一种低温温区高精度恒温试验腔的制作方法

文档序号:12446810阅读:921来源:国知局
一种低温温区高精度恒温试验腔的制作方法与工艺

本发明涉及一种低温温区高精度恒温试验腔。



背景技术:

在航空航天、化工冶金、电子电工、质检计量等行业,需在低温恒温环境下贮存和使用各种电子元件。然而在超低温环境下,测量设备零部件及材料特性会发生改变,因此有必要研究不同低温环境温度对测量元件的影响。但由于低温测量温度受热易波动,会影响测量元件的测量精度,因此需要设计一种高精度的低温温区恒温试验腔解决上述问题。



技术实现要素:

本发明的目的是提供一种高精度的低温温区恒温试验腔,解决低温恒温试验腔温度波动,导致测量元件测量误差大的技术问题。

本发明采用的技术方案是:一种低温温区高精度恒温试验腔,包括冷桥盖、上下冷桥、真空室法兰、真空室、氦气室法兰、氦气室和热屏蔽室,所述氦气室为要控制的恒温试验腔,所述氦气室内设置测量元件,外壁设置温度传感器并且缠绕可控脉冲式电加热丝,所述氦气室法兰与氦气室相连接,所述热屏蔽室设置在氦气室外围,所述真空室设置在热屏蔽室外围,所述真空室与真空室法兰密封连接,所述真空室法兰通过四氟柱与热屏蔽室相连接,所述氦气室法兰与真空室法兰通过不锈钢钢管相焊接。

优选地,上述的一种低温温区高精度恒温试验腔,所述氦气室通过冷热对冲原理控制试验腔温度。

优选地,上述的一种低温温区高精度恒温试验腔,所述真空室法兰两侧设置有上下冷桥,所述上冷桥缠绕测量元件金属线,带走传递到测量元件金属线的热量,保证其测量环境温度不变。

优选地,上述的一种低温温区高精度恒温试验腔,所述下冷桥设置温度传感器并缠绕可控脉冲式电加热丝,防止热量传递而引起温度波动。

本发明有的有益效果是:

本发明采用了冷热对冲原理控制试验腔温度,并利用真空室法兰两侧的上下冷桥带走电加热金属丝传递的热量,有效保证了试验腔内每一测量温度的稳定性,可控制程度高,不会出现温度振荡,更精确的测得不同温度对测量元件的影响。

附图说明

图1为本发明的正面剖视图

图2为本发明的侧面剖视图

图中:1冷桥盖、2上下冷桥、3真空室法兰、4真空室、5氦气室法兰、6氦气室、7热屏蔽室。

具体实施方式

下面结合上述附图实施例对本发明作进一步详细描述。

如图1所示,本发明包括冷桥盖1、上下冷桥2、真空室法兰3、真空室4、氦气室法兰5、氦气室6和热屏蔽室7,氦气室6内设置的测量元件为压力传感器,外壁设置温度传感器并缠绕可控脉冲式电加热丝,对氦气室6进行可控的脉冲式均匀加热,氦气室法兰5与氦气室6密封连接。热屏蔽室7设置在氦气室6外围,阻止电加热丝向外散热;真空室4设置在热屏蔽室7外围,真空隔 热。真空室法兰3两侧设置上下冷桥2,上冷桥带走传递到测量元件金属线的热量,保证测量温度不变;下冷桥冷却温度传感器及电加热丝,防止热量传递引起温度波动。真空室法兰3通过四氟柱与热屏蔽室7相连接,氦气室法兰5与真空室法兰3之间通过焊接不锈钢钢管与氦气加压管相连接。

本发明的测量系统,利用冷热对冲原理对氦气室6温度控制,并通过电加热丝对氦气室6进行可控的脉冲式均匀加热,测量不同温度对压力传感器的特性影响。

本发明的测量系统,恒温试验腔内每一测量温度波动稳定控制在0.5K左右,可控制程度高,不会出现温度振荡,可实现高精度测量。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不以本发明为限制,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进,均应包含在本发明的保护范围之内。

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