一种扩散用自清洁通源管路的制作方法

1.本实用新型涉及光伏电池制造领域，尤其涉及一种扩散用自清洁通源管路。


背景技术：

2.太阳能电池在生产过程中，通过扩散工艺形成pn结，这需要在高温条件下利用磷源扩散来实现的，也就是所谓的通源，通源过程通常是用外部氮气直接将三氯氧磷携带到扩散炉管内进行反应，现有技术中的通源装置主要由进气管路和源瓶构成，氮气沿进气管路进入源瓶，并携带三氯氧磷进入炉管，通入炉管前要通过pc流量计监测控制进入炉管的含磷源的气体和气压，充源过程容易腐蚀器件，如pc流量计，造成管路堵塞，使供源不稳定，因该种通源管路结构单一，无其他岔路管道，所以出现问题时只能直接更换掉气体管道和pc流量计等器件，这样会影响正常的扩散工作，耽误进度，维护成本也较高，严重时还会发生所能磷源泄露以及硅片返工等异常。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种扩散用自清洁通源管路，该通源管路进行了结构优化，设置了分岔支路，可以直接通过管路支路的通断实现通源管路和必要器件的清洁，提高了通源管路的使用寿命和通源效率，降低了维修成本。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.一种扩散用自清洁通源管路，包括气路管道和气路控制组件,其特征在于，具体包括总进气管路、总出气管路和两条支气管路，总进气管路用来接通氮气，其上连接有氮气流量计；总出气管路用来接通炉管，其上连接有pc流量计；两条支气管路包括通源支路和节源吹扫支路，通源支路和节源吹扫支路通过第一三通接头在总进气管路上分成两路，又通过第二三通接头在总出气管路上汇合；通源支路包括通源进气路、第一支路、第二支路和第三支路，第一支路和第二支路通过第三三通接头在通源进气路上分成两路，又通过第四三通接头在第三支路上汇合，第一支路上连通有源瓶。
6.进一步，所述源瓶的进气端连接第一支路的管道，源瓶与第三三通接头之间路径上设置有第三气动阀；源瓶的出气端连接到第四三通接头的其中一端口。
7.进一步，所述第二支路上设置有第四气动阀，位于第三三通接头和第四三通接头之间的管路上。
8.进一步，所述第三支路上设置有第五气动阀，位于第四三通接头和第二三通接头之间的管路上。
9.进一步，所述节源吹扫支路上设置有第一气动阀，位于第一三通接头和第二三通接头之间的管路上。
10.进一步，所述总出气管路上还设置有第六气动阀，位于pc流量计出气一侧的管路上。
11.本实用新型的有益效果为：
12.1、本技术的通源管路，可以定期使用氮气对管道及管道上的器件进行吹扫清洁，直接通过阀门的通断控制氮气的走向即可轻松实现，不需另外对管道和器件进行拆卸清洁，也无需更换外接气源，使用原有通源的氮气就可，高效快捷。
13.2、本技术的通源管路，从进气的开端氮气流量计之后就将通气管路分成了两路，通源支路和节源吹扫支路，节源吹扫支路不走源瓶，关闭通源支路上的第一气动阀，打开第二气动阀，通入管路的氮气则直接经过第二气动阀经第二三通接头直接进入pc流量计，此时由氮气对pc流量计进行吹扫，可以有效的将附着在pc流量计的堆积物和腐蚀物吹扫出去，稳定pc流量计长期使用的效果，延长pc流量计的寿命。若打开第一气动阀，关闭第二气动阀和第三气动阀，氮气则从第二支路经过第三支路到pc流量计，这样同时吹扫清洁了有磷源经过的管道和pc流量计，因为对pc流量计和有磷源经过的管道的清洁工作可以不同时进行，清洁的频率也不同，所以两条吹扫路线可以分开进行，单独设计出的节源吹扫支路结构，路径短，在单独清洁吹扫pc流量计的时候也能更节源。
附图说明
14.图1为本实用新型扩散用自清洁通源管路的结构示意图；
15.图2为本实用新型扩散用自清洁通源管路通源时气体流经路线示意图；
16.图3为本实用新型扩散用自清洁通源管路清洁吹扫时气体流经路线示意图；
17.图中：1、氮气流量计，2、第一三通接头，3、第一气动阀，4、第二气动阀，5、源瓶，6、第三气动阀，7、第三三通接头，8、第四气动阀，9、第四三通接头，10、第五气动阀，11、第二三通接头，12、pc流量计，13、第六气动阀，100、气管，110、通源支路，120、节源吹扫支路，111、第一支路，112、第二支路，113、第三支路。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
19.参照图1，本实施例的扩散用自清洁通源管路，包括气路管道和气路控制组件，是由气管100和连接气管的器件构成的特定管路结构，具体包括总进气管路、总出气管路和两条支气管路，总进气管路用来接通氮气，其上连接有氮气流量计1，监测通入的氮气流量。总出气管路用来接通炉管，其上连接有pc流量计12，监测控制通入炉管的气体的流量。
20.在本实施例中，两条支气管路包括通源支路110和节源吹扫支路120，通源支路110和节源吹扫支路120通过第一三通接头2在总进气管路上分成两路，又通过第二三通接头11在总出气管路上汇合，第一三通接头2两侧分别设置第一气动阀3和第二气动阀4，当第一气动阀3开通时，第二气动阀4关闭，氮气直接走通源支路110这一支，相反当第一气动阀3关闭时，第二气动阀4开通，氮气直接走节源吹扫支路120这一支，实现纯清洁吹扫工作，路径短，更节源。在本实施例中涉及到的气动阀都分别外接电磁阀，由电磁阀精准控制气动阀的通断，此处为现有技术，不做赘述亦可理解。
21.在本实施例中，通源支路110包括通源进气路、第一支路111、第二支路112和第三支路113，第一支路111和第二支路112通过第三三通接头7在通源进气路上分成两路，又通
过第四三通接头9在第三支路上113汇合，第一支路111上连通有源瓶5，源瓶5的进气端连接第一支路111的管道，源瓶5与第三三通接头7之间管路上设置有第三气动阀6，源瓶5的出气端连接到第四三通接头9的其中一端口，第二支路112上设置有第四气动阀8，位于第三三通接头7和第四三通接头9之间的管路上，第三支路113上设置有第五气动阀10，位于第四三通接头9和第二三通接头11之间的管路上。源瓶5为三氯氧磷的储存装置，现有技术无需赘述亦能理解。
22.在本实施例中，总出气管路上还设置有第六气动阀13，位于pc流量计12出气一侧的管路上，可以控制整个管路的通断。
23.在通源支路110中，进行通磷源工作时，如图2，第二支路112不走气体，第一气动阀3、第三气动阀6打开，第二气动阀4、第四气动阀8关闭，第五气动阀10、第六气动阀13打开，氮气进入源瓶后携带磷源顺着管路从第四三通接头9流向第三支路113，然后经过第二三通接头11、pc流量计进入扩散炉管进行反应。在通源支路110中进行清洁时，则关闭第三气动阀6，打开第四气动阀8、第五气动阀10、第六气动阀13，通入的氮气经第二支路112和第三支路113走向pc流量计，如图3，对沿途的气管100和期间的器件进行氮气吹扫，从而起到疏通管路、带走堆积易物的效果。在通源支路110中和节源吹扫支路120中的吹扫过程可以同时进行，也可以分开进行，pc流量计的清洁频率高于管道清洁，因此只清洁pc流量计时可以选择单独进行走节源吹扫支路120这一支通气。
24.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。