技术总结
本发明涉及从显微样品修改样品表面层的方法，方法在真空中执行，方法包括以下步骤：提供附着到操纵器（116）的显微样品（120）；提供第一（受控）温度处的第一液体（122A）；在第一液体中浸泡样品，从而导致样品表面修改；从第一液体移除样品；提供第二（受控）温度处的第二液体（122B）；在第二液体中浸泡样品；以及从第二液体移除样品。这使得能够实现样品原位的湿法处理，从而增加速度和/或避免样品的后续改变/污染（诸如氧化）等。该方法对于在利用（镓）FIB加工薄片之后蚀刻薄片以移除其中发生镓植入或其中晶格被扰乱的表面层而言特别有用。
技术研发人员：T.维斯塔维;A.P.J.M.博特曼
受保护的技术使用者：FEI公司
技术研发日：2016.01.12
技术公布日：2018.08.28