一种正硅酸乙酯用钢瓶的制作方法

1.本实用新型涉及产品罐技术领域，具体涉及一种正硅酸乙酯用钢瓶。


背景技术：

2.半导体工艺形成氧化层的方法主要有热氧化(针对能形成自身稳定氧化层的半导体材料)、低压化学气相淀积(lpcvd)、等离子增强化学气相淀积 (pecvd)和常压化学气相淀积(apcvd)等，其中由于apcvd要求的气流量大，且工艺产生颗粒相对较多，目前大多数半导体工艺已很少使用。
3.正硅酸乙酯(teos)用于lpcvd时，teos从液态蒸发成气态，在700～ 750℃、300mtor压力下分解在硅片表面淀积生成二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜沉积的速率可以达到50
à
/min，薄膜的厚度均匀性小于3％，这些优良的工艺特性和其在使用安全性方面的显著特点已逐步成为沉积二氧化硅薄膜的主流工艺。
4.应用正硅酸乙酯(teos)lpcvd技术实现二氧化硅在sic晶片表面的淀积，可在一定程度上弥补sic氧化层过薄和pecvd二氧化硅层过于疏松的弊端。采用teos lpcvd技术与高温氧化技术的合理运用，既保证了氧化层介质的致密性和与sic晶片的粘附能力，又提高了器件的电性能和成品率，同时避免了为获得一定厚度氧化层长时间高温氧化的不足。采用此技术后， sic芯片的直流成品率得到提高，微波功率器件的对比流片结果显示微波性能也得到了明显的提升,功率增益比原工艺提高了1.5db左右，功率附加效率提升了近10％。
5.半导体制造技术进入到了新的发展阶段，特别是主流工艺进入10纳米以后，工艺对前驱体原料的要求也越来越高，其中对沉积二氧化硅生长所需要的正硅酸乙酯(teos)原料的纯度有了更高的要求，正硅酸乙酯的蒸馏提纯工艺已经完全能满足10纳米以下工艺。
6.但是，经过提纯的正硅酸乙酯需要罐装到产品罐中，并运输到最终客户端使用，在罐装，运输，使用过程中一直受到污染源的威胁，使得原有的正硅酸乙酯的产品罐无法满足10纳米及更先进半导体工艺的要求，从而降低该产品的使用效果。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的是提供一种正硅酸乙酯用钢瓶。
8.为了达到上述发明目的，采用的技术方案是：一种正硅酸乙酯用钢瓶，包括本体、水汽监测装置、套设在本体上的固定装置以及固定在本体顶端中心处的输气装置；所述水汽监测装置包括用于监测本体内水汽的水份传感器以及用于填充惰性气体的高压气体箱，所述输气装置包括用于输入气体的进气口和用于输出气体的出气口，所述高压气体箱通过管道与进气口连接。
9.进一步的，所述固定装置由组成一个圆环的两个柔性钢片组成，每个柔性钢片的两端均设有位置对应的螺孔，螺孔上可拆卸的安装有用于圆环直径的调节螺栓；可以通过螺孔和调节螺栓的配合使用来调节圆环的直径，适用于不同型号的钢瓶。
10.进一步的，每个所述柔性钢片的两端均连接有相互匹配的公接头和母接头；通过
增加固定装置增加了其稳定性，减少了正硅酸乙酯在运输过程中因碰撞导致密封装置破损，从而造成的气体外泄。
11.进一步的，所述进气口和出气口分别连接有设在所述本体内部的第一导气管和第二导气管，第一导气管的底端靠近所述本体的顶端设置，第二导气管的底端靠近所述本体的底端设置。
12.进一步的，所述本体内还装有气压感应装置，可以更好的把握惰性气体的填充量，避免因为压强过大而造成的导流或者装置受损。
13.进一步的，所述进气口与出气口处均设有电磁阀，增加了气密性。
14.进一步的，所述水份传感器设在所述本体内靠近所述进气口处，能够更加准确地感应水分的存在，从源头上隔绝水蒸气。
15.进一步的，所述输气装置顶端铰接有用于防止水汽进入本体的保护罩，在白虎电磁阀的同时也保证了气密性。
16.进一步的，所述本体一侧设置有底二维码标签，用于记录和读取所述本体使用记录。
17.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
18.1.本实用新型开发了一种正硅酸乙酯用钢瓶，增设可拆卸的高压气体箱，可以通过少量惰性气体的输入，以使产品与大气中的水份隔离，从而有效防止产品发生吸水现象，还可以通过大量的惰性气体的输促进正硅酸乙酯有效排出；
19.2.增设可拆卸的固定装置，增加了其稳定性，便于多个正硅酸乙酯用钢瓶的集体运输，避免了正硅酸乙酯在运输过程中因碰撞导致密封装置破损，从而造成的气体外泄；
20.3.增设二维码标签，可以直观的记录和读取钢瓶的使用记录，解决了了纸质标签易破损，易丢失以及载容量少的缺点；
21.4.本实用新型的产品结构简单，成本较低，且具有良好的商业化意义，适于推广应用。
附图说明
22.图1是本实用新型实施例1的结构示意图。
23.其中：1、本体；2、高压气体箱；3、柔性钢片；4、二维码标签；5、进气口；6、出气口；7、水份传感器；8、公接头；9、母接头。
具体实施方式
24.结合实施例对本实用新型作进一步描述：
25.实施例1
26.如图1所示，一种正硅酸乙酯用钢瓶，包括本体1、水汽监测装置、套设在本体1上的固定装置以及固定在本体1顶端中心处的输气装置；所述本体1为内壁符合有防腐蚀层的钢结构容器，所述水汽监测装置包括用于监测本体1内水汽的水份传感器7以及用于填充惰性气体的高压气体箱2，所述输气装置包括用于输入气体的进气口5和用于输出气体的出气口6，所述高压气体箱2通过管道与进气口5连接；所述高压气体箱2向本体1内输入适量的惰性气体，以使产品与大气中的水份隔离，以有效防止产品发生吸水现象，进气口5和出气口6分
开设置，配合安装在本体1内的气压感应装置，可以更好的调节本体1内压强；此外，一些贱价惰性气体可以帮助正硅酸乙酯从本体1内排出，减少了资源浪费；
27.所述进气口5和出气口6分别连接有设在所述本体1内部的第一导气管和第二导气管，第一导气管的底端靠近所述本体1的顶端设置，可以使惰性气体集中在本体1内底部设置，第二导气管的底端靠近所述本体1的底端设置，在惰性气体的加压下，可以更好的排出正硅酸乙酯；所述进气口5与出气口6处均设有电磁阀，增加了其密封性，输气装置顶端铰接有保护罩避免水汽在输气装置附近汇集；
28.所述水份传感器7设在所述本体1内部且靠近所述进气口5设置，可以更加准确地感应到水分，便于及时的填充惰性气体以及对本体1的气密性进行检修；
29.所述固定装置由组成一个圆环的两个柔性钢片3组成，每个柔性钢片3 的两端均设有位置对应的螺孔，螺孔上可拆卸的安装有用于圆环直径的调节螺栓；每个所述柔性钢片3的两端均连接有相互匹配的公接头8和母接头9，相邻两个本体1之间可以通过公接头8和母接头9进行固定，增加了其稳定性，便于多个正硅酸乙酯用钢瓶的集体运输；
30.所述本体1一侧设置有底二维码标签4，用于记录和读取所述本体1使用记录，通过扫描二维码，可以直观的看出所述正硅酸乙酯用钢瓶的生产日期、使用年限以及维修记录，当然操作人员可以通过扫描二维码进行数据录入。
31.实施例2
32.本实用新型一种正硅酸乙酯用钢瓶的使用步骤如下：
33.(1)扫描二维码标签，读取钢瓶的使用记录；
34.(2)将正硅酸乙酯通过进气口输进钢瓶内；
35.(3)将高压气体箱与进气口连接，并将惰性气体输入钢瓶内，形成封层；
36.(4)扫描二维码标签，并输入数据；
37.(5)将多个钢瓶通过固定装置连接并运输。
38.本实用新型一种正硅酸乙酯用钢瓶，增设可拆卸的高压气体箱2，通过输入惰性气体，以使产品与大气中的水份隔离，从而有效防止产品发生吸水现象，以及正硅酸乙酯有效排出；增设可拆卸的固定装置，增加了其稳定性，便于多个正硅酸乙酯用钢瓶的集体运输；增设二维码标签4可以直观的记录和读取钢瓶的使用记录。
39.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在下面的描述中，提供诸如具体的配置和组件的特定细节仅仅是为了帮助全面理解本技术的实施例。因此，本领域技术人员应该清楚，可以对这里描述的实施例进行各种改变和修改而不脱离本技术的范围和精神。另外，为了清楚和简洁，实施例中省略了对已知功能和构造的描述。
40.应该理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“本实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本技术的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“一个实施例”或“本实施例”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。
41.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的
一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的上述实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。