管、第二高压球阀设有出气口。

本实用新型的有益效果在于：本设计采用左供气模块、右吹扫模块，左供气模块为易燃易爆性、毒性腐蚀性特殊气体供气；右吹扫模块为吹扫置换气体，同时也可作为工艺气体；所有控制模块为机械式，安全便捷，维护成本低廉；可设置紧急切断功能，由气动隔膜阀切断气源，安全高效；右吹扫模块更换钢瓶更加完全，也兼顾了工艺气体的纯净度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

下面结合实施例，并参照附图，对本实用新型目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

如图1所示，所述一种特殊气体供气的手动装置，包括左供气模块1、右吹扫模块2；所述左供气模块1设有左气管10、大转接头11、左小转接头12、左高压手动隔膜阀13、左高压调压阀14、左低压气动隔膜阀15；所述右吹扫模块2设有右气管20、右小转接头22、右高压手动隔膜阀23、右高压调压阀24、高压球阀25、单向阀26、真空发生器27；所述左气管10设有左高压盘管100、第一左气管101、第二左气管102、第三左气管103；所述左小转接头12设有第一左小转接头121、第二左小转接头122、第三左小转接头123、第四左小转接头124、第五左小转接头125、第六左小转接头126；所述左高压调压阀14设有左高压压力表141、左低压压力表142；所述右气管20设有右高压盘管200、第一右气管201、第二右气管202、第三右气管203、第四右气管204、第五右气管205、第六右气管206、第七右气管207、第八右气管208、第九右气管209、第十右气管210、第十一右气管211第十二右气管212；所述右小转接头22设有第一右小转接头221、第二右小转接头222；所述右高压调压阀24设有右高压压力表241、右低压压力表242；所述高压球阀25设有第一高压球阀251、第二高压球阀252、第三高压球阀253、第四高压球阀254。

如图1所示，所述左高压盘管100连接大转接头11，所述大转接头11连接第一左气管101，所述第一左气管101连接第一左小转接头121，所述第一左小转接头121连接左高压手动隔膜阀13，所述左高压手动隔膜阀13连接第二左小转接头122，所述第二左小转接头122连接第二左气管102，所述第二左气管102连接第三左小转接头123，所述第三左小转接头123连接左高压调压阀14，所述左高压调压阀14连接第四左小转接头124，所述第四左小转接头124连接第三左气管103，所述第三左气管103连接第五左小转接头125，所述第五左小转接头125连接左低压气动隔膜阀15，所述左低压气动隔膜阀15连接第六左小转接头126。

如图1所示，所述右高压盘管200连接第一高压球阀251，所述第一高压球阀251连接第一右气管201，所述第一右气管201连接右高压调压阀24，所述右高压调压阀24连接第二右气管202，所述第二右气管202分连接第二高压球阀252、第三右气管203，所述第三右气管203分连接第四右气管204、第五右气管205，所述第五右气管205连接第三高压球阀253，所述第三高压球阀253连接第六右气管206，所述第四右气管204连接第四高压球阀254，所述第四高压球阀254连接第七右气管207，所述第七右气管207连接单向阀26，所述单向阀26连接第八右气管208，所述第八右气管208分连接第九右气管209、第十右气管210，所述第九右气管209连接第一左气管101，所述第十右气管210连接第一右小转接头221，所述第一右小转接头221连接右高压手动隔膜阀23，所述右高压手动隔膜阀23连接第二右小转接头222，所述第二右小转接头222连接第十一右气管211，所述第十一右气管211连接真空发生器27，所述真空发生器27分连接第六右气管206、第十二右气管212。

如图1所示，所述左高压盘管100连接f2即氟气进气管，所述右高压盘管200连接he即氦气进气管。

如图1所示，所述第六左小转接头126、第十二右气管212、第二高压球阀252设有出气口。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。