一种充装装置及其充装方法与流程

本技术涉及工业气体生产的，尤其是涉及一种充装装置及其充装方法。

背景技术：

1、羰基硫，又称氧硫化碳，是一种广泛应用于农药、医药和其它化工产品生产的工业气体。比如，通过羰基硫作为谷物的熏蒸剂，这种熏蒸剂具有较好的渗透性，并对许多害虫有较好的毒杀作用，而且毒性适中，易于降解，在水中其可分解为二硫化碳和硫化氢，燃烧时生成一氧化碳和硫，相对于其它的组分，其对环境的污染较小。

2、而近年来，高纯羰基硫被发现在集成电路刻蚀工艺中有特殊的功效，目前在一些集成电路的相关生产工业中，已经建立了以氧硫化碳为原料的芯片刻蚀生产线。随着羰基硫的应用范围进一步的打开，市场上对羰基硫的需求也逐渐的增加。

3、在羰基硫的生产过程中，通常都先经过一系列的反应和处理后，得到羰基硫，然后再将得到的羰基硫产品充装到产品罐中，再进行输送。

4、随着羰基硫应用领域的高端化，对于羰基硫的纯度的要求也变得更高。在充装的过程中产品瓶通常会存在有一些杂质气体，因此为了提高充装后的产品瓶中的羰基硫的纯度，通常都会设置气体吹扫（比如氮气等）管道，先通过惰性气体对管道和产品瓶进行吹扫，以除去管道和产品瓶中的气体杂质，并且吹扫的气体通入到尾气处理系统中；然后在羰基硫充装之前再使用羰基硫进行吹扫，将管道和产品瓶中的气体通排入到尾气处理系统中；使得产品瓶中不存在其余的气体，再进行充装。而在羰基硫对管道和产品瓶进行管道吹扫的时，羰基硫尾气通入到尾气处理系统中，比较难用常规的方法进行处理，因此容易增加尾气处理系统的处理成本；并且在上述的方案中使用羰基硫进行吹扫，羰基硫的消耗高，也会提高成本。

技术实现思路

1、为了减少因为充装而消耗比较多的羰基硫，并且也为了减少羰基硫排放到尾气处理系统中，而造成尾气处理系统成本的增加，本技术提供一种充装装置及充装方法；能够减少在充装时对后面尾气处理系统的负担，也能够减少在充装时羰基硫的消耗，而且还能够提高充装产品的纯度，具有较大的实际生产意义。

2、本技术采用如下的技术方案：

3、一种充装装置，包括精馏件、收集件、吹扫管道以及去尾气系统管道，所述精馏件和所述收集件之间连接有充装管道，且所述充装管道和所述收集件进料的一侧相连接，所述吹扫管道能够和所述充装管道相连接，所述收集件出料的一侧上连接有第一管道和第二管道；所述第一管道连接于所述收集件和所述去尾气系统管道之间，所述第二管道连接于所述收集件和所述精馏件之间，所述吹扫管道、所述去尾气系统管道、所述充装管道以及所述第一管道和所述第二管道分别连接有启闭件。

4、通过采用上述技术方案，在车间生产中，精馏件通常为精馏塔，生产的羰基硫产品经过多次精馏和脱重后，进入到精馏件中，然后再充装到收集件中；精馏件通过充装管道将产品从精馏件中冲入到收集件中。吹扫管道和充装管道相连接，收集件上连接有第一管道和第二管道，吹扫管道先向充装管道通入置换气体，比如氮气等，在使用吹扫管道置换气体时，气流依次经过充装管道、收集件和第一管道，进入到去尾气系统管道中，从而将管道和收集件中的杂质气体带走，提高后面充装时候的纯度。吹扫管道吹扫后，使用羰基硫进行吹扫管道，羰基硫依次经过充装管道、收集件和第二管道，并且第二管道和精馏件相连通，从而使得吹扫的羰基硫能够进入到精馏件中，并且将管道中的吹扫气体带走，羰基硫吹扫完毕后，即可以进行羰基硫的充装。

5、经过吹扫管道和羰基硫的置换后，能够降低收集件中羰基硫的杂质，产品质量能够达到5n的水平，具有很高的纯度。并且通过上述的方案，大大减少羰基硫进入到尾气处理系统的可能，从而不容易对尾气处理造成额外的负担，并且羰基硫吹扫管道时再进入到精馏件中，也减少的羰基硫的消耗。

6、可选的，所述充装管道上连接有计量泵。

7、通过采用上述技术方案，通过使用计量泵可以同时达到输送、计量和调节的功能。

8、可选的，所述吹扫管道包括有第一吹扫管道和第二吹扫管道，所述第一吹扫管道和所述第二吹扫管道均和所述充装管道相连接，且所述第一吹扫管道和所述充装管道的连接处位于所述精馏件和所述计量泵之间；所述第二吹扫管道和所述充装管道的连接处位于所述计量泵和所述收集件之间。

9、通过采用上述技术方案，在刚开始时可以通过第一吹扫管道对充装管道和计量泵进行吹气，以置换管道中的杂气，计量泵充满液相的羰基硫产品后，可以通过第二吹扫管道来置换新的收集件内的杂气，从而提高充装装置在使用时候的适应性。

10、可选的，所述收集件出料的一侧还连接有第三吹扫管道，且所述第三吹扫管道远离所述收集件的一端连接于所述第一吹扫管道或者所述第二吹扫管道。

11、通过采用上述技术方案，吹扫完毕后，可以使用第三吹扫管道进行通气，使得第二管道中的羰基硫产品能够回流至精馏件中，从而进一步减少羰基硫产品的消耗。

12、可选的，所述充装管道于所述计量泵和所述收集件之间设置有第三管道和第四管道，所述第三管道和所述去尾气系统管道相连接，所述第四管道和所述第二管道相连接。

13、通过采用上述技术方案，充装管道位于计量泵和收集件之间的部分，可以通过第二吹扫管道和第三管道进行清扫，并且清扫的尾气先通入去尾气系统管道，然后在使用羰基硫进行置换管道的气体时，通过第二管道羰基硫能够回流至精馏件中。

14、可选的，所述吹扫管道连接于lpn氮气管线。

15、第二方面，本技术提供一种充装方法。

16、一种充装方法，使用上述方案中的充装装置，包括以下步骤：

17、（1）充装前进行管道吹扫；关闭第二管道的启闭件，然后通过吹扫管道进行吹扫，氮气吹扫的路径为先进入到充装管道中，然后再进入到收集件中，并通过第一管道排放到去尾气系统管道中，从而将充装管道、收集件中的杂质气体排出。

18、（2）充装；在充装的过程中，保持第一管道处于关闭状态，第二管道处于开启状态，充装时精馏件中的羰基硫通过充装管道进入到收集件中，并且收集件中气化的羰基硫能够进入到第二管道中并回流至精馏件中。

19、通过采用上述技术方案，在充装时能够降低co2等气体的含量，并且充装得到的羰基硫产品质量能够达到5n。

20、可选的，在充装前，让充装的产品液体灌满所述计量泵的泵体。

21、通过采用上述技术方案，能够有效减少计量泵发生气蚀不打量，更有利于后面的排气到精馏件中。

22、综上所述，本技术包括以下至少一种有益效果：

23、1.在充装前，通过吹扫管道进行氮气吹扫，使得充装管道和收集件被氮气置换，并且此时出气的一端连接于去尾气处理管道，带氮气置换完成后，使用羰基硫进行置换氮气，且此时出气的一端回流至精馏件中，能够减少羰基硫进入到尾气处理系统中，对尾气处理系统造成额外的负担，并且也能够减少羰基硫的消耗，从而降低成本。

24、2.通过本技术的充装方式，能够降低收集件中的轻组分杂质，充装的产品中co2等杂质的含量大大降低，羰基硫的产品质量能够提高到5n的水平。