利用测试程序防止晶圆Map图移位的方法与流程

本发明涉及一种利用测试程序防止晶圆Map图移位的方法，属于集成电路测试技术领域。

背景技术：

对集成电路管芯的测试由测试系统和探针台经过精密对接共同完成，通过晶圆测试对所有管芯进行分类：即失效的管芯和合格的管芯；为了满足先进的工艺和自动化的要求，现在很少用墨点来区分管芯的好与坏，而是采用电子式Map图，该Map图是探针台在测试过程中自动生成的。Map图不仅记录着管芯的好与坏还记载着被测管芯的其它测试状态信息；把测试过的晶圆和电子式Map图同步传递到下一道工序，比如：把Map图输入，该工序的设备就能自动完成操作，真正做到了生产线自动化。

由于集成电路制造工艺的不断进步，晶圆直径达到了300mm，管芯的线条达55nm或更微细、管芯面积更小，一枚晶圆上可以制作万个以上管芯；完成逐个管芯的测试，时间很长，为了提高测试效率、节省成本，通常根据管芯的结构和特点采用多site(site：通常业内人士指晶圆上的一个管芯位置叫一个site)并行测试方法，这里说的多site并行测试：是指在一台测试机上可同时对多个集成电路管芯进行全自动检测，通过专门设计制作的探针卡可以同时连接到多个管芯的引脚上，使得测试机可以同时进行多个管芯的测试，并记录多个管芯的测试结果，通过单位时间内增加被测管芯的数量来提高测试机的吞吐率，减少测试机闲置资源，提高了测试设备的利用率，大大降低了能耗，减少了测试厂房的占地面积。但是在使用某型号探针台进行多site并行测试过程中用现有的方法Map图常常发生移位；移位，就是管芯的位置坐标是固定的，而完成测试给出的Map图坐标与实际结果发生的上下或者左右移位，给出的测试结果就会有偏差，造成了合格管芯与失效管芯的误 判，为了防止多site并行测试过程中Map图移位发生，如何解决多site并行测试过程中Map图移位，是本领域技术人员亟待解决的关键技术问题之一。

技术实现要素：

本发明的目的是解决多site并行测试过程中Map图移位的发生，找到了一个有效、可靠的预防方法；

本发明的技术解决方案包括如下步骤：

步骤一：在多site并行测试程序中设定探针卡探针固定标志site作为定位标志，该site坐标值和测试bin(Bin值是指自动测试时，为了区分管芯的失效类型，通常用Bin值表示，通常测试程序软件设定Bin 1为合格管芯、Bin 2为接触失效等。)值设定为特殊标识数值；

步骤二：开始晶圆测试时，第一次touchdow(是指探针扎在芯片压点上，探针的运行轨迹是扎下抬起为一个完整动作)探针停在设定好的坐标位置，测试程序自动读出定位site坐标值和测试bin值。

步骤三：测试程序判定读取出的数据值与设定数据值不一致时，测试机会报警，设备自动停止运行，等待处理。这里说的测试程序是指集成电路程序，该程序是基于所采用的测试机为平台和开发语言编写，内容包括被测管芯与测试机的连接、各种电信号输入和测量输出、测试结果处理等。

在步骤一中，编制多site测试程序时设定site3作为定位坐标和bin值，比如site3的坐标为(0.0)，bin值设定为111；也可以为其它值。

在步骤二中第一个touchdown，探针停在定位site3处，测试程序自动读取site 3的坐标值和bin值。

附图说明

下面结合附图和具体实施方案对本发明做进一步说明：

图1为本申请一实施提供的管芯压点的结构示意图。

图2为本申请一实施提供的探针的结构示意图。

图3为本申请一实施提供的16site探针排列方式的示意图。

图4为本申请一实施提供的电子式map图。

图5为本申请一实施提供的map图定位设定。

具体实施方式

下面就本发明将结合附图作进一步详述：在此，本发明的示意性实施实例及其说明仅限于用于解释，但并不作为对本发明的限定。

管芯压点与探针如图1、图2所示

以信息安全芯片16site 8*2排列方式为例；如图3所示

用16site探卡设定完程序，形成一个电子式map图，如图4所示。通常每个品种的晶圆周边作为无效管芯处理，用M(MARK)表示，在此发明中该无效管芯可作为标志site使用；

所述发明测试程序设定：在编制多site测试程序时设定site3作为定位坐标和bin值，比如site3的坐标为(0.0)，bin值设定为111，也可以为其它值；

进一步的是测试程序读取：第一个touchdown，探针停在定位site3处，测试程序自动读取site 3的坐标值和bin值，此时，site3的坐标应为0.0，，bin值设定为111；如图5位置；

进一步的是测试程序判定：如果固定site3读取的坐标值和bin值与测试机测试程序中设定的参数不一致时，则测试机会报警，不进行下一步测试动作，等待处理。

本发明利用测试程序定位方法可以有效防止多site测试Map图移位。

上述实施例仅是为了方便说明，本发明所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。