基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器及其制作方法与流程

文档序号:11823747阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器,包括纤芯(1)、包层(2)、空气泡(3);其特征在于,所述的空气泡(3)位于光纤内,为椭圆形,长轴为50μm,短轴为40μm,空气泡的中心与光纤纤芯中心的距离为8-10μm。

2.一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)取单模光纤,用剥纤钳剥除光纤涂覆层,用切割刀切出一个整洁的光纤端面;

(2)采用飞秒激光微加工,激光波长为800nm,重复频率1KHz,脉宽120fs,最高输出功率100mW,经过快门和衰减片调整到1mW左右,然后经过20倍物镜聚焦到光纤端面上,光纤固定在精度0.1μm的三维平移台上;

(3)在光纤端面上烧蚀出一个矩形,宽度28μm长度32μm,深度40-50μm,矩形中心与光纤纤芯中心的距离为18μm;

(4)将经过烧蚀的光纤端面用酒精清洗1分钟后,与另一端无处理的光纤端面进行熔接,熔接后即可在光纤中形成空气泡,从而获得一个光纤马赫泽德传感器。

3.根据权利要求1所述的一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器,其特征在于,干涉光谱的对比度会随着光纤包层外面的物质折射率发生改变,通过预先标定的干涉光谱对比度与折射率的关系可获得物质折射率的大小。

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