技术总结
基于差动离焦测量的双光束平行性检测装置与方法属于光学检测技术；待测双光束通过准直物镜后入射分光棱镜，在分光棱镜的分光面均被分为一束反射光和一束透射光，待测双光束的透射光束与反射光束分别完整入射到透射、反射方向高精度图像采集装置的透射、反射图像采集面，高精度图像采集装置的图像采集面相对于准直物镜的焦平面差动离焦布置，可同时获得待测双光束的两透射光束与两反射光束共四个光斑及其质心位置，通过离焦距离与光斑质心距离可计算得出两待测光束间的夹角大小，该夹角表征待测双光束的平行性，本发明不仅在待测双光束平行性较好时可以检测光束平行性，而且不受入射光离轴误差的影响。
技术研发人员：陆振刚;谭久彬;郑涛
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
文档号码：201410339034
技术研发日：2014.07.10
技术公布日：2017.06.13